专利名称：用于芯片对准和键合的全自动卡盘装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于生物医药方面用的微流控芯片卡盘装置，特别是指一种用于芯片对准和键合的全自动卡盘装置。
背景技术：
微流控芯片是90年代末期发展起来的一项高新技术，从它的分析性能看，其未来的应用领域将十分广泛，但目前的重点显然在生物医药方面。
微流控芯片的出现不仅可使珍贵的生物试样与试剂消耗大大降低到微升甚至纳升级，而且使分析速度成十倍成百倍地提高，费用成十倍、成百倍地下降，从而为分析测试技术普及到千家万户创造了条件。
目前制备微流控芯片常规方法是采用热压键合法，其是一种使用较为普遍的方法。在热压键合法中，卡盘对芯片的对准精度和键合质量起着决定性的作用。目前国内外已有一些结构不同，原理各异的卡盘。使用这些卡盘来制备微流控芯片，自动化程度不高，需要很多人为的辅助工作，例如把芯片放到卡盘上、芯片在卡盘上的初定位以及将卡盘送到键合腔都需要人来参与。当用这些卡盘对微流控芯片进行大批量生产时，其生产效率是很低的。
发明内容
本发明的目的是为了克服上述装置自动化程度不高和生产效率低的缺点，而提供一种制备微流控芯片的辅助的全自动的生产效率高的卡盘装置。
本发明的一种用于芯片对准和键合的全自动卡盘装置，包括卡盘、机械手、预对准拨动机构、对准拨动机构和键合拨动机构，其中卡盘用于装卡基片和盖片；机械手用于搬运卡盘；预对准拨动机构用于自动卡紧基片和盖片并对基片进行初定位；而对准拨动机构和键合拨动机构都用于自动松卡基片和盖片。其中，拨动机构根据工位的不同分为预对准拨动机构、对准拨动机构和键合拨动机构，三个不同的拨动机构分别安装在预对准台、对准台和键合台上。
卡盘的卡盘体上有卡盘定位孔，卡盘定位孔通过卡盘定位柱将卡盘安装在卡盘吸盘上，卡盘体的侧面有左搬运孔和右搬运孔，右搬运孔内有防滑键槽；载物台上有三个基片定位柱，载物台表面有真空沟道及真空孔；载物台、真空弯管接头、卡紧机构、卡爪限位环、基片定位拨钳和拨钳限位柱安装在卡盘体上，真空弯管接头安装在卡盘体的缺口处，构成卡盘。卡紧机构在卡爪限位环内运动，卡爪的一端通过螺帽安装在卡爪支撑杆上，卡爪的另一端有防滑垫片，卡爪支撑杆上有凸台，压缩弹簧套装在凸台与卡爪之间，卡爪支撑杆的端部安装有被动拨杆。基片定位拨钳通过转销安装在卡盘体上，拉伸弹簧安装在弹簧挂钉上。
预对准拨动机构，主动拨杆和圆柱凸轮安装在伸出臂上，伸出臂安装在被动齿轮上，笔形气缸安装在笔形气缸支架上，笔形气缸支架通过螺钉安装在机座上；被动齿轮、主动齿轮、电机固定在机座上。真空管接头和卡盘定位柱安装在卡盘吸盘上，卡盘吸盘上有真空沟道、真空孔、伸出臂让位凹口，卡盘吸盘和机座固定安装在预对准台的底座上，构成预对准拨动机构。
对准拨动机构，主动拨杆和圆柱凸轮安装在伸出臂上，伸出臂安装在被动齿轮上，被动齿轮和主动齿轮、电机固定在机座上，真空管接头安装在卡盘吸盘的真空孔上，卡盘定位柱安装在卡盘吸盘上，卡盘吸盘上有拨钳埋入凹口、卡爪埋入凹口，机座和卡盘吸盘安装在对隹台的底座上，构成对准拨动机构。
键合拨动机构，主动拨杆和圆柱凸轮安装在伸出臂上，伸出臂安装在被动齿轮上，被动齿轮、主动齿轮和电机安装在机座上，卡盘定位柱安装在卡盘定位柱支架上，卡盘定位柱支架安装在下键合头上，下键合头上有三个螺钉埋入凹口，下键合头和机座安装在键合台的底座上，构成键合拨动机构。
