一种分段式多晶硅开方机的切割室的制作方法

文档序号:15478439发布日期:2018-09-18 22:01阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及多晶硅锭及多晶硅方棒的开方设备,公开了一种分段式多晶硅开方机的切割室。该切割室包括线网框架、安装在线网框架两端的主动切割轮组和安装在主动切割轮组之间的若干组被动切割轮组;其中,每组主动切割轮组包括两个用于切割丝走线的主动切割轮和与之相匹配的主动导轮,其中一个主动切割轮与伺服驱动电机连接;每组被动切割轮组包括两个用于切割丝走线的被动切割轮和与之相匹配的被动导轮。该分段式多晶硅开方机的切割室采用小跨距减小线弓,增加了切割效率,避免切割划痕和断线,提高了导轮和线锯的使用寿命。

技术研发人员:秦军存;尹美玲
受保护的技术使用者:青岛高测科技股份有限公司
技术研发日:2017.12.27
技术公布日:2018.09.18

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