脱模用垫板的制作方法

专利名称：脱模用垫板的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种脱模用垫板，详细地说是涉及一种从成型的模具上拆 掉成型后的制品时用来使脱模良好的脱模用垫板。
背景技术：
在制造以碳化硅和氮化铝等为原材料的构件时，将碳化硅等原料在收 容于石墨质模具和石墨制成型容器等中的状态下加热、加压，成型为模具 等模的形状。在这种成型之际，若将原料直接放入模具中加热，则原料、 模具等均达到非常高的温度，从而，产生由于两者反应而造成的模具等损 伤和由于模具等含有的杂质而污染原料。另外，若在原料的蒸发气体等接 触到原料的状态下进行成型，则产生制造出来的制品有气泡、品质降低的 问题。
考虑到这些问题，以前就在成型物质的模和原料之间夹入脱模用垫 板，例如，石英玻璃制造中，在二氧化硅粉末和石墨质模具之间夹入由石 墨质碳素纤维组成的毛毡材料和石墨垫板等(例如，参照下述专利文献
1~3)。
具体地说，上述专利文献1、 2中所述的宗旨是使用体积密度为 0.1~1.5g/cm3、且Na、 K、 Fe及Ti各杂质为lppm以下这样高纯度化的 石墨毛毡和石墨垫板等。叙述了石墨毛毡及石墨垫板均具有伸缩性和通气 性，而且，石墨垫板由于与二氧化硅粉末反应而造成的消失量少，再因为 表面平滑，从而适于获取玻璃面的平整度。
另外，专利文献3中所述的宗旨是在填充二氧化硅粉末和圆筒形状构 成石墨质碳的接触部分夹入由石墨质碳素纤维组成的体积密度为0.1 0.5g /cii^的碳毛毡。并且，叙述了碳毛毡具有的功能是排出二氧化硅蒸发气 体和随着碳毛毡与二氧化硅反应而产生的气体，而且，能够吸收制造出来 的玻璃和圆筒形状构成石墨质碳的热膨胀差，因此具有防止玻璃制造后冷
4却时两者破坏的功能。
专利文献l:特开平11一228166号 专利文献2:特开平11一278857号 专利文献3:特开平10—167742号
然而，尽管专利文献1~3中石墨毛毡及石墨垫板、碳毛毡(将它们统 称，以下有时只称为垫板)具有一定程度的伸縮性和通气性，但是这些特 性并不充分，从而还无法消除模具和玻璃等由于热膨胀差引起的破损、制 品产生气泡这样的问题。
另外，从模具中取出制造出来的制品时，产生垫板附着在制品上的现 象，从而必须从制品上去除垫板。去除该垫板需要较长时间，从而存在制 品生产效率降低的问题。而上述专利文献3中并没有对于解决这些问题的 方法进行任何叙述。
再有，当垫板附着在制造出来的制品上时，即使从制品上去除垫板， 垫板表面的凹凸也转印在制品表面上。此时，如果转印的凹凸大，则从制 品去除的部分就多，因此，用来去除凹凸的作业时间长，导致生产效率的 进一步降低。此外，去除垫板时往往也要削去制品，因此若其去除量增多， 则还产生制品的壁厚比规定值薄，制品的有效利用率降低的问题。关于这 点，现有在专利文献1中对石墨垫板其表面平滑且适于获取玻璃面的平整 度有一定程度的叙述，而关于要将垫板表面设计为何种程度的面精度才能 縮短凹凸去除作业、或提高有效利用率，并没有具体指出。
另一方面，作为具有伸缩性和通气性的材料有膨胀石墨垫板，该膨胀 石墨垫板具有柔软性和压縮性、通气性等，具有适于作为脱模用垫板的优 异性能，却没有发现对适用于脱模用垫板的优异性能进行具体考虑、探讨 的例子。

发明内容
本发明即是鉴于上述事情产生的，其目的在于提供一种釆用膨胀石墨 作为原材料的脱模用垫板，在加压压縮碳化硅和氮化铝等制造时，能够保 证高制品品质，而且能够飞跃性提高作业效率和有效利用率等。
