低频消磁减震减噪防护罩的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种低频消磁减震减噪防护罩，包括呈六面体形的方形柜体，方形柜体的外表面上设置有一层由导磁材料制成磁屏蔽层；方形柜体的侧壁上设置有柜门；柜门的门边处设置有多个波导口；方形柜体的内壁面为多孔铝板；多孔铝板和磁屏蔽层之间设置有高分子吸音材料制成的吸音层；方形柜体的顶面设置有多个通风口，每个通风口内均嵌设有排风扇。本实用新型的用于置放电子显微镜的抗干扰密封柜，具有可有效保证电子显微镜等精密设备不受外界电磁和噪声环境干扰、提高检测精度、便于小型化、移动方便、成本低且外形美观大方等优点。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种低频消磁减震减噪防护罩，用于需要对外界磁场、震动和噪 声进行防护、消除或者减弱的电子显微镜（EMS)、光刻机、核磁共振（MRI)等精密设备。 低频消磁减震减噪防护罩
【背景技术】
[0002] 电子显微镜是高速电子在电磁透镜作用下成像的，通常在数万倍甚至一百万倍下 进行观察。电子显微镜由于其直观、便捷等特点，在材料、生命科学等领域得到了广泛的应 用。
[0003] 由于在电子显微镜镜筒中飞行的带电粒子束极易受到外界干扰，从而使得到的图 像扭曲变形，各种类型的电子显微镜对周围环境如磁场、振动以及噪声都有一定的要求。磁 场、震动以及噪声虽然不会使电子显微镜本身受到损坏，但是都会干扰带电粒子束的正常 运动轨迹，影响电子显微镜的实验结果，使其不能达到应有的精度。
[0004] 不同厂家的电子显微镜对周围环境的要求是不同的。即使是同一厂家但型号不同 的电子显微镜对周围环境的要求也是不同的，没有统一标准。电子显微镜厂商都会在安装 电子显微镜之前，对将要安装电子显微镜的场地进行专门检测。如果周围环境不能符合要 求，则应该采取适当措施解决或改善。
[0005] 现有技术中，一般都需要建立电子显微镜专用的密封房间，但是这种现有的密封 房间一般都是不可移动的建筑物，且占地面积较大，建筑成本较高；且房间的开门处容易存 在缝隙，容易导致磁力线外泄，从而影响电子显微镜的检测精度。 实用新型内容
[0006] 本实用新型是为避免上述已有技术中存在的不足之处，提供一种低频消磁减震减 噪防护，用于电子显微镜等精密设备对外界低频磁场、震动和噪声干扰的防护，以确保电 子显微镜的工作环境的密封性、提高被防护设备的检测精度和使用性能。
[0007] 本实用新型为解决技术问题采用以下技术方案。
[0008] 低频消磁减震减噪防护罩，其结构特点是，包括呈六面体形的方形柜体，所述方形 柜体的外表面上设置有一层由导磁材料制成磁屏蔽层；所述方形柜体的侧壁上设置有一个 或多个向外打开的柜门，所述柜门上设置有一个或多个门把手；所述柜门的门边处设置有 多个波导口；
[0009] 所述方形柜体的内壁面为多孔铝板；所述多孔铝板和所述磁屏蔽层之间设置有高 分子吸音材料制成的吸音层；所述方形柜体的顶面设置有多个通风口，所述多个通风口的 每一个通风口内均嵌设有一个排风扇。
[0010] 本实用新型低频消磁减震减噪防护罩的结构特点也在于：
[0011] 所述柜门的下部设置有一个进风口，所述进风口上设置有过滤网。
[0012] 所述方形柜体的底板上设置有用于通过螺栓将所述方形柜体固定于地面上的螺 栓孔。
[0013] 所述方形柜体的底板上设置有波导口，所述波导口内设置有波导口软塞。
[0014] 在所述方形柜体内配置有一套主动式低频消磁器。
[0015] 与已有技术相比，本实用新型有益效果体现在：
[0016] 本实用新型的低频消磁减震减噪防护罩具有以下几个方面的技术特点。
[0017] 1)保证电子显微镜不受外界电磁和噪声环境干扰，减少外界震动环境干扰；
[0018] 2)可以保持原房间的基本设置，不因二次装修造成浪费，完全避免了对建筑整体 结构的损伤；
[0019] 3)体积小型化（仅为现行磁屏蔽体积的二十到三十分之一），改现场施工为工厂 加工和现场快速装配。体积小型化的另一优势为大大减少对宝贵的室内面积占用（一体化 方案本身对室内面积的占用仅为现行磁屏蔽方案的十到十五分之一）；
[0020] 4)产品模块化，可以根据不同需要灵活组合搭配；
[0021] 5)性价比提高，绝对价格下降，降低用户购置成本。据测算，单一磁屏蔽模式的价 格约为现行磁屏蔽价格的三分之一；组合了减震和消音的功能后价格更是降低到现行环境 改善方案的五分之一以下；
[0022] 6)外形美观大方。产品为立方体箱式结构，周围四面均有活动门以方便操作和维 修。外表为静电喷涂烤漆。
[0023] 本实用新型的低频消磁减震减噪防护罩，用于电子显微镜、光刻机、核磁共振等需 要消磁、减震、减噪的精密仪器类，具有可有效保证电子显微镜不受外界低频磁场、震动噪 声的干扰、提高设备的检测精度和性能、便于小型化、移动方便、成本低且外形美观大方等 优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0024] 图1为本实用新型的低频消磁减震减噪防护罩的主视图。