机械手，右搬运指上安装有挡板，小气缸安装在小气缸支架上，拉伸弹簧安装在两个拉伸弹簧挂钩上，左搬运指、右搬运指、塑料吸盘和小气缸支架安装在机械手的支臂上，构成机械手，机械手通过手腕安装在机器人的末端手臂上。
利用该卡盘装置对基片和盖片进行对准和键合，可以使制备微流控芯片的整个过程实现全自动化，从而提高生产效率，降低生产成本。
本发明的卡盘装置优点是1、由于实现了微流控芯片制备的全自动化，所以该装置可以装备在流水线上，进行流水线作业，从而大大提高生产效率，降低每个微流控芯片的制造成本；2、利用该卡盘装置，对准台上的两个光学镜头就可以放在卡盘的下方对芯片进行对准，这样，整个对准台的结构比较紧凑，体积也明显减小了；3、由于两个光学镜头是放在卡盘的下方来对芯片进行对准的，所以可以大大降低外部振动对光学镜头的干扰，从而提高了芯片的对准精度；4、利用该卡盘装置，只要根据微流控芯片尺寸选用相应型号的载物台，就可以在一定范围内制备不同尺寸的微流控芯片；
5、可以根据基片上微沟道的形状和位置来设计加工载物台上的真空沟道，让载物台上的真空沟道避开基片上的微沟道，以保证微流控芯片良好的键合质量。
图1是本发明卡盘的结构示意图。
图2是图1的仰视图。
图3是本发明卡紧机构的结构示意图。
图4是本发明基片定位拨钳的结构示意图。
图5是本发明预对准拨动机构的结构示意图。
图6是图5的仰视图。
图7是本发明预对准卡盘装置的工作示意图。
图8是本发明对准拨动机构的结构示意图。
图9是图8的仰视图。
图10是本发明对准卡盘装置的工作示意图。
图11是本发明键合拨动机构的结构示意图。
图12是本发明键合卡盘装置的工作示意图。
图13是本发明机械手的结构示意图。
图中1.左搬运孔 2.卡盘体 3.卡盘定位孔 4.基片定位柱 5.载物台6.缺口 7.真空弯管接头 8.卡紧机构 9.右搬运孔10.卡爪限位环11.真空沟道 12.真空孔 13.基片定位拨钳 14.拨钳限位柱15.螺钉 16.防滑垫片17.卡爪18.卡爪支撑杆 19.被动拨杆20.压缩弹簧 21.螺帽22.左定位拨杆 23.左支架 24.右定位拨杆25.右支架26.转销27.拉伸弹簧28.弹簧挂钉 29.盖片30.基片101.机座 102.卡盘吸盘 103.卡盘定位柱 104.伸出臂105.主动拨杆106.圆柱凸轮 107.被动齿轮 108.主动齿轮 109.电机 110.真空沟道111.真空孔 112.伸出臂让位凹口113.笔形气缸支架114.笔形气缸 115.螺钉 116.真空管接头201.机座 202.载物台真空供给孔 203.伸出臂204.主动拨杆205.圆柱凸轮 206.卡盘定位柱 207.被动齿轮 208.主动齿轮 209.电机210.卡盘吸盘 211.拨钳埋入凹口 212.卡爪埋入凹口213.真空沟道 214.卡盘吸盘真空供给孔215.载物台真空供给管接头216.卡盘吸盘真空供给管接头301.机座 302.卡盘定位柱 303.卡盘定位柱支架 304.圆柱凸轮305.主动拨杆 306.伸出臂 307.下键合头 308.螺钉头埋入凹口309.被动齿轮 310.主动齿轮311.电机401.小气缸支架402.拉伸弹簧挂钩 403.挡板404.拉伸弹簧 405.小气缸 406.右搬运指 407.挡块 408.手腕409.支臂 410.塑料吸盘411.左搬运指具体实施方式
