专利名称：组合式钟罩清洗机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体行业外延钟罩清洗设备，尤其是涉及组合式钟 罩清洗机。
背景技术：
本组合钟罩清洗机是一种半导体行业必备的钟罩清洗设备，该设备适用于 世界上任何国家生产的多种外延炉管(石英钟罩)的腐蚀清洗，同时也可清洗其它 可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物。目前的钟罩清洗机分为立式、卧式两 类，为了工艺生产的需要清洗多种石英钟罩时，人们不得不同时购买符合多种 规格尺寸钟罩的清洗机，这大大增加了采购成本及日常使用成本。现有的钟罩 清洗机有如下缺陷1)只能单一使用，增加了生产成本；2)清洗不均匀效果 不佳，使用马达电机带动钟罩旋转，腐蚀清洗效果不好，出现机器故障的机率 大，不安全，成本高。3)腐蚀液/水资源使用量大，导致日常使用成本过高；4) 使用过程中密封性能差，容易让酸液气体腐蚀石英钟罩的外壁，减少钟罩使用寿 命，增加使用方成本。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种组合式钟罩清洗机，该清洗机具 有组合兼容功能，能清洗各类石英钟罩，清洗均匀，且采用世界上最先进的二 流体(气体/液体)腐蚀清洗取代马达电机带动钟罩旋转；清洗过程中密封性能 好，能防止酸液气体腐蚀石英钟罩的外壁；更能节约水资源及腐蚀液，大大节约 采购及日常使用成本.
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案 一种组合式钟罩 清洗机，它包括箱体、卧式石英钟罩清洗机和立式石英钟罩清洗机；所述卧式石英钟罩清洗机设置在箱体内左侧，所述立式石英钟罩清洗机设置在箱体的右
所述卧式石英钟罩清洗机从上到下分为电器搁置区、卧式钟罩清洗区、配 套零部件清洗区和储液槽放置区；
所述立式石英钟罩清洗机从上到下分为钟罩二流体喷淋清洗区和液体回收 区和储液槽放置区。
作为上述第一种技术方案的改进所述卧式石英钟罩清洗机包括清洗机箱 体以及设置在清洗机箱体内的卧式石英钟罩清洗槽、零部件清洗槽、清洗液缓 冲槽、去磷/硼储液槽、卧式喷淋装置、卧式喷淋区保护装置、药液加压系统、 清洗水增压与缓冲装置、氮气加热装置、过滤系统和水质检测装置；所述药液 增压系统即通过管道与卧式喷淋装置相连接，又通过管道通向清洗液缓冲槽， 还通过管道通向零部件清洗槽底部；所述卧式喷淋装置分别设置在零部件清洗 槽、卧式石英钟罩清洗槽内，所述卧式喷淋装置的底部通过管道与去磷储液槽 相通连接；所述氮气加热装置通过管道与设置在卧式石英罩清洗槽内的卧式喷 淋装置相连接；所述过滤系统设置在药液加压系统与卧式喷淋装置之间的管道 上；所述清洗水增压与缓冲装置即通过管道与卧式喷淋装置相连接，又通过管 道与通向清洗液缓冲槽，还通过管道通向零部件清洗槽；所述卧式喷淋区保护 装置包括氮气正压保护装置和卡扣密封装置，通过向清洗区通入氮气形成正压， 以防止酸液气体腐蚀石英钟罩的外壁，卡扣密封装置通过卡扣直接盖住卧式石 英钟罩清洗槽和零部件清洗槽的开口进行密封；所述水质检测装置通过管道连 接在清洗液缓冲槽的底部。
进一步地，所述药液增压系统是采用聚偏二氟乙烯材质的气动隔膜泵或磁 力泵。进一步地，所述卧式喷淋装置为内部喷淋，包括喷淋管和喷嘴，所述的喷 淋管是聚四氟乙烯材质。该装置可以喷射腐蚀液、清洗水或热氮气。
进一步地，所述清洗水增压与缓冲装置包括缓冲水箱和增压泵，清洗水入 口管道通向缓冲水箱，缓冲水箱通过管道与增压泵连接，增压泵连接清洗水出 口管道。
进一步地，所述氮气加热系统的输出氮气温度在60 80"C之间。 进一步地，所述过滤系统的过滤精度为5u。 进一步地，所述水质检测装置是在线式电阻率水质检测装置。 进一步地，所述零部件清洗槽设有匹配的盖子，防止工作或停机时污染。 进一步地，所述清洗液缓冲槽的槽内设有液位防溢出装置，且采用封闭式
