压电材料、压电元件及电子设备的制作方法
【专利摘要】本发明涉及压电材料、压电元件及电子设备。具体提供了一种在宽广的实际使用温度范围内具有令人满意并且稳定的介电常数和机械品质因子的无铅压电材料。所述压电材料包括由式（1）表示的钙钛矿型金属氧化物：(Ba1-xCax）a(Ti1-yZry）O3（其中1.00≤a≤1.01，0.125≤x≤0.300，并且0.041≤y≤0.074），Mn和Mg。基于以金属为基础的100重量份的钙钛矿型金属氧化物，Mn的含量为0.12重量份或更多并且0.40重量份或更少。基于以金属为基础的100重量份的钙钛矿型金属氧化物，Mg的含量为0.10重量份或更少（排除0重量份）。
【专利说明】压电材料、压电元件及电子设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及压电材料，特别是无铅压电材料。本发明还涉及压电元件、多层压电元件、液体排出头、液体排出装置、超声马达、光学设备、振动装置、除尘装置、图像采集装置和电子设备，每个均包括所述压电材料。
【背景技术】
[0002]通常，压电材料为ABO3钙钛矿型金属氧化物如锆钛酸铅(以下称为“PZT”)。然而，由于PZT包含作为A位点元素的铅，因而其对环境的影响是有争议的。因此，需要具有无铅钙钛矿型金属氧化物的压电材料。
[0003]已知钛酸钡为具有无铅钙钛矿型金属氧化物的压电材料。此外，为了改进压电材料的特性，开发了其基本组成为钛酸钡的材料。日本专利
【发明者】小山信也, 清水康志, 久保田纯, 上林彰, 田中秀典 申请人:佳能株式会社