金刚石线超声波清洗装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种金刚石线超声波清洗装置，包括清洗槽和超声波装置，超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板，超声波振动板设置在清洗槽内，清洗槽的中部开设有金刚石线的进口和出口，清洗槽的进口处设有金刚石线放卷装置，清洗槽的出口处设有金刚石线的收卷装置，所述的清洗槽上设有清洗液补充装置。本发明的金刚石线超声波清洗装置，结构简单，构思新颖，可实现金刚石线的连续化超声清洗，效率高，效果好，更可实现金刚石线的在线清洗，在切割硅片后立即进行清洗，此时清洗残余硅颗粒也更容易被去除，以便于金刚石线的后续利用，提高金刚石线的利用率，降低金刚石线的使用成本，便于金刚石线切割的推广。
【专利说明】金刚石线超声波清洗装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及金刚石线清洗装置，尤其是一种金刚石线超声波清洗装置。
【背景技术】
[0002]金刚石线切割机对于太阳能硅材料切割行业而言，是革命性的进步。金刚石线切割机切割工艺已经在日本90%以上用户普及使用，在欧美20%以上用户使用。目前国内市场上的金刚石线切割机主要被国外公司垄断，在太阳能硅材料切割用的金刚石线切割机市场上，中国制造尚处于空白状态，与传统的钢线和砂浆切割方式相比，金刚石线切割机具有诸多优点:可实现高速切割，环保生产，成本低廉等等，而且与国外同类型产品相比具有明显的性价比优势。高速切割是针对传统的砂浆切割方式而言，速度是该传统工艺切割的2-3倍，能够使用户降低采购设备成本，同时也能使用户能够承接较大的订货量。环保生产也是针对传统的砂浆切割方式而言，传统工艺切割环境恶劣，不环保，且大量的砂浆需要回收处理，耗用大量的人力和财力成本，而金刚石线切割机的工艺却无须砂浆，只需要水或是水基冷却清洁液就可以，真正实现了环保生产和制造。金刚石切割线对比传统钢线优势非常明显，用同样设备采用电镀金刚石钢丝线切割多晶硅碇，比采用砂浆切割所用时间大大缩短，最大限度地发挥了设备效能；设备应用环境得到有效改善，提高设备使用寿命；设备实际使用功率减小。金刚石线在完成一次线切割后需要进行清洗，去除金刚石线表面的硅料，以便后续继续使用，普通的清洗方法和清洗设备难以去除粘附在金刚石线上的硅料，影响了金刚线的再次利用。
【发明内容】
[0003]本发明要解决的技术问题是:克服现有技术中金刚石线的难以清洗，影响后续使用的技术问题，提供一种金刚石线超声波清洗装置，通过超声波清洗金刚线，可实现连续化生产，效果好，效率高。
[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种金刚石线超声波清洗装置，包括清洗槽和超声波装置，所述的超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板，所述的超声波振动板设置在清洗槽内，所述的清洗槽的中部开设有金刚石线的进口和出口，所述的清洗槽上设有清洗液补充装置。金刚石线完成切割后直接从清洗槽的进口穿射至出口，通过超声波振动板使清洗槽内的清洗液作用在金刚石线表面，超声波带动金刚石线上的残余硅颗粒一起振动，并随之脱落，从出口出来的干净的金刚线可立即进行新硅片的切割，完成金刚石线的在线连续化清洗。
[0005]进一步的，也为便于离线集中清洗，所述的清洗槽的进口处设有金刚石线放卷装置，清洗槽的出口处设有金刚石线的收卷装置，
[0006]作为优选的，所述的超声波振动板的数量为两个，所述的两个超声波振动板夹设在清洗槽进口和出口上下两侧。即金刚石线从两个超声波振动板之间穿射而过，使得金刚石线整个表面得到彻底的清洗。[0007]进一步的，所述的清洗槽包括上槽体和下槽体，所述的上槽体与下槽体直接可拆卸连接。为便于金刚石线穿过清洗槽，便于金刚石线穿过，所述的上槽体与下槽体之间可翻转连接。
[0008]进一步的，为便于控制清洗槽内的液位，所述的上清洗槽设有液位计。
[0009]进一步的，为确保清洗槽内的清洗液浸没金刚石线，所述的槽体的进口和出口处分别设有溢流槽。
[0010]进一步的，所述的溢流槽为围绕在清洗槽周向的环形结构。
[0011]具体的，所述的清洗液补充装置包括一蓄液槽，所述的蓄液槽分别通过管道与溢流槽和清洗槽形成循环回路，蓄液槽与清洗槽之间的管道上设有泵体和开关阀。
[0012]进一步的为去除清洗液中的硅料，所述的蓄液槽与溢流槽和清洗槽之间的管道上设有过滤装置。
[0013]进一步的，所述的蓄液槽与清洗槽之间的管道上设有压力表。
[0014]本发明的有益效果是，本发明的金刚石线超声波清洗装置，结构简单，构思新颖，可实现金刚石线的连续化超声清洗，效率高，效果好，更可实现金刚石线的在线清洗，在切割硅片后立即进行清洗，此时清洗硅料也更容易被去除，以便于金刚石线的后续利用，提高金刚石线的利用率，降低金刚石线的使用成本，便于金刚石线切割的推广，在线清洗时超声波使金刚线产生微震动，可使被切割物体的切割面平整、光洁，减少后序的磨、抛工序或工作量，并能使金钢线的寿命加长。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0016]图1是本发明的金刚石线超声波清洗装置第一个实施例的结构示意图。
[0017]图2是本发明的金刚石线超声波清洗装置第二个实施例的结构示意图。
[0018]图3是本发明的金刚石线超声波清洗装置第三个实施例的结构示意图。