结构，顶部可拆卸，以方便清洗该缓冲槽的内壁。
进一步地，所述去磷储液槽的槽内设有液位防溢出装置，且采用封闭式结
构，顶部可拆卸，以方便清洗该储液槽的内壁。
作为上述第一种技术方案的改进所述立式石英钟罩清洗机包括清洗机箱
体以及设置在箱体内的立式清洗区、去磷/硼储液槽、二流体喷淋装置、药液加
压系统、氮气加热系统、过滤系统、清洗水增压与缓冲装置和防漏盘；所述药 液增压系统即通过管道与二流体喷淋装置相连接；所述二流体喷淋装置设置在 立式槽内(分为上下喷淋装置)，且其底部通过管道与去硼/磷储液槽相通连接； 所述氮气加热装置通过管道与设置在立式清洗区内的喷淋装置相连接；所述过 滤系统设置在药液加压系统与喷淋装置之间的管道上；所述清洗水增压与缓冲 装置通过管道与喷淋装置相连接；所述防漏盘设置在清洗机箱体的下方。
进一步地，所述立式清洗区设两道防护门，内侧为旋转门，呈圆弧状，外 形美观而又能起到很好的密封性能，操作方便；外侧为一单开门，门四周设有密封条，该密封条能起到第二次密封作用，门下侧有导流板，该导流板可将溅 在门板上的清洗液导流到槽内部，中间为透明板，可从外面观察到被清洗物的 状态，以便适时控制；所述单开门的内侧还配有热氮气吹干装置，在清洗过程 中可及时烘干溅在门板上的清洗液；
进一步地，所述二流体喷淋装置包括顶部二流体喷淋系统和底部二流体喷 淋系统；所述顶部二流体喷淋系统包括喷淋管和喷嘴及多功能接口模块组成， 每个分支二流体喷淋区由喷淋管喷觜及多功能接口模块组成,多功能接口模块的 安装位置为每分支管路的总进口位置,从而达到雾化液体均匀喷淋到被洗物上; 所述底部二流体喷淋系统包括喷淋管和喷嘴及多功能接口模块组成，每个分支 二流体喷淋区由喷淋管喷觜及多功能接口模块组成,多功能接口模块的安装位置 为每分支管路的总进口位置；从而达到雾化液体均匀喷淋到被洗物上；所述的喷 淋管是聚四氟乙烯或可溶性聚四氟乙烯材质。该装置可以喷射腐蚀液、清洗水 或热氮气。
进一步地，所述药液增压系统是采用聚偏二氟乙烯材质的气动隔膜泵或磁 力泵。
进一步地，所述清洗水增压与缓冲装置包括缓冲水箱和增压泵，清洗水入 口管道通向缓冲水箱，缓冲水箱通过管道与增压泵连接，增压泵连接清洗水出 口管道。
进一步地，所述氮气加热系统的输出氮气温度在60 8(TC之间。 进一步地，所述过滤系统的过滤精度为5u。
进一步地，所述立式清洗区的底部往中部倾斜，排液方式采用快排阀瞬间 排放。
进一步地，所述去硼储液槽的槽内设有液位防溢出装置，且采用封闭式结构，顶部可拆卸，以方便清洗该储液槽的内壁。 本实用新型具有以下有益效果
1) 立式钟罩清洗机分为上下喷淋区，上下喷淋区的喷淋管内为二流体(即 气体和液体)，气体可以为氮气也可为压縮空气；液体可为纯水，也可为配比成 份不同的酸碱液，在设备正常运作时，管路里为二流体，气体接口处安装在管 路终端总出口处；上下喷淋区部分分别有三个喷淋圆环区，分别都安装有气体 接口，达到了清洗均匀效果，可以避免使用马达电机带动钟罩旋转，降低设备故 障率，腐蚀清洗效果更好，更安全，节约了成本。
2) 由于氮气正压保护装置和卡扣密封装置的设置，即清洗区通入氮气形成 正压，能防止酸液气体腐蚀石英钟罩的外壁；同时，卡扣密封装置通过卡扣直 接盖住卧式石英钟罩清洗槽和零部件清洗槽的开口进行密封，因而，卧式钟罩 清洗机具有了良好的密封性能，延长钟罩使用寿命。
3) 卧式石英钟罩清洗槽上部装有喷淋管路，起到清洗加喷淋作用，更能节省 腐蚀液及纯水。
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细的说明
图1为本实用新型组合式钟罩清洗机结构示意图2为本实用新型组合式钟罩清洗机的卧式石英钟罩清洗机结构示意图3为图2的左侧视图4为图2的后视图5为本实用新型组合式钟罩清洗机的立式石英钟罩清洗机结构示意图； 图6为图5的左侧视图7为本实用新型组合式石英钟罩清洗机管路示意图。