下面将结合附图对本发明作详细的说明。
本发明是一种用于芯片对准和键合的全自动卡盘装置，包括卡盘、拨动机构、机械手，其拨动机构根据工位的不同可分为预对准拨动机构、对准拨动机构和键合拨动机构，三个不同的拨动机构分别安装在预对准台、对准台和键合台上。
卡盘由左搬运孔1、卡盘体2、卡盘定位孔3、基片定位柱4、载物台5、缺口6、真空弯管接头7、卡紧机构8、右搬运孔9、卡爪限位环10、真空沟道11、真空孔12、基片定位拨钳13、拨钳限位柱14和螺钉15组成，卡盘体2上有卡盘定位孔3，卡盘定位孔3通过卡盘定位柱103将卡盘安装在卡盘吸盘102上，卡盘体2的侧面有左搬运孔1和右搬运孔9，右搬运孔9内有防滑键槽，载物台5上有三个基片定位柱4，载物台5表面有真空沟道11及真空孔12，载物台5、真空弯管接头7、卡紧机构8、卡爪限位环10、基片定位拨钳13和拨钳限位柱14安装在卡盘体2上，真空弯管接头7安装在卡盘体2的缺口6处，构成卡盘。卡紧机构8在卡爪限位环10内运动。
卡紧机构8由防滑垫片16、卡爪17、卡爪支撑杆18、被动拨杆19、压缩弹簧20和螺帽21构成，卡爪17的一端通过螺帽21安装在卡爪支撑杆18上，卡爪17的另一端有防滑垫片16，卡爪支撑杆18上有凸台，压缩弹簧20套装在凸台与卡爪17之间，卡爪支撑杆18的端部安装有被动拨杆19。
基片定位拨钳13由左定位拨杆22、左支架23、右定位拨杆24、右支架25、转销26、拉伸弹簧27和弹簧挂钉28组成，基片定位拨钳13通过转销26安装在卡盘体2上，拉伸弹簧27安装在弹簧挂钉28上。
预对准拨动机构由机座101、卡盘吸盘102、卡盘定位柱103、伸出臂104、主动拨杆105、圆柱凸轮106、被动齿轮107、主动齿轮108、电机109、真空沟道110、真空孔111、伸出臂让位凹口112、笔形气缸支架113、笔形气缸114、螺钉115和真空管接头116组成，主动拨杆105和圆柱凸轮106安装在伸出臂104上，伸出臂104安装在被动齿轮107上，笔形气缸114安装在笔形气缸支架113上，笔形气缸支架113通过螺钉115安装在机座101上，被动齿轮107、主动齿轮108、电机109固定在机座101上，真空管接头116和卡盘定位柱103安装在卡盘吸盘102上，卡盘吸盘102上有真空沟道110、真空孔111、伸出臂让位凹口112，卡盘吸盘102和机座101固定安装在预对准台的底座上，构成预对准拨动机构。
对准拨动机构由机座201、真空孔202、伸出臂203、主动拨杆204、圆柱凸轮205、卡盘定位柱206、被动齿轮207、主动齿轮208、电机209、卡盘吸盘210、拨钳埋入凹口211、卡爪埋入凹口212、真空沟道213、真空孔214、卡盘真空供给管接头215和卡盘吸盘真空供给管接头216组成，主动拨杆204和圆柱凸轮205安装在伸出臂203上，伸出臂203安装在被动齿轮207上，被动齿轮207和主动齿轮208、电机109固定在机座201上，真空管接头215、216安装在卡盘吸盘210的真空孔202、214上，卡盘定位柱206安装在卡盘吸盘210上，卡盘吸盘210上有拨钳埋入凹口211、卡爪埋入凹口212，机座201和卡盘吸盘210安装在对隹台的底座上，构成对准拨动机构。
