专利名称：一种光掩模在清洗过程中的传输方法
技术领域：
本发明涉及一种光掩模在清洗过程中的传输方法。
背景技术：
随着社会的不断发展和进步，电脑、手机、IC卡等等已成为现代人生活必不可少的 一部分，现代高速计算机、通讯系统、流水线生产和交通网络等等也成为各个领域必不可少 的组成部分，然后统统这些都是建立在发达的半导体集成电路技术上的，因此可以说半导 体集成电路已经在人民生活、工业生产、社会管理等等各个方面有着极为重要的地位。在集成电路生产制作流程中，最前沿、最关键部分是光掩模，光掩模是集成电路设 计的载体，是半导体芯片制作过程中必不可少的“模具”，光掩模的技术高低决定了半导体 芯片的运行速度和可靠性。一套光掩模可复制出成千上万的芯片，因此光掩模的品质决定 了半导体芯片的先进程度。光掩模的制作工艺中必不可少的一个环节就是光掩模的清洗工艺，传统的光掩模 清洗过程是使用机械手夹持光掩模放入不同的清洗腔内进行清洗，由于光掩模的是被机械 手直接接触，因此清洗后的光掩模还是容易受到机械手的污染，而且光掩模被机械手夹持 的地方也会容易出现损坏，最重要的是光掩模有多种不同的尺寸和形状，为配合不同尺寸 和形状的光掩模就需要设计非常多不同型号的机械手，机械手的生产是非常昂贵的而且更 换也不方便。综上所述，传统的光掩模的清洗工艺具有成品率低、生产成本高、安装使用不方便 等缺点。因此迫切需要在现有设备的基础上采用新的方法与相应的装置来解决现有技术中 的缺点。
发明内容
本实发明的目的在于提供一种光掩模在清洗过程中的传输方法，简单方便，对光 掩模的清洗干净彻底，更有效降低生产成本。实现本发明目的的技术方案是一种光掩模在清洗过程中的传输方法，具有以下 步骤①先将光掩模放置于卡盘上；②机械手抓住放置有光掩模的卡盘，并将其移动至翻转装置上；③翻转装置将卡盘上的光掩模翻转；④机械手再次抓住放置有光掩模的卡盘，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内 进行清洗；⑤清洗完成后机械手抓住放置有光掩模的卡盘，并将其送回翻转装置上；⑥翻转装置再次将卡盘上的光掩模翻转；⑦机械手抓住放置有光掩模的卡盘，并将其送回初始位置。步骤①中的卡盘包括把手、托盘和数个定位机构；所述把手位于托盘的底部，定位机构均勻设置于卡盘的托盘的上部；步骤①中光掩模放置于卡盘上的具体方法是将光掩模放置在卡盘的定位机构 上，由定位机构卡住光掩模。所述卡盘的定位机构有侧面设有缺口，中心设有穿过托盘的圆孔。所述卡盘的定位机构上还在所述圆孔附近设置有用于支撑光掩模的凸点。所述卡盘的定位机构的下半部为圆柱形，上半部分为两片扇型柱，缺口位于两片 扇型柱之间；所述定位机构通过两片扇型柱卡住光掩模。所述把手的底部设有非圆形的卡槽，把手左右两侧的中部均设有抓槽。所述机械手的形状与抓槽相配合；步骤②中机械手抓住把手的具体方法是机械手抓住把手的抓槽的槽底。步骤③和④中的翻转装置和工艺腔均设有与卡盘的卡槽配合的卡头。将卡盘放置在翻转装置和工艺腔的方法是让卡盘的卡槽罩住翻转装置或者工艺 腔的卡头。对于不同型号的光掩模设有相应型号的卡盘，卡盘的把手的尺寸和形状是固定 的。所述卡盘是耐腐蚀的塑料材质。本发明具有以下的有益效果(1)本发明为光掩模提供了一个随行的卡盘，在移 动光掩模的过程中，机械手只接触卡盘而并不与光掩模直接接触，这种方法解决了现有技 术中机械手容易污染、损坏光掩模的缺点。(2)本发明对于不同型号即不同尺寸和形状的光掩模设有相应型号的卡盘，卡盘 的把手的尺寸和形状是固定的，这样对于不同型号的光掩模就不必要设置相应的机械手， 只需要设置一套机械手和不同型号的卡盘便能完成对各种型号光掩模的清洗，而卡盘是耐 腐蚀的塑料材质，其注塑生产成本远远低于机械手的生产成本，而且更换卡盘也比更换机 械手简单得多。(3)本发明的定位机构侧面设有缺口，中心设有穿过托盘的圆孔，这样在清洗光掩 模时，光掩模与卡盘接触处的液体就能从此缺口和圆孔中排出，清洗干净彻底。(4)本发明的定位机构上还设置有凸点，凸点一方面能够减少光掩模与定位机构 的接触面积，另一方面使光掩模与定位机构上的圆孔之间形成空隙，方面清洗液体的甩出； 这样的结构能使得光掩模的清洗更加充分和彻底。
为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据具体实施例并结合附图，对 本发明作进一步详细的说明，其中图1为本发明机械手抓住卡盘的结构示意图。图2为本发明卡盘的结构示意图。图3为本发明卡盘的仰视示意图。附图中标号为机械手1、卡盘2、把手21、托盘22、定位机构23、缺口 24、圆孔25、凸点26、卡槽 27、抓槽28。
具体实施例方式(实施例1)见图1，本实施例包括光掩模、机械手1、卡盘2、翻转装置和工艺腔。本实施例的卡 盘用于四方形的光掩模的传输。见图2和图3，卡盘2包括把手21、托盘22和数个定位机构23 ；把手21位于托盘 22的底部，定位机构23均勻设置于卡盘2的托盘22的上部；卡盘2的定位机构23有侧面 设有缺口 24，中心设有穿过托盘22的圆孔25，圆孔25附近设置有凸点26。定位机构23的 下半部为圆柱形，上半部分为两片扇型柱，缺口 24位于两片扇型柱之间；定位机构23通过 两片扇型柱卡住光掩模，凸点26用于支撑光掩模。把手21的底部设有非圆形的卡槽27，把 手21左右两侧的中部均设有抓槽28。见图1，机械手1的形状与抓槽28相配合；本实施例的光掩模在清洗过程中的传输方法具有以下步骤①先将光掩模放置于卡盘2上；光掩模放置于卡盘2上的具体方法是将光掩模 放置在卡盘2的定位机构23上，由定位机构23卡住光掩模。②机械手1抓住放置有光掩模的卡盘2，并将其移动至翻转装置上；机械手1抓住 把手21的具体方法是机械手1抓住把手21的抓槽8的槽底。