具体实施方式
参见
图1 —7所示，本发明一种组合式钟罩清洗机，它包括箱体l、卧式石 英钟罩清洗机2和立式石英钟罩清洗机3;所述卧式石英钟罩清洗机2设置在箱 体1内左侧，所述立式石英钟罩清洗机3设置在箱体1的右侧；
所述卧式石英钟罩清洗机2从上到下分为电器搁置区21、卧式钟罩清洗区 22、配套零部件清洗区23和储液槽放置区26;
所述立式石英钟罩清洗机3从上到下分为钟罩清洗区301、 二流体喷淋管路 和液体回收区302和储液槽放置区303。
进一步改进的实施例，参见
图1、 2、 3、 4、 7所示，所述卧式石英钟罩清 洗机2包括清洗机箱体24以及设置在清洗机箱体24内的卧式石英钟罩清洗槽 241、零部件清洗槽242、清洗液缓冲槽243、去磷储液槽244、卧式二流体喷淋 装置245、卧式喷淋区保护装置246、药液加压系统247、清洗水增压与缓冲装 置248、氮气加热装置249、过滤系统250和水质检测装置251;所述药液增压 系统247即通过管道与卧式喷淋装置245相连接，又通过管道通向清洗液缓冲 槽243，还通过管道通向零部件清洗槽242底部；所述卧式二流体喷淋装置245 分别设置在零部件清洗槽242、卧式石英钟罩清洗槽241内，所述卧式二流体喷 淋装置245的底部通过管道与去磷储液槽244相通连接；所述氮气加热装置249 通过管道与设置在卧式石英罩清洗槽241内的卧式二流体喷淋装置245相连接， 且通过管道通向清洗液缓冲槽243;所述过滤系统250设置在药液加压系统247 与卧式二流体喷淋装置245之间的管道上；所述清洗水增压与缓冲装置248即 通过管道与卧式二流体喷淋装置245相连接，又通过管道与通向清洗液缓冲槽 243，还通过管道通向零部件清洗槽242;所述卧式喷淋区保护装置246包括氮 气正压保护装置2461和卡扣密封装置2462，通过向清洗区通入氮气形成正压，以防止酸液气体腐蚀石英钟罩的外壁，卡扣密封装置2462通过卡扣直接盖住卧 式石英钟罩清洗槽和零部件清洗槽的开口进行密封；所述水质检测装置251通 过管道连接在清洗液缓冲槽243的底部。
所述药液增压系统247是采用聚偏二氟乙烯材质的气动隔膜泵或磁力泵。
所述卧式喷淋装置245为内部喷淋，包括喷淋管2451和喷嘴2452，所述的 喷淋管2451是聚四氟乙烯材质。该装置可以喷射腐蚀液、清洗水或热氮气。
所述清洗水增压与缓冲装置248包括缓冲水箱2481和增压泵2482，清洗水 入口管道通向缓冲水箱2481，缓冲水箱2481通过管道与增压泵2482连接，增 压泵2482连接清洗水出口管道。
所述氮气加热系统249的输出氮气温度在60 8(TC之间。
所述过滤系统250的过滤精度为5u。
所述水质检测装置251是在线式电阻率水质检测装置。
所述零部件清洗槽242设有匹配的盖子，防止工作或停机时污染。
所述清洗液缓冲槽243的槽内设有液位防溢出装置，且采用封闭式结构， 顶部可拆卸，以方便清洗该缓冲槽的内壁。
所述去磷储液槽244的槽内设有液位防溢出装置，且采用封闭式结构，顶 部可拆卸，以方便清洗该储液槽的内壁。
进一步改进的实施例，参见图l、 5、 6、 7所示，所述立式石英钟罩清洗机 3包括清洗机箱体31以及设置在箱体内的立式清洗区32、去硼储液槽33、 二流 体喷淋装置34、药液增压系统35、氮气加热系统36、过滤系统250、清洗水增 压与缓冲装置2488和防漏板39;所述药液增压系统35即通过管道与二流体喷 淋装置34相连接；所述二流体喷淋装置34设置在立式清洗区32内，且其底部 通过管道与去硼储液槽33相通连接；所述氮气加热装置36通过管道与设置在立式清洗区32内的二流体喷淋装置34相连接；所述过滤系统250设置在药液 加压系统35与二流体喷淋装置34之间的管道上；所述清洗水增压与缓冲装置 248通过管道与二流体喷淋装置34相连接；所述防漏盘39设置在清洗机箱体 31的下方。