键合拨动机构由机座301、卡盘定位柱302、卡盘定位柱支架303、圆柱凸轮304、主动拨杆305、伸出臂306、下键合头307、螺钉埋入凹口308、被动齿轮309、主动齿轮310和电机311组成；主动拨杆305和圆柱凸轮304安装在伸出臂306上，伸出臂306安装在被动齿轮309上，被动齿轮309、主动齿轮310和电机311安装在机座301上，卡盘定位柱302安装在卡盘定位柱支架303上，卡盘定位柱支架303安装在下键合头307上，下键合头307上有三个螺钉埋入凹口308，下键合头307和机座301安装在键合台的底座上，构成键合拨动机构。
机械手由小气缸支架401、拉伸弹簧挂钩402、挡板403、拉伸弹簧404、小气缸405、右搬运指406、挡块407、手腕408、支臂409、塑料吸盘410和左搬运指411组成，右搬运指406上安装有挡板403和挡块407，小气缸405安装在小气缸支架401上，拉伸弹簧404安装在两个拉伸弹簧挂钩402上，左搬运指411、右搬运指406、塑料吸盘410和小气缸支架401安装在机械手的支臂409上，构成机械手，机械手通过手腕408安装在机器人的末端手臂上。
微流控芯片是指把基片和盖片键合在一起的用于分离液体分子以便于分析和检测液体成份的一种专用工具。芯片包括基片30和盖片29。
本发明的全自动卡盘装置的独特设计解释为(A)载物台5上加工的用于吸附基片30的真空沟道11的形状和位置能根据基片30上微沟道的形状、位置以及芯片的大小作灵活设计，以排除真空沟道对芯片键合质量的负面影响；另外，载物台5表面喷涂有防粘层，以防止基片30在键合后粘附在载物台5上。
(B)卡盘体2上安装有基片定位拨钳13，它和基片定位柱4以及笔形气缸114协同工作能实现基片30的自动初定位，而拨钳限位柱14用于限制基片定位拨钳13的初始位置。
(C)被动齿轮(107、207、309)上分别安装有主动拨杆(105、204、305)和圆柱凸轮(106、205、304)，可以控制卡盘卡紧机构8上的卡爪17按一定的时序关系作上下运动和转动，以实现基片30和盖片29的自动卡紧和放松。
(D)卡盘体2上安装有卡紧机构8以及卡爪限位环10，它们和拨动机构协同工作能实现基片30和盖片29的自动卡紧和放松，而卡爪限位环10的作用是限制卡爪17的卡紧位置和松开位置。
(E)在卡盘体2上设计有两个缺口6，当机械手将卡盘倒扣在卡盘吸盘210上的时候，卡盘不会与安装在被动齿轮207上的伸出臂203及安装在伸出臂203上的主动拨杆204和圆柱凸轮205发生碰撞。
(F)卡盘吸盘102、210上分别安装有卡盘定位柱103、206并加工有真空沟道110、213，便于定位和吸附卡盘。
(G)卡盘吸盘210上安装有真空管接头215，以便通过卡盘吸盘210上的真空孔202与安装在载物台5上的真空弯管接头7连通，为载物台5上的真空沟道11提供真空源。
(H)卡爪17末端贴有防滑垫片16，以防止在搬运卡盘的过程中基片30和盖片29滑动错位，影响基片30和盖片29的对准精度。
(I)卡盘体2上设计有两个用于搬运的通孔(左搬运孔01和右搬运孔09)，其中右搬运孔9还加工有防滑键槽，以防止卡盘从机械手上滑脱。