为了实现上述目的，本发明是一种配置在模具和成形原料之间、由膨胀石墨组成的脱模用垫板，其特征在于，下述(l)式所示的透气率为1.0xl0 一4cmVs以下。
透气率二Q L/ ( AP A) ... (1)
其中，上述(1)式中，Q为气体流量(Pa*cm3/s) ， AP是两室间 的压力差(Pa) ， A是脱模用垫板的透气面积、也就是连通两室的通路的 面积(cm2) ， L是脱模用垫板的厚度(cm)。
如果如上述构成那样极低地限制脱模用垫板的透气率，则在碳化硅和 氮化铝等制造过程中，当在原料和模具等之间配置脱模用垫板时，能够抑 制气化的原料、脱模用垫板和原料反应产生的气体透过脱模用垫板。从而 能够抑制气体和模具反应，因此能够防止模具的恶化。
优选是上述(1)式所示的透气率为1.0xl0—VmVs以上。
从抑制气体和模具反应的观点来说，透气率越低越好，不过，若透气 率过低，则产生成型的制品产生气泡等问题。从而，优选是透气率为1.0xl0 —9cmVs以上。
优选是下述(2)式所述的剥离强度为50kPa以下。
剥离强度二LD/ (WM)…(2)
其中，上述式(2)中，LD是负载，t是脱模用垫板的厚度，W是粘接 部分的宽度。
如果如上述构成那样低地限制剥离强度，则从模具中取出制造出来的 制品时，能够简单且在短时间内进行附着在该制品上的垫板去除作业。从 而能够降低制品的制造成本。
优选是表面的算术平均粗糙度为10u m以下。
如果如上述构成那样脱模用垫板表面的算术平均粗糙度为10iim以 下(即，如果脱模用垫板表面光洁)，则能够提高垫板去除后制品表面的 光洁度，因此不需要垫板去除后的加工，能够大幅地縮短必要情况进行加 工所需要的作业时间。从而能够进一步提高生产效率。另外，由于制品去 除量减少，从而能够抑制制品的壁厚比规定值薄，制品的有效利用率提高。 再有，如果脱模用垫板表面的凹凸减少，则垫板表面方向上的导热率的离 散变小，因此能够均匀地对原料供热。
优选是面方向的导热率为100W/ (m'K)以上。
6如果如上述构成那样脱模用垫板面方向的导热率提高，则能够快速上 升原料的温度，因此能够縮短成型时间，其结果是制品的生产效率进一步
提咼o
优选是下述(3)式所示的压缩率为30%以上。 压縮率(％) = 〔 (t,—t2) /t,〕 X100…(3)
其中，上述(3)式中，t,是施加15秒钟预压(0.686MPa±l%)后的 厚度(mm) ， 12是施加60秒钟全压(34.3MPa±l%)后的厚度(mm)。
如果如上述构成那样限制脱模用垫板的压縮率，则即使由于原料和模 具的热膨胀率不同而引起原料和模具的膨胀收缩量产生差异，也能够依靠 脱模用垫板的变形吸收该差异，因此能够防止制品和模具等破损。
优选是上述(3)式所示的压缩率为80%以下。
这是因为一般来说，若压缩率高，则透气率有增大的倾向，不过，如 果压縮率为80%以下，则透气率被限制在上述范围内。 优选是体积密度为0.5 Mg / m3以上1.5 Mg / m3以下。 这是因为，若体积密度超过1.5Mg/m3，则压縮率下降，有可能产生 制品和模具等破损、或将脱模用垫板弯曲时产生断裂，另一方面，若体积 密度不足0.5Mg/m3，则透气率变大，往往会产生模具的恶化等。
根据技术方案1 9任意一项所述的脱模用垫板，厚度为1.5mm以下。 如果如上述构成那样，脱模用垫板的厚度为1.5mm以下，则能够容 易弯曲垫板，因此能够将脱模用垫板容易且以密接状态安装在模具上。从 而能够在短时间内进行垫板的安装作业，从而能够縮短整个成型作业的作 业时间，因此能够降低制品的制造成本。 优选是厚度为0.2mm以上。
