一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法与流程

本发明涉及一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法，属于半导体多线切割领域，用于多线切割机上，控制砂浆的均匀流量。

背景技术：

原有的用于多线切割机的砂浆喷布装置，在晶棒上方，使用多孔管散喷砂浆，其不足之处为：喷布的砂浆不均匀，容易在晶片表面造成切割痕，且由于喷出砂浆冲击力较大，造成切割中晶片破裂、崩边，晶片不良率较高。

技术实现要素：

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法，本发明重新设计了多孔喷管，以及专用的挡板，使砂浆均匀喷布在切割钢线上，并且增加了流量控制阀，通过plc控制器控制不同阶段的砂浆流量，从而在提高晶片质量的同时降低了砂浆对晶片的冲击，提高了良品率。

本发明为实现上述目的采用的技术方案是：一种用于多线切割机的砂浆喷布装置，包括多线切割机，其特征在于：还包括砂浆喷布装置、流量控制阀，所述砂浆喷布装置包括连接板、挡板、连接件、多孔喷管、弯板；

所述连接板为矩形板，在连接板面上分别设有两个挡板连接孔、两个设备固定长圆状孔、四个连接件孔；

所述挡板为条状板，挡板上端为直板，下端为斜板，在直板上设有连接孔；

所述连接件为l状板，在连接件上端的直板上设有两个长圆状孔，在连接件下端的凸起块上设有喷管孔，在凸起块上设有螺孔；

所述多孔喷管的一端为接口，另一端为管堵，在多孔喷管的管体上设有两排喷孔，每排数个喷孔间隔设置；

在连接板下端固定挡板，在连接板两侧端分别固定一个连接件，在两个连接件的喷管孔中固定多孔喷管，多孔喷管的两排喷孔与挡板相对应；

两套砂浆喷布装置分别通过弯板固定在多线切割机的机架上，两套砂浆喷布装置上的多孔喷管相对应，两个多孔喷管接口分别通过快插头与多线切割机的砂浆管ⅱ、砂浆管ⅲ连接，

在多线切割机的plc控制器与多线切割机上喷管连接的砂浆管ⅰ之间连接流量控制阀。

一种用于多线切割机的砂浆喷布装置的实现方法，其特征在于：

将晶棒固定在多线切割机数根钢线下方的工作台上，

调整两套砂浆喷布装置的位置，使左右两个多孔喷管的位置固定在靠近数根钢线上方的5mm处；

启动多线切割机，砂浆搅拌电机搅拌砂浆储存罐砂浆，砂浆泵分别通过砂浆管ⅰ、砂浆管ⅱ、砂浆管ⅲ向上喷管和两个多孔喷管供给砂浆，两个多孔喷管分别将砂浆喷在两个挡板上形成瀑布状，砂浆从挡板下端的斜板流下，流下的砂浆能够以较低的速度粘附在数根钢线上，同时，工作滚轮往复转动，带动数根钢线对晶棒进行往复式切割；

在切割晶棒的不同阶段时，plc控制器控制流量控制阀的开度从而调节不同阶段的砂浆流量，如0-1h，20%开度；1-2h，30%开度；2-3h，10%开度，使上部砂浆流量在晶棒切割到尾部时达到最小，从而降低了晶棒尾部破裂的可能性。

本发明的有益效果是：

1.两套砂浆喷布装置上的多孔喷管及挡板，使喷出的砂浆能够呈瀑布状，均匀喷布在切割钢线上。

2.专用的连接板和连接件的设计，使多孔喷管和挡板能够尽量接近钢线，从而增加砂浆在钢线上的粘附量，提高了切割能力。

3.在上喷管前端增加了流量控制阀，通过plc实现了砂浆流量的阶段化控制。

4.总之，本发明设计了两套砂浆喷布装置，左右两个多孔喷管及挡板，使砂浆均匀喷布在切割钢线上，并增加了中间喷管的流量自动控制，控制砂浆流量，从而在提高晶片质量的同时降低了砂浆对晶片的冲击，与现有喷布装置相比，本发明降低了破裂率,降低至2%以内，减小了晶片表面切割痕，提高了良品率，薄片产品良品率由92%提高至98%，提高了产品质量。

附图说明

图1为本发明砂浆喷布装置的结构示意图；

图2为本发明连接板的结构示意图；

图3为本发明挡板的结构示意图；

图4为图3的侧视图；

图5为本发明连接件的结构示意图；

图6为图5的侧视图；

图7为本发明多孔喷管的结构示意图；

图8为本发明弯板的结构示意图；

图9为图8的侧视图；

图10为本发明连接砂浆喷布装置的多线切割机加工示意图；

图11为图10的a-a示意图；

图12为本发明多线切割机的管路连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进行相应说明。

如图1至图12所示，一种用于多线切割机的砂浆喷布装置，包括多线切割机3，还包括砂浆喷布装置1、流量控制阀2，所述砂浆喷布装置1包括多孔喷管1-4、挡板1-2、连接件1-3、连接板1-1、弯板1-5。

多孔喷管1-4的一端为接口1-4-2，另一端为管堵1-4-2，在多孔喷管1-4的管体上设有两排喷孔1-4-3，每排数个喷孔1-4-3间隔设置。

挡板1-2为条状板，挡板1-2上端为直板，下端为斜板1-2-1，在直板上设有连接孔1-2-2。

连接板1-1为矩形板，在连接板1-1面上分别设有两个挡板连接孔1-1-1、两个设备固定孔1-1-2、四个连接件孔1-1-3。

连接件1-3为l状板，在连接件1-3上端的直板上设有两个长圆状孔1-3-1，在连接件1-3下端的凸起块上设有喷管孔1-3-2，在凸起块上设有螺孔1-3-3。

在连接板1-1下端固定挡板1-2，在连接板1-1两侧端分别固定一个连接件1-3，在两个连接件1-3的喷管孔1-3-2中固定多孔喷管1-4，多孔喷管1-4的两排喷孔1-4-3与挡板1-2相对应。

两套砂浆喷布装置1分别通过弯板1-5固定在多线切割机3的机架3-1上，两个多孔喷管1-4接口1-4-1分别通过快插头1-4-4与多线切割机3的砂浆管ⅱ3-6、砂浆管ⅲ3-7连接，在多线切割机3的plc控制器3-11与多线切割机3上喷管3-8连接的砂浆管ⅰ3-5之间连接流量控制阀2。

一种用于多线切割机的砂浆喷布装置的实现方法，步骤如下：

将晶棒4固定在多线切割机3数根钢线3-9下方的工作台上，

调整两套砂浆喷布装置的位置，使左右两个多孔喷管的位置固定在靠近数条钢线3-9上方的5mm处，如图1所示，启动多线切割机3，砂浆搅拌电机3-2搅拌砂浆储存罐3-3砂浆，砂浆泵3-4分别通过砂浆管ⅰ3-5、砂浆管ⅱ3-6、砂浆管ⅲ3-7向上喷管3-8和两个多孔喷管1-4供给砂浆，两个多孔喷管1-4分别将砂浆喷在两个挡板1-2上形成瀑布状，砂浆从挡板下端的斜板1-2-1流下，流下的砂浆能够以较低的速度粘附在数根钢线3-9上，同时，工作滚轮3-10往复转动，带动数根钢线3-9对晶棒4进行往复式切割，在切割晶棒4的不同阶段时，plc控制器3-11控制流量控制阀2的开度从而调节不同阶段的砂浆流量，如0-1h，20%开度；1-2h，30%开度；2-3h，10%开度，使上部砂浆流量在晶棒4切割到尾部时达到最小，从而降低了晶棒4尾部破裂的可能性。