(J)机械手上除了安装有吸附芯片的塑料吸盘410外，还安装有两个搬运指(左搬运指411和右搬运指406)，用于搬运卡盘，其中又在右搬运指406上安装有挡板403和挡块407，而在右搬运指406根部安装有拉伸弹簧404和小气缸405，这样，当右搬运指406插进右搬运孔09的时候，小气缸405驱动挡板403，让右搬运指406旋转一定角度，使挡块407挡在卡盘上离开防滑键槽的位置，从而可以防止卡盘从机械手上滑脱。当要释放卡盘时，小气缸405断开气源，右搬运指406在拉伸弹簧404的作用下回位，从而挡块407也回到防滑键槽的位置，然后机械手就可以从卡盘中抽出。
预对准卡盘装置(如图7所示)负责装片以及基片30的初定位。工作时，机械手先把卡盘放到卡盘吸盘102上，卡盘吸盘102上的真空沟道110产生真空将卡盘吸住，机械手再把基片30放到载物台5上并由笔形气缸114驱动基片定位拨钳13对基片30进行初定位，然后机械手再把盖片29放到基片30上，最后通过拨动机构驱动卡紧机构8将基片30和盖片29卡紧在载物台5上，此时松开基片定位拨钳13并撤消真空。
机械手从预对准卡盘装置上取下已经装好基片30和盖片29的卡盘，并把卡盘翻转180度倒扣在对准卡盘装置(如图10所示)的卡盘吸盘210上，卡盘吸盘210开真空将卡盘吸住，然后对准运动平台(平台表面上刻有真空沟道)向上运动顶在盖片29上，此时松开卡紧机构，同时载物台5和对准运动平台上的真空沟道产生真空将基片30和盖片29分别吸住，而后对准运动平台再向下运动，将基片30和盖片29分离并进行精确对准，最后对准运动平台向上运动，将精确对准后的基片30和盖片29合在一起并由卡紧机构进行卡紧，此时撤消所有真空，对准完毕。
机械手从对准卡盘装置上取下对准完毕的卡盘，并把卡盘再翻转180度后正放在键合卡盘装置(如图12所示)的下键合头307上，同时键合台上的上键合头向下运动压在盖片29上同时也将卡盘压紧，而后松开卡紧机构对基片30和盖片29进行键合，键合完后再由卡紧机构将键合好的微流控芯片卡紧在卡盘上，最后，再由机械手把卡盘送出。
经本发明的全自动卡盘装置制备的微流控芯片，可广泛应用于生物医药方面、环境监测、食品卫生，刑事科学及国防方面也会成为重要的应用领域。
权利要求
1.一种用于芯片对准和键合的全自动卡盘装置，包括卡盘、拨动机构，其特征在于还包括机械手，其拨动机构根据工位的不同可分为预对准拨动机构、对准拨动机构和键合拨动机构，三个不同的拨动机构分别安装在预对准台、对准台和键合台上，卡盘由左搬运孔(1)、卡盘体(2)、卡盘定位孔(3)、基片定位柱(4)、载物台(5)、缺口(6)、真空弯管接头(7)、卡紧机构(8)、右搬运孔(9)、卡爪限位环(10)、真空沟道(11)、真空孔(12)、基片定位拨钳(13)、拨钳限位柱(14)和螺钉(15)组成，卡盘体(2)上有卡盘定位孔(3)，卡盘定位孔(3)通过卡盘定位柱(103)将卡盘安装在卡盘吸盘(102)上，卡盘体(2)的侧面有左搬运孔(1)和右搬运孔(9)，右搬运孔(9)内有防滑键槽，载物台(5)上有三个基片定位柱(4)，载物台(5)表面有真空沟道(11)及真空孔(12)，载物台(5)、真空弯管接头(7)、卡紧机构(8)、卡爪限位环(10)、基片定位拨钳(13)和拨钳限位柱(14)安装在卡盘体(2)上，真空弯管接头(7)安装在卡盘体(2)的缺口(6)处，构成卡盘，卡紧机构(8)在卡爪限位环(10)内运动，其，卡紧机构(8)由防滑垫片(16)、卡爪(17)、卡爪支撑杆(18)、被动拨杆(19)、压缩弹簧(20)和螺帽(21)构成，卡爪(17)的一端通过螺帽(21)安