如果如上述构成那样，脱模用垫板的厚度为0.2mm以上，则即使是 弯曲脱模用垫板时，也能够抑制脱模用垫板断裂，而且由于厚度方向的变 形量增多，因此能够抑制制品等损伤。
优选是灰分为30massppm以下。
如果如上述构成那样脱模用垫板中的灰分减少，则能够防止成型的原 料被污染，因此能够提高制品品质。 发明效果
7如以上说明，根据本发明，能够实现以下那样的优异效果，即在加压 压縮碳化硅和氮化铝等进行制造时，能够保证高制品品质，而且能够提高 作业效率和有效利用率等。


图1是制造合成石英等的设备的概略说明图。
图2是图1的A部分放大剖视图。
图3是用以说明表面粗糙度的曲线。
图4是表示脱模用垫板中体积密度和透气性关系的曲线。
图5是表示剥离强度测定中使用的试验片的制作方法的说明图。
图6是表示剥离强度测定中使用的试验片的制作方法的说明图。
图7是表示剥离强度的测定方法的说明图。
图8是表示脱模用垫板中体积密度和剥离强度关系的曲线。
图9是表示脱模用垫板中体积密度和压缩率关系的曲线。
图中，l一模具，4一脱模用垫板，M—二氧化硅粉末。
具体实施例方式
接下来，根据

本发明的实施方式。
本发明的脱模用垫板是一种将碳化硅和氮化铝等原材料在收容于石
墨质模具和石墨制成型容器等中的状态下加热加压进行成型之际、配置在 原料和模具等之间使用的垫板。
此外，使用本发明的脱模用垫板进行制造的制品为例如合成石英和 SiC等，不过并没有特别限定。
首先，在说明本发明的脱模用垫板之前，对本发明的脱模用垫板的使 用状态进行说明。以下，以制造圆筒状石英玻璃的情况为代表进行说明。
图1中，符号1是收容有作为石英玻璃原材料的二氧化硅粉末M的 模具，由例如石墨构成。该模具1由圆筒状的内侧构件la、圆筒状的外侧 构件lb及板状的底构件lc构成，在由这些构件围起来的空间中收容二氧 化硅粉末M。另外，符号2是用来加压上述二氧化硅粉末M的加压构件。
如图2所示，在上述模具1的外侧构件lb的内面配置本发明的脱模用垫板4，以使二氧化硅粉末M与模具1不直接接触，另外，没有图示，
不过在内侧构件la的内面、底构件lc的上表面及加压构件2的下表面(全 部与二氧化硅粉末M接触的面)也配置有本发明的脱模用垫板4。
并且，只要将收容在模具1内的二氧化硅粉末M利用加压构件2加 压并加热，就能够形成圆筒状的合成石英。
接下来，关于本发明的脱模用垫板进行说明。 (脱模用垫板的整体构成)
本发明的脱模用垫板是将膨胀石墨成型并形成板状的装置。
上述膨胀石墨是通过将天然石墨和集结石墨等浸渍在硫酸和硝酸等 液体中后，在40(TC以上进行热处理从而形成，膨胀石墨呈棉状或纤维状， 也就是说，其轴方向的长度比半径方向的长度长。例如，膨胀石墨其轴方 向的长度为l 3mm左右，且半径方向的长度为300 600iLim左右。而且，在 本发明的脱模用垫板内部，如上所述的膨胀石墨彼此缠绕。
此外，本发明的脱模用垫板可以只由如上所述的膨胀石墨形成，不过， 也可以混合一些(例如，5%左右)酚醛树脂和橡胶成分等的粘合剂。 (脱模用垫板的透气率)
本发明的脱模用垫板将上述(1)式所示的透气率调整为1.0xl0—4cm2 /s以下。
碳化硅或氮化铝等金属制造中，原料气化或脱模用垫板与原料反应而 产生气体，不过，若脱模用垫板的透气过大，则产生的问题是由于透过了
脱模用垫板的气体而使石墨制模具等恶化。可是，如果像上述那样限制脱 模用垫板的透气率，则能够抑制产生气体透过脱模用垫板，因此能够防止 石墨制模具的恶化(SiC化)，能够延长模具等的寿命。
