1.一种激光处理生物或非生物材料的方法,该方法包括:
提供脉冲激光辐射的衍射光束;
利用来自该衍射光束的一组辐射脉冲的辐射在目标位置处辐射该材料以便在该目标位置处产生光离解,其中来自该组辐射脉冲的每个辐射脉冲以该衍射光束的截面部分入射在该目标位置处,该截面部分包括该衍射光束的局部强度最大值,其中该组辐射脉冲的这些脉冲的至少一子集的这些光束截面部分各自包括不同的局部强度最大值。
2.如权利要求1所述的方法,其中当投射到横向平面上时,至少该子集的这些光束截面部分相异。
3.如权利要求1所述的方法,其中当投射到横向平面上时,至少该子集的这些光束截面部分中的至少一对部分地重叠。
4.如权利要求1至3中任一项所述的方法,其中该衍射光束在该光束的焦区中具有局部强度最大值的点分布。
5.如权利要求4所述的方法,其中该点分布是一维分布。
6.如权利要求5所述的方法,其中该一维分布是沿着曲线的规则和不规则分布中的一个,其中该曲线具有零曲率和非零曲率中的一个。
7.如权利要求4所述的方法,其中该点分布是二维分布。
8.如权利要求7所述的方法,其中该二维分布是矩阵分布和基于同心圆的分布中的一个。
9.如权利要求4至8中任一项所述的方法,其中该衍射光束的这些局部强度最大值的至少一子集沿着线分布,并且其中该方法包括在该线的方向上在该目标位置上方移动该衍射光束。
10.如权利要求9所述的方法,其中沿着该线分布的这些局部强度最大值包括不同强度值中的两个或更多个最大值。
11.如权利要求10所述的方法,其中沿着该线分布的这些局部强度最大值按照强度值增加的顺序被安排,由此更小强度值的最大值在第一时间点入射在该目标位置处并且更大强度值的最大值在该第一时间点后的第二时间点入射在该目标位置处。
12.如权利要求10或11所述的方法,其中沿着该线分布的这些局部强度最大值包括基本上相等的强度值中的两个或更多个最大值。
13.如权利要求1至12中任一项所述的方法,其中来自该组辐射脉冲中的时间上最后的脉冲的该辐射致使该材料的离解阈值被超过。
14.如权利要求1至13中任一项所述的方法,其中该衍射光束的每个局部强度最大值低于用于人眼组织中的激光感生的光学击穿的单脉冲强度阈值。
15.如权利要求4至14中任一项所述的方法,包括:
根据预先确定的照射图案相对于光束传播方向在该材料上横向地移动该衍射光束,以便在由该照射图案限定的多个照射位置中的每个处产生光离解,
其中相邻照射位置之间的距离对应于该点分布的相邻的局部强度最大值之间的距离。
16.如权利要求1至15中任一项所述的方法,其中来自该组辐射脉冲中的时间上最后的脉冲的该辐射具有该组辐射脉冲中的最高强度。
17.如权利要求16所述的方法,其中来自该组辐射脉冲中的该时间上最后的脉冲的该辐射包括该衍射光束的全局强度最大值。
18.如权利要求1至17中任一项所述的方法,其中该组辐射脉冲由两个或更多个辐射脉冲组成。
19.如权利要求1至18中任一项所述的方法,其中该材料是人眼组织。
20.如权利要求1至19中任一项所述的方法,其中该激光辐射具有在阿秒、飞秒、皮秒或纳秒范围内的脉冲时长。
21.如权利要求1至20中任一项所述的方法,其中该衍射光束的空间上相邻的局部强度最大值在该光束的焦区中具有小于20μm或15μm或10μm或8μm或6μm或5μm或4μm或3μm或2μm的距离。
22.一种用于激光处理材料的设备,该设备包括:
激光源(14),该激光源被配置成提供脉冲激光辐射的衍射极限光束(30);
衍射装置(18),该衍射装置被配置成衍射该衍射极限光束以便产生脉冲激光辐射的衍射光束(30diff);