装在卡爪支撑杆(18)上，卡爪(17)的另一端有防滑垫片(16)，卡爪支撑杆(18)上有凸台，压缩弹簧(20)套装在凸台与卡爪(17)之间，卡爪支撑杆(18)的端部安装有被动拨杆(19)，其，基片定位拨钳(13)由左定位拨杆(22)、左支架(23)、右定位拨杆(24)、右支架(25)、转销(26)、拉伸弹簧(27)和弹簧挂钉(28)组成，基片定位拨钳(13)通过转销(26)安装在卡盘体(2)上，拉伸弹簧(27)安装在弹簧挂钉(28)上；预对准拨动机构由机座(101)、卡盘吸盘(102)、卡盘定位柱(103)、伸出臂(104)、主动拨杆(105)、圆柱凸轮(106)、被动齿轮(107)、主动齿轮(108)、电机(109)、真空沟道(110)、真空孔(111)、伸出臂让位凹口(112)、笔形气缸支架(113)、笔形气缸(114)、螺钉(115)和真空管接头(116)组成，主动拨杆(105)和圆柱凸轮(106)安装在伸出臂(104)上，伸出臂(104)安装在被动齿轮(107)上，笔形气缸(114)安装在笔形气缸支架(113)上，笔形气缸支架(113)通过螺钉(115)安装在机座(101)上，被动齿轮(107)、主动齿轮(108)、电机(109)固定在机座(101)上，真空管接头(116)和卡盘定位柱(103)安装在卡盘吸盘(102)上，卡盘吸盘(102)上有真空沟道(110)、真空孔(111)、伸出臂让位凹口(112)，卡盘吸盘(102)和机座(101)固定安装在预对准台的底座上，构成预对准拨动机构；对准拨动机构由机座(201)、真空孔(202)、伸出臂(203)、主动拨杆(204)、圆柱凸轮(205)、卡盘定位柱(206)、被动齿轮(207)、主动齿轮(208)、电机(209)、卡盘吸盘(210)、拨钳埋入凹口(211)、卡爪埋入凹口(212)、真空沟道(213)、真空孔(214)、卡盘真空供给管接头(215)和卡盘吸盘真空供给管接头(216)组成，主动拨杆(204)和圆柱凸轮(205)安装在伸出臂(203)上，伸出臂(203)安装在被动齿轮(207)上，被动齿轮(207)和主动齿轮(208)、电机(109)固定在机座(201)上，真空管接头(215、216)安装在卡盘吸盘(210)的真空孔(202、214)上，卡盘定位柱(206)安装在卡盘吸盘(210)上，卡盘吸盘(210)上有拨钳埋入凹口(211)、卡爪埋入凹口(212)，机座(201)和卡盘吸盘(210)安装在对隹台的底座上，构成对准拨动机构；键合拨动机构由机座(301)、卡盘定位柱(302)、卡盘定位柱支架(303)、圆柱凸轮(304)、主动拨杆(305)、伸出臂(306)、下键合头(307)、螺钉埋入凹口(308)、被动齿轮(309)、主动齿轮(310)和电机(311)组成，主动拨杆(305)和圆柱凸轮(304)安装在伸出臂(306)上，伸出臂(306)安装在被动齿轮(309)上，被动齿轮(309)、主动齿轮(310)和电机(311)安装在机座(301)上，卡盘定位柱(302)安装在卡盘定位柱支架(303)上，卡盘定位柱支架(303)安装在下键合头(307)上，下键合头(307)上有三个螺钉埋入凹口(308)，下键合头(307)和机座(301)安装在键合台的底座上，构成键合拨动机构；机械手由小气缸支架(401)、拉伸弹簧挂钩(402)、挡板(403