一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场的制作方法

文档序号:8116429阅读:465来源:国知局
一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场的制作方法
【专利摘要】一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒,炉筒内部设有侧屏氧化锆砖保温层,在侧屏氧化锆砖保温层内侧设置有内保温桶,在内保温桶的内腔中设置有钨筒加热器,在钨筒加热器的内腔中设置有钳锅,坩埚底部设有托盘,托盘底部设有与炉筒连接的坩埚轴,在坩埚上端设有坩埚盖板,钨筒加热器上方和下方分别设有上部保温层和下部保温层,炉筒上端设有用于盖住炉筒的大盖、小盖,大盖下端表面上设有磁铁一,在炉筒上端表面上与磁铁一对应处设有磁铁二,磁铁一、磁铁二相互吸合时候,可使大盖紧贴于炉筒上表面与小盖形成紧密配合。通过在炉筒于炉筒大盖之间设有磁感装置,使热场保温性能好、能耗明显降低,提高密封性能、延长使用寿命。
【专利说明】—种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,属于蓝宝石生产设备【技术领域】。

【背景技术】
[0002]众所周知,现在都是用热场生长蓝宝石晶体,长晶炉炉筒与盖的密封性直接影响到长出晶体的质量,大盖都是人工放到炉筒上的,稍有不谨,就容易使炉筒和大盖有偏差,炉内2000多度的高温很难保证,要达到蓝宝石晶体生长的温度,就得不停的加热,对电的消耗巨大,能源浪费严重,更重要的是严重影响长出的蓝宝石晶体产品质量,如何使热场密封良好是热场最需要关注的问题。
实用新型内容
[0003]针对上述问题,本实用新型提供了一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其目的在于:采用蓝宝石晶片的热场后,确保了长晶炉密封良好及炉内温度的一致性,节约了能耗,提高了保温效果和晶体成品率,为企业节约成本,提高生产效率,提高了产品质量。
[0004]本实用新型的技术解决方案:
[0005]一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒、所述炉筒内部设有侧屏氧化锆砖保温层,在侧屏氧化锆砖保温层内侧设置有内保温桶,在所述内保温桶的内腔中设置有钨筒加热器,在钨筒加热器的内腔中设置有钳锅,所述坩埚底部设有托盘,所述托盘底部设有与炉筒连接的坩埚轴,在坩埚上端设有坩埚盖板,钨筒加热器上方和下方分别设有上部保温层和下部保温层,其特征在于:所述炉筒上端设有用于盖住炉筒的大盖、小盖,所述大盖下端表面上设有磁铁一,在炉筒上端表面上与所述磁铁一对应处设有磁铁二,所述磁铁一、磁铁二相互吸合时候,可使大盖紧贴于炉筒上表面与小盖形成紧密配合。
[0006]所述磁铁一、磁铁二在炉筒和大盖上设置至少一处。
[0007]所述磁铁一为P型磁铁,磁铁二为N型磁铁。
[0008]所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。
[0009]所述磁铁一为N型磁铁,磁铁二为P型磁铁。
[0010]所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。
[0011]所述侧屏氧化锆砖保温层为三层结构。
[0012]所述坩埚轴材质为钨:钥比例为1:1的钨钥合金。
[0013]所述大盖材质为锌:镁:招比例为1:2:3镀锌镁铝冷轧非合金钢。
[0014]所述炉筒材质为镍镉铬比例为1:1:1的镍镉铬合金。
[0015]所述坩埚材质为钨。
[0016]本实用新型的有益效果:
[0017]本实用新型通过在炉筒于炉筒大盖之间设有磁感装置,使热场保温性能好、能耗明显降低,气体流向顺畅、利于挥发物排走、成晶稳定,延长设备使用寿命、降低生产成本;减少磁铁退磁和磁流体蒸发、避免磁流体密封漏气掉渣而影响直拉单晶生长,提高密封性能、延长使用寿命;使引晶、等径、转肩等拉晶工艺稳定,提闻生广效率和成品率。相对比于现有技术中的单晶炉热场结构,可以减少单晶拉制过程中的热量散失,从而能够降低能耗,可以在保证晶体质量和生产效率的前提下,因此能够有效的降低单晶拉制成本。

【专利附图】

【附图说明】
[0018]图1:本实用新型用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场结构原理示意图。
[0019]其中:1炉筒2侧屏氧化锆砖保温层3内保温桶4钨筒加热器5坩埚6托盘7坩埚轴8坩埚盖板9上部保温层10下部保温层11大盖12小盖13磁铁二 14磁铁一。

