一种集中供冷单晶硅线切机组的制作方法

文档序号:1974863阅读:133来源:国知局
专利名称:一种集中供冷单晶硅线切机组的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种线切机组,特别涉及一种集中供冷单晶硅线切机组。
背景技术
单晶硅线切机在工作时,发热量较大,必须需要额外加装冷却设备。现在的线切机 和冷却设备都是一一对应安装,即一台线切机装一台冷却机。由于切线机和冷却机体积都 较大,使得场地的使用率不高、配套设备多、维护工作量大、运行效率低、能耗高。
发明内容为了克服上述现有技术的缺陷,本实用新型目的在于提供一种集中供冷单晶硅线 切机组,采用大功率的冷却机带动多台线切机,节省了空间。为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的一种集中供冷单晶硅线切机组,包括两台或两台以上的线切机,其特征在于,每台 线切机的冷却口均与冷却机2采用并联方式相连通。本实用新型采用一拖多的冷却模式,参照了现在中央空调的原理,将冷却机置于 厂房外,节省了厂房空间。

附图是本实用新型的结构原理图。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作详细叙述。参照附图,以6个线切机组成的线切机组为例,线切机101、线切机102、线切机 103、线切机104、线切机105、线切机106的冷却口通过管道3与置于室外的的冷却机2相连 通,采用的是并联的方式。管道3的内部其实是两根水管,一个是进水管,一个是回水管,进 水管进冷冻水冷却,水管将冷却过后升温的水再次回到冷却机,形成循环使用,节省用水。本实用新型的工作原理为冷却机2将冷冻水通过管道3给每台线切机供凉水冷 却机组,由于采用并联方式,所以对每台线切机可单独控制。
权利要求一种集中供冷单晶硅线切机组,包括两台或两台以上的线切机,其特征在于,每台线切机的冷却口均与冷却机(2)采用并联方式相连通。
专利摘要一种集中供冷单晶硅线切机组,包括两台或两台以上的线切机,其特征在于,每台线切机的冷却口均与冷却机采用并联方式相连通。冷却机将凉水通过管道给每台线切机供凉水冷却机组,由于采用并联方式,所以对每台线切机可单独控制,本实用新型采用一拖多的冷却模式,参照了现在中央空调的原理,将冷却机置于厂房外,节省了厂房空间。
文档编号B28D5/04GK201712076SQ20102024196
公开日2011年1月19日 申请日期2010年6月28日 优先权日2010年6月28日
发明者李勇超 申请人:渭南安信电子技术有限公司
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