③翻转装置将卡盘2上的光掩模翻转；翻转装置设有与卡盘2的卡槽27配合的卡 头。④机械手1再次抓住放置有光掩模的卡盘2，并将其依次移动至各个不同的工艺 腔内进行清洗；工艺腔也设有与卡盘2的卡槽27配合的卡头。将卡盘2放置在翻转装置和 工艺腔的方法是让卡盘2的卡槽27罩住翻转装置或者工艺腔的卡头。⑤清洗完成后机械手1抓住放置有光掩模的卡盘2，并将其送回翻转装置上；⑥翻转装置再次将卡盘2上的光掩模翻转；⑦机械手1抓住放置有光掩模的卡盘2，并将其送回初始位置。对于不同型号的光掩模设有相应型号的卡盘2，卡盘2的把手21的尺寸和形状是 固定的，只用针对不同型号的光掩模设计不同的托盘22，即可满足用一副简单的机械手1 抓取各种型号的光掩模的要求。由于卡盘是2是随行的，因此卡盘2采用耐腐蚀的塑料材质以保证卡盘2的使用
寿命ο应当理解，以上所描述的具体实施例仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。由 本发明精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。
权利要求
1.一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于具有以下步骤①先将光掩模放置于卡盘( 上；②机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘O)，并将其移动至翻转装置上；③翻转装置将卡盘( 上的光掩模翻转；④机械手(1)再次抓住放置有光掩模的卡盘O)，并将其依次移动至各个不同的工艺 腔内进行清洗；⑤清洗完成后机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘O)，并将其送回翻转装置上；⑥翻转装置再次将卡盘( 上的光掩模翻转；⑦机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘O)，并将其送回初始位置。
2.根据权利要求1所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于步骤① 中的卡盘( 包括把手(21)、托盘0 和数个定位机构；所述把手位于托盘 (22)的底部，定位机构03)均勻设置于卡盘的托盘02)的上部；步骤①中光掩模放置于卡盘( 上的具体方法是将光掩模放置在卡盘的定位机 构(23)上，由定位机构03)卡住光掩模。
3.根据权利要求2所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于所述卡 盘的定位机构03)有侧面设有缺口(M)，中心设有穿过托盘02)的圆孔05)。
4.根据权利要求3所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于所述卡 盘(2)的定位机构03)的下半部为圆柱形，上半部分为两片扇型柱，缺口 04)位于两片扇 型柱之间；所述定位机构通过两片扇型柱卡住光掩模。
5.根据权利要求4所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于所述卡 盘的定位机构03)上还在所述圆孔05)附近设置有用于支撑光掩模的凸点06)。
6.根据权利要求5所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于所述卡 盘的把手的底部设有非圆形的卡槽(27)，把手左右两侧的中部均设有抓槽 (28)。
7.根据权利要求6所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于所述步 骤②中的机械手(1)的形状与抓槽08)相配合；步骤②中机械手(1)抓住把手的具体方法是机械手(1)抓住把手的抓槽 (28)的槽底。
8.根据权利要求7所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于步骤③ 和④中的翻转装置和工艺腔均设有与卡盘的卡槽07)配合的卡头。将卡盘( 放置在翻转装置和工艺腔的方法是让卡盘( 的卡槽、2Τ)罩住翻转装置 或者工艺腔的卡头。
9.根据权利要求8所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于对于不 同型号的光掩模设有相应型号的卡盘，卡盘⑵的把手的尺寸和形状是固定的。
10.根据权利要求9所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于所述卡 盘( 是耐腐蚀的塑料材质。
全文摘要
本发明公开了一种光掩模在清洗过程中的传输方法，首先将光掩模放置于卡盘上，然后机械手抓住卡盘，并将其移动至翻转装置上，翻转装置将卡盘上的光掩模翻转，然后机械手再次抓住卡盘，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗，清洗完成后机械手抓住卡盘底部的把手，并将其送回翻转装置上，翻转装置再次将卡盘上的光掩模翻转，最后机械手抓住卡盘，并将其送回初始位置。本发明为光掩模提供了一个随行的卡盘，在移动光掩模的过程中，机械手只接触卡盘而并不与光掩模直接接触，这种方法解决了现有技术中机械手容易污染、损坏光掩模的缺点。
文档编号B08B3/00GK102125921SQ20101030050
公开日2011年7月20日 申请日期2010年1月20日 优先权日2010年1月20日
发明者吉保国, 徐飞, 金海涛 申请人:常州瑞择微电子科技有限公司