聚焦装置(22),该聚焦装置被配置成将该衍射光束聚焦到该材料上;以及
控制器(24),该控制器被配置成在时间和空间上控制该衍射光束以便在目标位置处利用来自该衍射光束的一组辐射脉冲的辐射来辐射该材料,这样使得来自该组辐射脉冲的每个辐射脉冲以该衍射光束的截面部分入射在该目标位置处,该截面部分包括该衍射光束的局部强度最大值,其中该组辐射脉冲的这些脉冲的至少一子集的这些光束截面部分各自包括不同的局部强度最大值。
23.如权利要求22所述的设备,其中当投射到横向平面上时,至少该子集的这些光束截面部分相异。
24.如权利要求22所述的设备,其中当投射到横向平面上时,至少该子集的这些光束截面部分中的至少一对部分地重叠。
25.如权利要求22至24中任一项所述的设备,其中该衍射光束在该光束的焦区中具有局部强度最大值的点分布。
26.如权利要求25所述的设备,其中该点分布是一维分布。
27.如权利要求26所述的设备,其中该一维分布是沿着曲线的规则和不规则分布中的一个,其中该曲线具有零曲率和非零曲率中的一个。
28.如权利要求25所述的设备,其中该点分布是二维分布。
29.如权利要求28所述的设备,其中该二维分布是矩阵分布和基于同心圆的分布中的一个。
30.如权利要求25至29中任一项所述的设备,其中该衍射光束的这些局部强度最大值的至少一子集沿着线分布,并且其中该控制器被配置成控制该衍射光束以便在该线的方向上在该目标位置上方移动该光束。
31.如权利要求30所述的设备,其中沿着该线分布的这些局部强度最大值包括不同强度值中的两个或更多个最大值。
32.如权利要求31所述的设备,其中沿着该线分布的这些局部强度最大值按照强度值增加的顺序被安排,由此更小强度值的最大值在第一时间点入射在该目标位置处并且更大强度值的最大值在该第一时间点后的第二时间点入射在该目标位置处。
33.如权利要求31或32所述的设备,其中沿着该线分布的这些局部强度最大值包括基本上相等的强度值中的两个或更多个最大值。
34.如权利要求22至33中任一项所述的设备,其中该衍射光束的每个局部强度最大值低于用于人眼组织中的激光感生的光学击穿的单脉冲强度阈值。
35.如权利要求26至34中任一项所述的设备,其中该控制器被配置成控制该衍射光束以便根据预先确定的照射图案相对于光束传播方向在该材料上横向地移动该衍射光束,以便在由该照射图案限定的多个照射位置中的每个处产生光离解,其中相邻照射位置之间的距离对应于该点分布的相邻的局部强度最大值之间的距离。
36.如权利要求22至35中任一项所述的设备,其中来自该组辐射脉冲中的时间上最后的脉冲的该辐射具有该组辐射脉冲中的最高强度。
37.如权利要求36所述的设备,其中来自该组辐射脉冲中的该时间上最后的脉冲的该辐射包括该衍射光束的全局强度最大值。
38.如权利要求22至37中任一项所述的设备,其中该组辐射脉冲由两个或更多个辐射脉冲组成。
39.如权利要求22至38中任一项所述的设备,其中该衍射装置包括孔口、叶片、声学光调制器、衍射性光学元件、光栅和全息光栅中的至少一个。
40.如权利要求22至39中任一项所述的设备,其中该激光辐射具有在阿秒、飞秒、皮秒或纳秒范围内的脉冲时长。
41.如权利要求22至40中任一项所述的设备,其中该衍射光束的空间上相邻的局部强度最大值在该光束的焦区中具有小于20μm或15μm或10μm或8μm或6μm或5μm或4μm或3μm或2μm的距离。
42.一种包括指令的计算机程序产品,这些指令当由激光设备的控制器执行时,致使进行如权利要求1至21中任一项所述的方法。
43.一种存储如权利要求42所述的计算机程序产品的信息存储介质。