[0025] 图2为本实用新型的低频消磁减震减噪防护罩俯视图。
[0026] 图3为本实用新型的低频消磁减震减噪防护罩的内部示意图。
[0027] 图4为本实用新型的低频消磁减震减噪防护罩的底板和侧壁的断面图。
[0028] 图1?图4中标号为：1方形柜体，2磁屏蔽层，3吸音层，4多孔铝板，5柜门，6门 把手，7波导口，8通风口，9排风扇，10底板，11电子显微镜底座，12电子显微镜，13进风口， 14过滤网，15螺栓孔，16波导口软塞，17减震装置。
[0029] 以下通过【具体实施方式】，并结合附图对本实用新型作进一步说明。
【具体实施方式】
[0030] 参见图1?图4,低频消磁减震减噪防护罩，其包括呈六面体形的方形柜体1，所述 方形柜体1的外表面上设置有一层由导磁材料制成磁屏蔽层2 ;所述方形柜体1的侧壁上 设置有一个或多个向外打开的柜门5,所述柜门5上设置有一个或多个门把手6 ;所述柜门 5的门边处设置有多个波导口 7 ;
[0031] 所述方形柜体1的内壁面为多孔铝板4 ;所述多孔铝板4和所述磁屏蔽层2之间 设置有高分子吸音材料制成的吸音层3 ;所述方形柜体1的顶面设置有多个通风口 8,所述 多个通风口 8的每一个通风口 8内均嵌设有一个排风扇9。
[0032] 所述柜门5的下部设置有一个进风口 13,所述进风口 13上设置有过滤网14。
[0033] 所述方形柜体1的底板10上设置有用于通过螺栓将所述方形柜体1固定于地面 上的螺栓孔15。
[0034] 所述方形柜体1的底板10上设置有波导口 7,所述波导口 7内设置有波导口软塞 16。
[0035] 在所述方形柜体1内配置有一套主动式低频消磁器，用于消除NEAR DC、准直流磁 场（又称直流磁场）。
[0036] 方形柜体的底板、顶板和侧壁均包括有三层，最外层为导磁材料制成的磁屏蔽层， 中间层为吸音材料制成的壳体作为吸音层，最内层为用于降低环境噪音的多孔铝板。侧壁 上设置有外开的柜门，可方便电子显微镜的操作、维修和维护等工作的进行。外开门使得开 门关门不影响柜门内的设备工作。吸音材料主要为高分子材料石棉等，其它如软塞等，也是 高分子材料。所述方形柜体1用于放置电子显微镜等设备的空间，电子显微镜12和电子显 微镜底座11为电子显微镜部分，所述的底部通过减震装置17设置于所述方形柜体1的底 板10上。
[0037] 为方便电子显微镜的操作、维修和维护，可在方形柜体的一个侧壁或多个侧壁上 开设柜门。方形柜体的外表为静电喷涂烤漆的烤漆层。
[0038] 长、宽、高一般为1.2?3. 8m，根据设备确定，开门把手位置及开门方向亦由设备 确定。
[0039] 在开门处、进风口和通风口及底板上，设置有多处波导口，可以确保屏蔽体内的磁 力线不会外溢。
[0040] 根据低频电磁屏蔽的特殊机理（针对低频电磁场的磁场分量采用并联磁路分 流），采用导磁性材料，为设备度身定做一个密闭的矩形六面体，可以将低频电磁干扰降低 到原有的二十分之一以下。全部开孔和各门与框架的接合处均为波导口，可以确保屏蔽体 内的磁力线不会外溢。全部开孔和各门与框架的接合处均为波导口。
[0041] 特殊处理的矩形六面体底面确保不会将矩形六面体的谐振传导到电子显微镜上 去，必要时还可以加上磁力减震模块，以改善震动环境；也可以加上主动式低频消磁器用于 消除或者减少NEAR DC、准直流磁场（又称直流磁场）。
[0042] 密闭的矩形六面体内表面为多孔铝板，其内部还有高分子吸音材料，可以将环境 噪声降低18?28分贝，改善噪声环境。
【权利要求】
1. 低频消磁减震减噪防护罩，其特征是，包括呈六面体形的方形柜体（1)，所述方形柜 体（1)的外表面上设置有一层由导磁材料制成磁屏蔽层（2);所述方形柜体（1)的侧壁上 设置有一个或多个向外打开的柜门（5)，所述柜门（5)上设置有一个或多个门把手（6);所 述柜门（5)的门边处设置有多个波导口（7); 所述方形柜体（1)的内壁面为多孔铝板（4);所述多孔铝板（4)和所述磁屏蔽层（2)之 间设置有高分子吸音材料制成的吸音层（3);所述方形柜体（1)的顶面设置有多个通风口 (8)，所述多个通风口（8)的每一个通风口（8)内均嵌设有一个排风扇（9)。
2. 根据权利要求1所述的低频消磁减震减噪防护罩，其特征是，所述柜门（5)的下部设 置有一个进风口（13)，所述进风口（13)上设置有过滤网（14)。
3. 根据权利要求1所述的低频消磁减震减噪防护罩，其特征是，所述方形柜体（1)的底 板（10)上设置有用于通过螺栓将所述方形柜体（1)固定于地面上的螺栓孔（15)。
4. 根据权利要求1所述的低频消磁减震减噪防护罩，其特征是，所述方形柜体（1)的底 板（10)上设置有波导口（7)，所述波导口（7)内设置有波导口软塞（16)。
【文档编号】H05K9/00GK203912377SQ201420100656
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年3月6日 优先权日:2014年3月6日
【发明者】张小建 申请人:安徽建永商贸有限公司