进一步地改进，所述立式清洗区32设两道防护门，内侧为旋转门321，呈 圆弧状，外形美观而又能起到很好的密封性能，操作方便；外侧为一单开门322， 门四周设有密封条3221，该密封条3221能起到第二次密封作用，门下侧有导流 板323，该导流板323可将溅在门板上的清洗液导流到槽内部，中间为透明板， 可从外面观察到被清洗物的状态，以便适时控制；所述单开门322的内侧还配 有热氮气吹干装置324，在清洗过程中可及时烘干溅在门板上的清洗液；
进一步地改进，所述二流体喷淋装置34包括顶部二流体喷淋系统341和底 部二流体喷淋系统342;所述顶部二流体喷淋系统341包括喷淋管3411和喷嘴 3412及多功能接口模块3413，所述底部二流体喷淋系统342包括喷淋管3421 和喷嘴3422及多功能接口模块3423;所述的喷淋管3411、 3421是聚四氟乙烯 或可溶性聚四氟乙烯材质。该装置34可以喷射腐蚀液、清洗水或热氮气。
进一步地改进，所述药液增压系统35是采用聚偏二氟乙烯材质的气动隔膜 泵或磁力泵。
进一步地改进，所述清洗水增压与缓冲装置248包括缓冲水箱2481和增压 泵2482，清洗水入口管道通向缓冲水箱2481，缓冲水箱2481通过管道与增压 泵2482连接，增压泵2482连接清洗水出口管道。
进一步地改进，所述氮气加热系统36的输出氮气温度在60 8(TC之间。
进一步地改进，所述过滤系统250的过滤精度为5u。
进一步地改进，所述立式清洗区32的底部往中部倾斜，采用快排阀快速排液。
进一步地改进，所述去硼储液槽33的槽内设有液位防溢出装置，且采用封 闭式结构，顶部可拆卸，以方便清洗该储液槽的内壁。
显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举 例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员 来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需 也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本实用新型的技术方案所引伸 出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。
权利要求1、一种组合式钟罩清洗机，其特征在于它包括箱体、卧式石英钟罩清洗机和立式石英钟罩清洗机；所述卧式石英钟罩清洗机设置在箱体内左侧，所述立式石英钟罩清洗机设置在箱体的右侧；所述卧式石英钟罩清洗机从上到下分为电器搁置区、卧式钟罩清洗区、配套零部件清洗区和储液槽放置区；所述立式石英钟罩清洗机从上到下分为钟罩清洗区、上下二流体喷淋管路和液体回收区和储液槽放置区。
2、 根据权利要求1所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述卧式 石英钟罩清洗机包括清洗机箱体以及设置在清洗机箱体内的卧式石英钟罩清洗 槽、零部件清洗槽、清洗液缓冲槽、去磷储液槽、卧式二流体喷淋装置、卧式 喷淋区保护装置、药液加压系统、清洗水增压与缓冲装置、氮气加热装置、过 滤系统和水质检测装置；所述药液增压系统即通过管道与卧式二流体喷淋装置 相连接，又通过管道通向清洗液缓冲槽，还通过管道通向零部件清洗槽底部； 所述卧式二流体喷淋装置分别设置在零部件清洗槽、卧式石英钟罩清洗槽内， 所述卧式二流体喷淋装置的底部通过管道与去磷/硼储液槽相通连接；所述氮气 加热装置通过管道与设置在卧式石英罩清洗槽内的卧式喷淋装置相连接，且通 过管道通向清洗液缓冲槽；所述过滤系统设置在药液加压系统与卧式喷淋装置 之间的管道上；所述清洗水增压与缓冲装置即通过管道与卧式喷淋装置相连接， 又通过管道与通向清洗液缓冲槽，还通过管道通向零部件清洗槽；所述卧式喷 淋区保护装置包括氮气正压保护装置和卡扣密封装置，卡扣密封装置通过卡扣 直接盖住卧式石英钟罩清洗槽和零部件清洗槽的开口 ；所述水质检测装置通过 管道连接在清洗液缓冲槽的底部。