不过，若透气率过小，则产生成型的制品上产生气泡等问题，因此透 气率优选为1.0xl(TVr^/s以上。由以上可知，脱模用垫板的透气率优选 为1.0xl0—9cm2 / s以上1.0xl(T4cm2 / s以下，特别优选为1.0x10—9cm2 / s以 上1.0xl0—6cmVs以下。
(脱模用垫板的剥离强度) 本发明的脱模用垫板其剥离强度被调整为50kPa以下。如果采用这样
的构成，则从模具中取出制品时，能够简单地去除附着在制品上的脱模用垫板，因此能够在短时间内完成制品成型后的后处理作业。 (脱模用垫板的光洁度) 若使用脱模用垫板，则会在制品表面转印脱模用垫板表面的凹凸，而 随着制造出来的制品不同，也有一些制品其表面性状要求高光洁性，当制 造那样的制品时，如果脱模用垫板表面的光洁性低，则脱模用垫板去除后， 必须将制品表面加工成规定的光洁度。
在此，本发明的脱模用垫板其表面的算术平均粗糙度调整为10um以
下，即使在成型的制品上转印脱模用垫板表面的形状、也就是凹凸，也能 够提高去除脱模用垫板后的制品表面的光洁度。
从而，如果像本发明的脱模用垫板那样其表面光洁度高、其光洁度比 制品表面所要求的光洁度高，则不需要脱模用垫板去除后的加工。另一方 面，即使是光洁度比脱模用垫板表面光洁度要求高的制品，也能够减少通 过加工从制品去除的量。因而，能够縮短用来达到规定光洁度的加工时间， 其结果是制品的生产效率提高。而且，由于制品去除量减少，从而能够抑 制制品的壁厚比规定值薄，制品的有效利用率提高。再有，如果脱模用垫 板表面的凹凸减少，则垫板表面方向上的导热率的离散变小，因此能够均 匀地对原料供热。
并且，如果采用以下方法，则制造时能够如上所述使本发明的脱模用
垫板其表面的算术平均粗糙度为10um以下。
首先，将天然石墨和集结石墨等浸渍在硫酸和硝酸等液体中后，在400 'C以上进行热处理从而形成棉状石墨(膨胀石墨)。该膨胀石墨厚度为 1.0 30.0mm，体积密度为O.l 0.5 Mg/m3，将该膨胀石墨压縮到厚度为 0.2 0.6mm，体积密度为0.5 ~1.5 Mg / m3，形成脱模用垫板。
此时，如果将膨胀石墨在进给速度20.0m / min以下的状态下利用轧辊 轧制进行压缩，就能够防止在脱模用垫板表面产生褶皱，因此能够制造表 面的算术平均粗糙度为10lim以下的脱模用垫板。而若进给速度不足0.1m / min，则膨胀石墨的生产性下降。因而，进给速度优选为0.1 20.0m / min， 特别是限定在0.5 15.0 m / min为最佳。
另外，上述算术平均粗糙度根据JIS B0601定义。具体地说，算术平 均粗糙度(Ra)是指如图3所示，从粗糙度曲线沿其平均线方向取样基准
10长度L，沿该取样部分的平均线方向取X轴，另一方面，沿纵倍率的方向取
y轴，用y二f (x)表示粗糙度曲线时，以微米(ym)表示利用下述数l 求得的值。 [数l]
Ra = ^〖Lf (x)dx L J o
(脱模用垫板的导热率)
本发明的脱模用垫板其面方向的导热率被调整为100W/ (m*K)以 上。如果采用这样的构成，则原料的温度迅速上升，能够縮短成型时间， 其结果是制品的生产效率飞跃性提高。
特别是如果利用上述(脱模用垫板的光洁度)项所示的方法制造本发 明的脱模用垫板，则其面方向的导热率也均匀。具体地说，截取脱模用垫 板的一部分，形成边长200mm的正方形状试验片，若将该试验片中划分成 边长25mm的正方形状的多个试验区域，测定该多个试验区中的导热率， 则将导热率最大的试验区域中的导热率值和导热率最小的试验区域中的 导热率值的差除以全部试验区域中的导热率平均值所得的值设为0.1以下， 由此能够制造脱模用垫板。于是，能够防止在脱模用垫板上形成热斑，因 此能够均匀地加热制品，能够制造更均质的制品。 (脱模用垫板的压縮率)