)、拉伸弹簧(404)、小气缸(405)、右搬运指(406)、挡块(407)、手腕(408)、支臂(409)、塑料吸盘(410)和左搬运指(411)组成，右搬运指(406)上安装有挡板(403)和挡块(407)，小气缸(405)安装在小气缸支架(401)上，拉伸弹簧(404)安装在两个拉伸弹簧挂钩(402)上，左搬运指(411)、右搬运指(406)、塑料吸盘(410)和小气缸支架(401)安装在机械手的支臂(409)上，构成机械手，机械手通过手腕(408)安装在机器人的末端手臂上。
2.根据权利要求1所述的全自动卡盘装置，其特征在于，载物台(5)上的真空沟道(11)的形状和位置根据基片(30)上的微沟道的形状、位置、大小而定，以排除真空沟道(11)对芯片键合质量的负面影响，载物台(5)表面可喷涂防粘层，以防止芯片在键合后粘附在载物台(5)上。
3.根据权利要求1所述的全自动卡盘装置，其特征在于，卡盘体(2)上的基片定位拨钳(13)、基片定位柱(4)，以及机座(101)上的笔形气缸(114)协同工作实现基片(30)自动初定位，拨钳限位柱(14)用于限制基片定位拨钳(13)的初始位置。
4.根据权利要求1所述的全自动卡盘装置，其特征在于，被动齿轮(107、207、309)上分别安装有主动拨杆(105、204、305)和圆柱凸轮(106、205、304)，可以控制卡紧机构(8)上的卡爪(17)按一定的时序关系作上下运动和转动，实现芯片的自动卡紧和放松。
5.根据权利要求1所述的全自动卡盘装置，其特征在于，卡盘吸盘(102、210)上分别有卡盘定位柱(103、206)，以及真空沟道(110、213)，便于定位和吸附卡盘。
6.根据权利要求1所述的全自动卡盘装置，其特征在于，卡盘吸盘(210)上的真空管接头(215)用于将卡盘吸盘(210)上的真空孔(202)与载物台(5)上的真空弯管接头(7)连通，为载物台(5)上的真空沟道(11)提供真空源。
7.根据权利要求1所述的全自动卡盘装置，其特征在于，卡爪(17)末端贴有防滑垫片(16)，以防止在搬运卡盘的过程中芯片滑动错位，影响芯片的对准精度。
8.根据权利要求1所述的全自动卡盘装置，其特征在于，在卡盘体(2)上设计两个缺口(6)，使机械手将卡盘倒扣在卡盘吸盘(210)上的时候，卡盘不会与安装在被动齿轮(207)上的伸出臂(203)及安装在伸出臂(203)上的主动拨杆(204)和圆柱凸轮(205)发生碰撞。
全文摘要
本发明公开了一种用于芯片对准和键合的全自动卡盘装置，包括卡盘、机械手、预对准拨动机构、对准拨动机构和键合拨动机构，其中卡盘用于装卡基片和盖片；机械手用于搬运卡盘；预对准拨动机构用于自动卡紧基片和盖片并对基片进行初定位；而对准拨动机构和键合拨动机构都用于自动松卡基片和盖片；利用该卡盘装置对基片和盖片进行对准和键合，可以使制备微流控芯片的整个过程实现全自动化，从而提高生产效率，降低生产成本。经本发明的全自动卡盘装置制备的微流控芯片，可广泛应用于生物医药方面、环境监测、食品卫生，刑事科学及国防方面也会成为重要的应用领域。
文档编号C12Q1/68GK1480725SQ03150228
公开日2004年3月10日 申请日期2003年7月22日 优先权日2003年7月22日
发明者宗光华, 毕树生, 于靖军, 孙明磊, 余志伟, 梁铸 申请人:北京航空航天大学