技术总结
在此披露一种用于激光处理材料的方法和设备。在该方法和设备中，脉冲激光辐射的衍射限制光束由衍射装置衍射以便产生脉冲激光辐射的衍射光束。该衍射光束随后被聚焦到该材料上并且在时间和空间上被控制以便在目标位置处利用来自该衍射光束的一组辐射脉冲的辐射来辐射该材料，这样使得来自该组辐射脉冲的每个辐射脉冲以该衍射光束的截面部分入射在该目标位置处，该截面部分包括该衍射光束的局部强度最大值。该组辐射脉冲的这些脉冲的至少一子集的这些光束截面部分各自包括不同局部强度最大值。以此方式，用于在该材料的目标位置处产生光离解的多脉冲施加可以被实施。
技术研发人员：K·沃格勒;C·多尼茨基
受保护的技术使用者：视乐有限公司
文档号码：201480077905
技术研发日：2014.05.07
技术公布日：2016.11.23