另外，本发明的脱模用垫板上述(3)式所示的压縮率被调整为30% 以上。
如果采用这样的构成，则即使由于原料和模具等之间的热膨胀率不同 而引起加热开始时和冷却时等原料和模具等的膨胀收縮量产生差异，也能 够依靠脱模用垫板变形来吸收该差异，因此能够防止制品和模具等破损。 (脱模用垫板的厚度及体积密度)
尽管本发明的脱模用垫板具有上述压縮率，但是如果其厚度过薄，也 不能获得足够的缓冲余量。换言之，有可能无法吸收原料和模具等的膨胀 收縮量的差。另外，若将脱模用垫板安装在原料和模具之间，则脱模用垫板产生弯 曲变形以使其与原料和模具密接。此时，如果脱模用垫板本身的强度弱或 柔软性小，则脱模用垫板即使具有如上所述的压縮率，在弯曲变形时也有 可能产生脱模用垫板本身断裂、或缺损、或破坏。
可是，如果本发明的脱模用垫板厚度为0.2mm以上1.5mra以下，且体 积密度为0.5 Mg / 1113以上1.5 Mg / n^以下，则脱模用垫板具有一定程度的 强度，因此即使脱模用垫板变形也能够防止其断裂等。而且，由于脱模用 垫板不会过厚，因此能够容易地弯曲脱模用垫板，即使弯曲也能够防止断 裂。因而，不仅能够容易地将脱模用垫板安装在模具等上，而且还能够以 密接的状态将脱模用垫板安装在模具等上。
从而，能够在短时间内进行垫板的安装作业，因此不仅能够有助于縮 短脱模用垫板的安装作业，还能够有助于缩短整个成型作业的作业时间。
特别是，如果设定脱模用垫板厚度为0.3mm以上1.5mm以下，且体积 密度为0.5 Mg/n^以上1.5 Mg/n^以下，则能够维持脱模用垫板的弯曲 性，且其强度也高，因此能够更确实地防止脱模用垫板的断裂等，因此作 为最佳选择。
(脱模用垫板的灰分)
再有，在本发明的脱模用垫板的制造工序中，是利用卤素气体等处理 脱模用垫板，如果脱模用垫板的灰分被调整为30ppm以下，则由于脱模用 垫板中的灰分少，因此能够防止成型的材料被污染，因此能够使成型品为 更高品质。
实施例
调查本发明的脱模用垫板中透气性和体积密度的关系，其结果如图4 所示。
通过测定确认厚度为0.5mm、表面的算术平均粗糙度为10um以下的 脱模用垫板中，设定体积密度为O.l、 0.3、 0.5、 0.7、 1.0、 1.5、 1.7Mg/ 1113时的透气性。
此外，脱模用垫板利用卤素气体将灰分调整为30massppm以下。 另外，用以下方法测定透气率。(1) 在相互连通的一对密闭的室CA、 CB中，用本发明的脱模用垫 板(直径30mm)塞住连通两室CA、 CB的通路(直径10mm)进行配置。 换言之，形成一种不通过本发明的脱模用垫板，空气就不能在一对密闭的 室CA、 CB间流动的状态。
(2) 从该状态将两室CA、 CB抽真空，直到两室CA、 CB内的气压 为1.0X10—4Pa。然后， 一面继续进行一室CA内的抽真空， 一面供给N2 气直到另一室CB内达到规定的压力(1.0X105Pa)。
(3) 若另一室CB内达到规定的压力(1.0X105Pa)，则停止一室CA 内的抽真空。于是根据两室CA、 CB间的压力差和脱模用垫板的透气性， 而使N2气逐渐从另一室CB向一室CA流动，因此一室CA内的压力上升。
(4) 然后，测定停止一室CA内的抽真空后约100秒钟内一室CA内的 压力上升速度，根据下述(1)式，算出透气率K (cm2/s)。
透气率K二Q'L/ (AP'A)…(1)
