专利名称：扩散石英舟的改进装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能光伏硅体硅电池制造领域中的制备晶体硅PN结的扩散岗位，特别是扩散石英舟的改进装置。
背景技术：
太阳能电池晶体硅制造工艺已经成熟，主要生产流程步骤为1、去除损伤层；2、制绒；3、扩散制备PN结；4、刻蚀、去PSG ;5、沉积减反射层；6、丝网印刷；7、快速烧结。而其中扩散制备PN结的扩散的目的在于形成PN结，这是太阳能电池制造的“心脏”工序，太阳能电池片电性能的优劣，在此道工序即可体现，所以对扩散岗位的洁净度、工艺卫生、工夹具的使用都有比其他岗位更加严格的要求。目前扩散制备PN结在国内的主流设备为链式扩散炉和管式扩散炉。链式扩散炉是配合液态磷源进行扩散，虽说产量大、成本低廉但是扩散效果有待进一步提高。随着国产设备生产能力的提高，管式扩散炉设备基本实现国产化，国内太阳能制造企业大量使用。扩散制备PN结是太阳能电池制造的核心工序，所以对工艺卫生、洁净度、扩散PN结均匀度、表面浓度等要求都很高，随着设备控制精度的进一步提高，一些生产中的细节环节更显得尤为重要。在生产中制备PN结，会使用到石英舟来承载清洗制绒后的硅片进行扩散，由于扩散工序洁净度要求极高以及管式扩散炉炉管温度在850°以上，因此必须用舟叉将石英舟放置在SIC桨之上，但目前的石英舟与舟叉之间的设计，会导致石英舟与舟叉撞击损坏石英舟，更为严重的是石英舟断裂，石英舟之上承载硅片掉落，使得降低了生产的安全性、提高了成本。
发明内容本实用新型的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种提高生产的安全性、降低成本的扩散石英舟的改进装置。为了实现上述目的，本实用新型所设计的扩散石英舟的改进装置，包括石英舟本体和舟叉，所述石英舟本体两侧设有与舟叉相配合的叉把，所述舟叉上设有螺母，其特征是所述螺母前端设有垫片。通过上述的结构增加垫片，来阻止石英舟与舟叉的碰撞，避免了石英舟的损坏而使得扩散硅片的掉落，提高了生产的安全性，降低了生产成本，让使用更加安全。本实用新型得到的扩散石英舟的改进装置，通过上述的结构设计，来阻止石英舟与舟叉的碰撞，避免了石英舟的损坏而使得扩散硅片的掉落，提高了生产的安全性，降低了生产成本，让使用更加安全。
图I是实施例的整体结构安装示意图；图2是图I中舟叉3的结构示意图。、[0010]图中垫片I、螺母2、舟叉3、石英舟本体4、叉把41。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。实施例，如图I、图2所示，本实施例提供的扩散石英舟的改进装置，包括石英舟本体4和舟叉3，石英舟本体4两侧设置有与舟叉3相配合的叉把41，舟叉3上设置有螺母2，螺母2前端安装有垫片1，而该垫片I需要采用耐高温性的材料，具体 的材料可以根据具体实施例的要求而定。具体工作时，将舟叉3插入叉把41，然后利用舟叉3将石英舟本体4放置在SIC桨之上进行作业，石英舟与舟叉撞击通过垫片I缓冲，就不会使石英舟本体4损坏。
权利要求1.一种扩散石英舟的改进装置，包括石英舟本体(4)和舟叉(3)，其特征是所述石英舟本体(4)两侧设有与舟叉(3)相配合的叉把(41)，所述舟叉(3)上设有螺母(2)，所述螺母(2)前端设有垫片(I)。
专利摘要本实用新型公开了一种扩散石英舟的改进装置，包括石英舟本体和舟叉，所述石英舟本体两侧设有与舟叉相配合的叉把，所述舟叉上设有螺母，其特征是所述螺母前端设有垫片。本实用新型得到的扩散石英舟的改进装置，通过上述的结构设计，来阻止石英舟与舟叉的碰撞，避免了石英舟的损坏而使得扩散硅片的掉落，提高了生产的安全性，降低了生产成本，让使用更加安全。
文档编号C30B31/00GK202487548SQ201220135168
公开日2012年10月10日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者丁巍, 袁前程, 韩波, 高常辉 申请人:宁波升科太阳能股份有限公司