3、 根据权利要求2所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述卧式二流体喷淋装置为内部喷淋，包括喷淋管和喷嘴及多功能接口模块，所述的喷 淋管是聚四氟乙烯材质。
4、 根据权利要求2所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述零部件清洗槽设有匹配的密封盖子。
5、 根据权利要求2所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述去磷 储液槽的槽内设有液位防溢出装置，且采用封闭式结构。
6、 根据权利要求1所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述立式 石英钟罩清洗机包括清洗机箱体以及设置在箱体内的立式清洗区、去硼储液槽、 二流体喷淋装置、药液加压系统、氮气加热系统、过滤系统、清洗水增压与缓 冲装置和防漏盘；所述药液增压系统即通过管道与二流体喷淋装置相连接；所 述二流体喷淋装置设置在立式清洗区内，且其底部通过管道与去硼储液槽相通 连接；所述氮气加热装置通过管道与设置在立式清洗区内的二流体喷淋装置相 连接；所述过滤系统设置在药液加压系统与喷淋装置之间的管道上；所述清洗 水增压与缓冲装置通过管道与二流体喷淋装置相连接；所述防漏盘设置在清洗 机箱体的下方。
7、 根据权利要求6所述的一种钟罩组合式钟罩清洗机，其特征在于所述 立式槽设两道防护门，内侧为旋转门，呈圆弧状；外侧为一单开门，门四周设 有密封条，门下侧有导流板，中间为透明板；所述单开门的内侧还配有热氮气吹干装置。
8、 根据权利要求6所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述二流体 喷淋装置包括顶部二流体喷淋系统和底部二流体喷淋系统；所述顶部二流体喷 淋系统包括喷淋管和喷嘴及多功能接口模块组成，每个分支二流体喷淋区由喷 淋管喷觜及多功能接口模块组成，多功能接口模块的安装位置为每分支管路的总进口位置,从而达到雾化液体均匀喷淋到被洗物上;所述底部二流体喷淋系统包括喷淋管和喷嘴及多功能接口模块组成，每个分支二流体喷淋区由喷淋管喷觜及多功能接口模块组成,多功能接口模块的安装位置为每分支管路的总进口位置; 从而达到雾化液体均匀喷淋到被洗物上；所述的喷淋管是聚四氟乙烯或可溶性聚四氟乙烯材质，该装置可以喷射腐蚀液、清洗水或热氮气。
9、 根据权利要求6所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述立式清洗区的底部往中部倾斜。
10、 根据权利要求6所述的一种组合式钟罩清洗机，其特征在于所述去硼储液槽的槽内设有液位防溢出装置，且采用封闭式结构，顶部可拆卸。
专利摘要一种钟罩组合式钟罩清洗机，它包括箱体、卧式石英钟罩清洗机和立式石英钟罩清洗机；所述卧式石英钟罩清洗机设置在箱体内左侧，所述立式石英钟罩清洗机设置在箱体的右侧；所述卧式石英钟罩清洗机从上到下分为电器搁置区、卧式钟罩清洗区、配套零部件清洗区和储液槽放置区；所述立式石英钟罩清洗机从上到下分为钟罩清洗区、上下二流体喷淋管路和液体回收区和储液槽放置区。本实用新型具有清洗均匀，可以避免使用马达电机带动钟罩旋转，腐蚀清洗效果更好，出现机器的故障机率大大减少，更安全，成本降低；卧式钟罩清洗机具有良好的密封性能，减少了操作者收到溅液伤害等优点。
文档编号B08B3/08GK201150922SQ20072031035
公开日2008年11月19日 申请日期2007年12月11日 优先权日2007年12月11日
发明者苏青茂 申请人:苏青茂