其中，上述(1)式中，Q为气体流量(Pa*cm3/s) ， AP是两室间 的压力差(Pa) ， A是脱模用垫板的透气面积、也就是连通两室的通路的 面积(cm2) ， L是脱模用垫板的厚度(cm)。另外，气体流量Q根据停止 一室CA内的抽真空后约100秒钟内一室CA内的压力上升速度和一室CA的
容积算出。
如图4所示，能够确认若体积密度增大，则透气性降低，换言之，若 体积密度增大，则隔气性提高。 [第2实施例]
调査本发明的脱模用垫板中剥离强度和体积密度的关系，其结果如图 8所示。
通过测定，确认厚度为0.5mm、表面的算术平均粗糙度为10um以 下的脱模用垫板中，设定体积密度为0.3、 0.6、 0.8、 1.0、 1.2、 1.4、 1.6、 1.8、 2.0Mg/r^时的剥离强度。其中，脱模用垫板利用卤素气体将灰分调 整为30massppm以下。
在此，说明本发明的脱模用垫板的剥离强度的测定方法。 图5 图7是说明剥离强度测定方法的图。图5 图7中，符号4表示 本发明的脱模用垫板。如图7所示，在脱模用垫板4的一端部表面粘贴夕'
13> 7 a ^带等具有粘接层的带5的一端部，分别拉伸脱模用垫板4的另一 端部及带5的另一端部，测定两者剥离时的负载，从而进行剥离强度的测 定。
(1) 试验片的制作方法
首先如图5所示，将本发明的脱模用垫板4 一端部和带5 —端部粘贴 在一起，使其粘接部分为宽W25mmX长OL10mm (关于宽W、长OL参 照图6及图7)，利用辊等压紧工具(压紧速度约为5mm / s，往复1次) 压紧两者。
像这样压紧脱模用垫板4和带5后，如图6所示，保持着粘接带5 — 端部的状态将带5折叠。此时，注意使折叠的带5表面与粘贴的面、也就 是脱模用垫板4的表面平行。
最后，切断脱模用垫板4和带5，调整试验片10的整个长度L为 画mm。
(2) 使用了试验片10的剥离强度的测定方法 首先如图7所示，将试验片的两端安装在卡盘C上，保持试验片呈水
平。然后，以均匀的速度V (20 (mm/min)〕向试验片两端远离的方向 施加负载。也就是将试验片IO两端向相互远离的方向拉伸。
然后，若不断增大对试验片10施加的负载，则不久试验片10的带5 从脱模用垫板4剥离。根据以下(2)式，利用开始该剥离时的负载LD 求出脱模用垫板4的剥离强度T。
T=LD/ (W")…(2)
其中，式(2)中，t是脱模用垫板4的厚度，W是粘接部分的宽度。
另外，带5使用,>7'a ^带No.3505 (日东电工公司制)。
再有，测定机使用内向式试验机4301，保持试验片呈水平状态在该试
验机上部卡盘上安装本发明的脱模用垫板4、在下部卡盘上安装带5，以20 (mm/min)的均匀速度施加负载，记录两者间产生剥离的负载最大值，
根据该负载求出剥离强度。
此外，剥离开始是通过加载给装置的转矩进行判断。
如图8所示，能够确认随着体积密度增大，剥离强度增大，体积密度
在1.4 1.6Mg / r^之间剥离强度急剧增大。[第3实施例]
将本发明的脱模用垫板从厚度方向以34.3MPa的加压力加压压縮，调 查此时的压縮率，确认体积密度和压縮率的关系，其结果图9所示。
测定厚度为0.5mm的脱模用垫板中体积密度为0.1、 0.5、 0.8、 1.0、 1.2、 1.5、 1.8Mg/m3日寸的压縮率。
如图9所示，能够确认随着体积密度增大，压縮率降低。 [第4实施例]
比较厚度为0.2 0.6mm、体积密度为0.5~1.5Mg / m3的本发明的脱模 用垫板的导热率的离散，其结果如表1所示。
其中，导热率的离散是从200X200mm的本发明的脱模用垫板中截取 9个25X25mm的试验片，将各试验片面方向的导热率最大值(Max)和 最小值(Min)的差除以平均导热率(Ave.)，对所得的值进行比较。