[0019]图中:1.清洗槽，11.进口，12.出口，2.超声波振动板，3.放卷装置，4.收卷装置，
5.液位计，6.溢流槽，7.蓄液槽，8.过滤装置。
【具体实施方式】
[0020]现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
[0021]如图1所示，本发明的一种金刚石线超声波清洗装置的第一个实施例，包括清洗槽I和超声波装置，所述的超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板2，所述的超声波振动板2设置在清洗槽I内，所述的清洗槽I的中部开设有金刚石线的进口 11和出口 12，所述的清洗槽I上设有清洗液补充装置。金刚石线从清洗槽I的进口 11穿射至出口 12，通过超声波振动板2使清洗槽I内的清洗液作用在金刚石线表面，超声波带动金刚石线上的残余硅颗粒一起振动，并随之脱落，本金刚石线超声波清洗装置科直接安装于硅片切片机上，完成金刚石线的在线连续化清洗。在线清洗时超声波使金刚线产生微震动，可使被切割物体的切割面平整、光洁，减少后序的磨、抛工序或工作量，并能使金钢线的寿命加长。[0022]进一步的，为确保清洗槽I内的清洗液浸没金刚石线，所述的槽体的进口 11和出口 12处分别设有溢流槽6。
[0023]进一步的，所述的溢流槽6为围绕在清洗槽I周向的环形结构。
[0024]具体的，所述的清洗液补充装置包括一蓄液槽7，所述的蓄液槽7分别通过管道与溢流槽6和清洗槽I形成循环回路，蓄液槽7与清洗槽I之间的管道上设有泵体和开关阀。
[0025]如图2所示，本发明的一种金刚石线超声波清洗装置的第二个实施例，与第一个实施例的区别在于:所述的清洗槽I的进口 11处设有金刚石线放卷装置3，清洗槽I的出口 12处设有金刚石线的收卷装置4。金刚线在完成切割后，可以收卷起来，然后再集中清洗后收卷，以备下次使用。
[0026]作为优选的，所述的超声波振动板2的数量为两个，所述的两个超声波振动板2夹设在清洗槽I进口 11和出口 12上下两侧。即金刚石线从两个超声波振动板2之间穿射而过，使得金刚石线整个表面得到彻底的清洗。
[0027]进一步的，所述的清洗槽I包括上槽体和下槽体，所述的上槽体与下槽体直接可拆卸连接。为便于金刚石线穿过清洗槽I。
[0028]进一步的，便于金刚石线穿过，所述的上槽体与下槽体之间可翻转连接。
[0029]进一步的，为便于控制清洗槽I内的液位，所述的上清洗槽I设有液位计5。
[0030]如图3所示，本发明的第三个实施例，与第二个实施例的区别在于:进一步的为去除清洗液中的硅料，所述的蓄液槽7与溢流槽6和清洗槽I之间的管道上设有过滤装置8。
[0031]进一步的，所述的蓄液槽7与清洗槽I之间的管道上设有压力表。
[0032]以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【权利要求】
1.一种金刚石线超声波清洗装置，其特征是:包括清洗槽和超声波装置，所述的超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板，所述的超声波振动板设置在清洗槽内，所述的清洗槽的中部开设有金刚石线的进口和出口，所述的清洗槽上设有清洗液补充装置。
2.如权利要求1所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的清洗槽的进口处设有金刚石线放卷装置，清洗槽的出口处设有金刚石线的收卷装置。
3.如权利要求1或2所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的超声波振动板的数量为两个，所述的两个超声波振动板夹设在清洗槽进口和出口上下两侧。
4.如权利要求1所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的清洗槽包括上槽体和下槽体，所述的上槽体与下槽体直接可拆卸连接，所述的上槽体与下槽体之间可翻转连接。
5.如权利要求1所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的上清洗槽设有液位计。
6.如权利要求1所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的槽体的进口和出口处分别设有溢流槽。
7.如权利要求6所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的溢流槽为围绕在清洗槽周向的环形结构。
8.如权利要求1所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的清洗液补充装置包括一蓄液槽，所述的蓄液槽分别通过管道与溢流槽和清洗槽形成循环回路，蓄液槽与清洗槽之间的管道上设有泵体和开关阀。
9.如权利要求8所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的蓄液槽与溢流槽和清洗槽之间的管道上设有过滤装置。
10.如权利要求8所述的金刚石线超声波清洗装置，其特征是:所述的蓄液槽与清洗槽之间的管道上设有压力表。
【文档编号】B08B3/12GK103611705SQ201310586113
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2013年11月19日 优先权日:2013年11月19日
【发明者】陈宏 , 徐虎 申请人:张家港市超声电气有限公司