宝石炉的制作方法

文档序号:8189550阅读:216来源:国知局
专利名称:宝石炉的制作方法
技术领域
本实用新型属于物质生长炉技术领域,具体涉及一种宝石炉。
背景技术
LED用蓝宝石晶体材料化学式为a-Al2O3,属六方晶体,在室温下密度为3. 98g/cm3,属于熔点很高的难熔氧化物晶体。Al2O3晶体具有宽的透光范围,从真空紫外、可见光、远红外,一直到中红外均具有较高的光透过性,具有高机械强度,高温耐熔性,膨胀系数小,导热率大,良好的化学稳定性,耐辐射性及低摩擦系数等综合性能,是优良的激光基质材料及各种光学元件和红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料,在微电子学、光学、量子电子学、计算机、照明设施、发光二极管以及其他科学技术领域得到广泛应用。制备LED用蓝宝石晶体有多种方法,微拉旋转泡生法因其能综合泡生法和微拉法的优点,因此优先在工业上应用。该方法是晶体在宝石炉(单晶炉)内完成晶体长晶制备过程。

实用新型内容本实用新型提供一种宝石炉,用于生产高纯度单晶体,其引晶率高,可以生产大尺寸的晶体,生广的晶体品质闻,纯度闻,无气泡广生。本实用新型具体采用如下技术方案一种宝石炉,包括机架,机架上设置炉体,炉体上设置炉盖、主轴,其特征是,炉体上部与真空系统组件连接,主轴上设有摆动称重组件,主轴与主轴升降组件连接,炉盖与炉盖升降组件连接,立柱升降组件设置在立柱上,立柱下方设置立柱摆动组件。进一步,机架上还设有进出水组件,为炉体进行冷却;机架上还设有电气控制装置,用于控制宝石炉的各项操作。与现有技术相比,本实用新型引晶成功率闻,可以生广大尺寸的晶体,生广的晶体品质闻,纯度闻,无气泡广生。

图I是本实用新型的结构示意图。图中,I-电气控制装置,2-主轴,3-摆动称重组件,4-立柱升降组件,5-立柱,6-立柱摆动组件,7-炉盖升降组件,8-进出水组件,9-炉体,10-真空系统组件,11-机架,
12-炉盖。
具体实施方式
如图I所示,一种宝石炉,包括机架11,机架11上设置炉体9,炉体9上设置炉盖12、主轴2,炉体9上部与真空系统组件10连接,主轴2上设有摆动称重组件3,主轴2与主轴升降组件4连接,炉盖12与炉盖升降组件7连接,立柱升降组件4设置在立柱5上,立柱5下方设置立柱摆动组件6。
权利要求1.一种宝石炉,包括机架,机架上设置炉体,炉体上设置炉盖、主轴,其特征是,炉体上部与真空系统组件连接,主轴上设有摆动称重组件,主轴与主轴升降组件连接,炉盖与炉盖升降组件连接,立柱升降组件设置在立柱上,立柱下方设置立柱摆动组件。
2.根据权利要求I所述的宝石炉,其特征是,机架上还设有进出水组件和电气控制装置。
专利摘要一种宝石炉,属于物质生长炉技术领域,包括机架,机架上设置炉体,炉体上设置炉盖、主轴,其特征是,炉体上部与真空系统组件连接,主轴上设有摆动称重组件,主轴与主轴升降组件连接,炉盖与炉盖升降组件连接,立柱升降组件设置在立柱上,立柱下方设置立柱摆动组件。本实用新型引晶成功率高,可以生产大尺寸的晶体,生产的晶体品质高,纯度高,无气泡产生。
文档编号C30B29/20GK202430322SQ201120534240
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月20日 优先权日2011年12月20日
发明者于爱东, 周磊, 李瑞莲, 沈春艳, 陈卫国 申请人:山东紫晶光电新材料有限公司
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