厚度(mm)0 . 20 . 40 . 6
体积密度 (M g / m3)0 . 50.080.070.06
1 . 00.070 . 0 60 . 0 5
1 . 50.080.070 . 0 6
其中，面方向的导热率的单位为W/ (m'K)。
如表1所示，能够确认本发明的脱模用垫板的导热率的离散为0.1以 下，均热性优异。
工业上的可利用性
本发明的脱模用垫板适用于碳化硅(SiC)和氮化铝、合成石英等制 造中用来防止模具损伤和原料污染等而使用的垫板。
1权利要求
1. 一种脱模用垫板，是配置在模具和成形原料之间、由膨胀石墨组成的脱模用垫板，其特征在于，下述(1)式所示的透气率为1.0×10-4cm2/s以下，透气率＝Q·L/(ΔP·A)…(1)其中，上述(1)式中，Q为气体流量(Pa·cm3/s)，ΔP是两室间的压力差(Pa)，A是脱模用垫板的透气面积、也就是连通两室的通路的面积(cm2)，L是脱模用垫板的厚度(cm)。
2. 根据权利要求l所述的脱模用垫板，其特征在于， 上述(1)式所示的透气率为1.0xl0—^mVs以上。
3. 根据权利要求1或2所述的脱模用垫板，其特征在于， 下述(2)式所示的剥离强度为50kPa以下， 剥离强度二LD/ (W't)…(2)其中，上述(2)式中，LD是负载，t是脱模用垫板的厚度，W是粘接 部分的宽度。
4. 根据权利要求1 3中任意一项所述的脱模用垫板，其特征在于， 表面的算术平均粗糙度为10 u m以下。
5. 根据权利要求1 4中任意一项所述的脱模用垫板，其特征在于， 面方向的导热率为100W/ (m'K)以上。
6. 根据权利要求1 5中任意一项所述的脱模用垫板，其特征在于， 下述(3)式所示的压縮率为30%以上，压縮率(%) = 〔 (t「t2) /"〕 X100…(3) 其中，上述(3)式中，^是施加15秒钟预压(0.686MPa±l%)后的 厚度(mm) ， {2是施加60秒钟全压(34.3MPa±l%)后的厚度(mm)。
7. 根据权利要求6所述的脱模用垫板，其特征在于， 上述(3)式所示的压縮率为80%以下。
8. 根据权利要求1 7中任意一项所述的脱模用垫板，其特征在于， 体积密度为0.5 Mg / m3以上1.5 Mg / 1113以下。
9. 根据权利要求1 8任意一项所述的脱模用垫板，其特征在于，2厚度为1.5mm以下。
10. 根据权利要求9所述的脱模用垫板，其特征在于， 厚度为0.2mm以上。
11. 根据权利要求1~10中任意一项所述的脱模用垫板，其特征在于， 灰分为30massppm以下。
全文摘要
一种采用膨胀石墨作为原材料的脱模用垫板，在加压压缩碳化硅和氮化铝等制造时，能够保证高制品品质，而且能够飞跃性提高作业效率和有效利用率等。这种配置在模具的外侧构件(1b)的内面和二氧化硅粉末(M)之间、由膨胀石墨组成的脱模用垫板(4)，其特征在于，下述(1)式所示的透气率为1.0×10^-4cm²/s以下。透气率＝Q·L/(ΔP·A)…(1)。其中，上述(1)式中，Q为气体流量(Pa·cm³/s)，ΔP是两室间的压力差(Pa)，A是脱模用垫板的透气面积、也就是连通两室的通路的面积(cm²)，L是脱模用垫板的厚度(cm)。
文档编号C03B40/02GK101489943SQ20078002763
公开日2009年7月22日 申请日期2007年7月26日 优先权日2006年7月31日
发明者幸哲也, 广濑芳明 申请人:东洋炭素株式会社