【具体实施方式】
[0020]下面结合附图和实施例来对本实用新型做进一步描述:
[0021]如图1所示,一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒1、所述炉筒I内部设有侧屏氧化锆砖保温层2,在侧屏氧化锆砖保温层2内侧设置有内保温桶3,在所述内保温桶3的内腔中设置有钨筒加热器4,在钨筒加热器4的内腔中设置有钳锅5,所述坩埚5底部设有托盘6,所述托盘6底部设有与炉筒I连接的坩埚轴7,在坩埚5上端设有坩埚盖板8,钨筒加热器4上方和下方分别设有上部保温层9和下部保温层10,所述炉筒I上端设有用于盖住炉筒I的大盖11、小盖12,所述大盖11下端表面上设有磁铁一 14,在炉筒I上端表面上与所述磁铁一 14对应处设有磁铁二 13,所述磁铁一 14、磁铁二 13相互吸合时候,可使大盖11紧贴于炉筒I上表面与小盖12形成紧密配合。
[0022]实施例1:
[0023]如图1所示,按照从下到上的原则,依次将坩埚轴7、坩埚5及坩埚盖板8安装好,按照从里到外的原则,依次将坩埚5、钨筒加热器4、上部保温层9、下部保温层10、装配好,最外面是炉筒I及大盖11,先设计加工大盖11,用镀锌镁铝冷轧非合金钢材料,加工大盖I,厚度2mm,大盖I下侧两边放上的P型磁铁。锌:镁:铝比例为1:2:3,设计加工炉筒1,用镍镉铬合金材料,加工炉筒,厚度2.5mm,炉筒I上侧两边放上的N型磁铁,镍镉铬比例为1:1:1,加工坩埚5和坩埚盖板8,用钨加工坩埚5,用钨钥合金加工坩埚盖板8,加工托盘6和坩埚轴7,材料为钨钥合金,钨:钥=1:1。所述炉筒上端设有用于盖住炉筒的大盖、小盖,所述大盖下端表面上设有P型磁铁,在炉筒上端表面上与所述P型磁铁对应处设有N型磁铁,所述P型磁铁、N型磁铁相互吸合时候,可使大盖紧贴于炉筒上表面与小盖形成紧密配合。
[0024]实施例2:
[0025]如图1所示,按照从下到上的原则,依次将坩埚轴7、坩埚5及坩埚盖板8安装好,按照从里到外的原则,依次将坩埚5、钨筒加热器4、上部保温层9、下部保温层10、装配好,最外面是炉筒I及大盖11,先设计加工大盖11,用镀锌镁铝冷轧非合金钢材料,加工大盖I,厚度2mm,大盖I下侧两边放上的N型磁铁。锌:镁:铝比例为1:2:3,设计加工炉筒1,用镍镉铬合金材料,加工炉筒,厚度2.5mm,炉筒I上侧两边放上的P型磁铁,镍镉铬比例为1:1:1,加工坩埚5和坩埚盖板8,用钨加工坩埚5,用钨钥合金加工坩埚盖板8,加工托盘6和坩埚轴7,材料为钨钥合金,钨:钥=1:1。所述炉筒上端设有用于盖住炉筒的大盖、小盖,所述大盖下端表面上设有N型磁铁,在炉筒上端表面上与所述N型磁铁对应处设有P型磁铁,所述N型磁铁、P型磁铁相互吸合时候,可使大盖紧贴于炉筒上表面与小盖形成紧密配合。
[0026]上述实施例安装好,开始生产蓝宝石晶体,检测出生长出的蓝宝石晶体为高品质蓝宝石晶体。
[0027]综上,本实用新型达到预期目的。
【权利要求】
1.一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒、所述炉筒内部设有侧屏氧化锆砖保温层,在侧屏氧化锆砖保温层内侧设置有内保温桶,在所述内保温桶的内腔中设置有钨筒加热器,在钨筒加热器的内腔中设置有钳锅,所述坩埚底部设有托盘,所述托盘底部设有与炉筒连接的坩埚轴,在坩埚上端设有坩埚盖板,钨筒加热器上方和下方分别设有上部保温层和下部保温层,其特征在于:所述炉筒上端设有用于盖住炉筒的大盖、小盖,所述大盖下端表面上设有磁铁一,在炉筒上端表面上与所述磁铁一对应处设有磁铁二,所述磁铁一、磁铁二相互吸合时候,可使大盖紧贴于炉筒上表面与小盖形成紧密配合。
2.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述磁铁一、磁铁二在炉筒和大盖上设置至少一处。
3.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述磁铁一为P型磁铁,磁铁二为N型磁铁。
4.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。
5.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述磁铁一为N型磁铁,磁铁二为P型磁铁。
6.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。
7.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述坩埚轴材质为鹤:钥比例为1:1的鹤钥合金。
8.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述大盖材质为锌:镁:招比例为1:2:3镀锌镁招冷轧非合金钢。
9.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述炉筒材质为镍镉铬比例为1:1:1的镍镉铬合金。
10.根据权利要求书I所述的用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其特征在于:所述坩埚材质为钨。
【文档编号】C30B29/20GK204125567SQ201420610793
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年10月22日 优先权日:2014年10月22日
【发明者】吉爱华, 王恩民, 殷军, 龙安泽 申请人:江苏泰源光电科技有限公司
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