专利名称：多晶硅切片回收液脱水机组的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及脱水机组。
背景技术：
中国专利申请号是200610058747. 8的发明专利申请公布说明书公开了一种切削 悬浮液回收的方法，采取将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理，使回收的聚 乙二醇(PEC)基或油基悬浮液达到与全新原料相同或相近的性能指标，并满足硅晶切片工 序的使用要求，可替代新料使用。回收步骤的最后一道工艺是浓缩干燥，所采用的脱水设备 可以为普通干燥箱、真空干燥箱、真空浓缩设备、蒸馏设备及适合于液体浓缩干燥的设备中 任选的一种或多种。要求将多晶硅切片回收液含水率降低至以下。但是目前没有合适 的多晶硅切片回收液脱水机组。
发明内容本实用新型的目的在于提出一种脱水效果好且干燥速率快的多晶硅切片回收液 脱水机组。为达到上述目的，本实用新型采取如下技术方案。一种多晶硅切片回收液脱水机组，具有干燥塔和列管式换热器，所述列管式换热 器上部的出料口通过进料管与所述干燥塔顶部的进料口连接，干燥塔底部的出料口通过三 通管分别连接回流管和成品管，回流管与列管式换热器下部的进料口连接，在回流管上串 接有三通接头和循环泵，回流管通过三通接头与原料液供管连接；所述干燥塔具有真空抽 吸管，干燥塔通过真空抽吸管与真空抽吸装置连接；所述成品管、回流管和原料液供管上各 设有控制阀；所述干燥塔内设有喷雾器，喷雾器具有中空基体和喷雾头，喷雾头包括由内向 外设置且同圆心的圆盘喷雾头、内圈喷雾头和外圈喷雾头，圆盘喷雾头与内圈喷雾头之间、 内圈喷雾头与外圈喷雾头之间各由3 4条支撑筋连接，中空基体与圆盘喷雾头之间由中 心直管连接，中空基体与内圈喷雾头之间通过3 4根均勻布置的内圈弯管连接，中空基体 与外圈喷雾头之间通过3 4根均勻布置的外圈弯管连接，所述中空基体通过其顶部的液 管与进料管连接。所述圆盘喷雾头、内圈喷雾头和外圈喷雾头1-4底面上的喷雾孔为1.45 1. 55 mm,喷雾孔的孔中心距为9. 5 10. 5 mm。本实用新型具有如下积极效果本实用新型采取将多晶硅切片回收液在列管式换 热器与干燥塔之间循环，回收液保持一定的温度，在真空环境中实现雾化干燥，脱水效果明 显，经脱水的回收液可替代新料使用。本实用新型的喷雾器的喷雾头由圆盘喷雾头、内圈喷 雾头和外圈喷雾头组成，扩大了喷雾的范围，处理量大，干燥速率快。本脱水机组结构简单， 无易损件，维修费用低。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据具体实施例并结合附 图，对本实用新型作进一步详细的说明。图1是本实用新型结构示图。图2是干燥塔示图。图3是喷雾器示图。图4是图3的A-A剖视图。图5是图3的B-B剖视图。
具体实施方式
实施例1见附图，一种多晶硅切片回收液脱水机组，具有干燥塔2和列管式换热器9。所述 列管式换热器9上部具有出料口，下部具有进料口，顶部具有热介质出口，底部具有热介质 进口，热介质为蒸汽或导热油，热介质从列管中通过，料液在壳体内流动。所述干燥塔2的 顶部具有进料口和真空抽吸口，底部具有出料口。所述列管式换热器9上部的出料口通过进料管10与所述干燥塔2顶部的进料 口连接，干燥塔2底部的出料口通过三通管3分别连接回流管5和成品管4，回流管5与列管 式换热器9下部的进料口连接，在回流管5上串接有三通接头6和循环泵8，回流管5通过 三通接头6与原料液供管7连接；所述干燥塔2的真空抽吸口通过真空抽吸管11与真空抽 吸装置连接；所述成品管4、回流管5和原料液供管7上各设有控制阀；在干燥塔2、列管式 换热器9以及有关的管道上设有温度探测仪，干燥塔2上设有真空表1-10和测位计1-11。所述干燥塔2内设有喷雾器1，喷雾器1具有中空基体1-1和喷雾头，喷雾头包 括由内向外设置且为同心圆的圆盘喷雾头1-2、内圈喷雾头1-3和外圈喷雾头1-4，圆盘喷 雾头1-2与内圈喷雾头1-3之间、内圈喷雾头1-3与外圈喷雾头1-4之间有间距，由此，圆 盘喷雾头1-2与内圈喷雾头1-3之间、内圈喷雾头1-3与外圈喷雾头1-4之间各由4条支 撑筋1-5连接。中空基体1-1的底面料孔与圆盘喷雾头1-2顶面料孔之间由中心直管1-7 连接，中空基体1-1的圆周面上均勻设置有8个料孔，其中4个孔——必须是间隔的，与内 圈喷雾头1-3的顶面相应的料孔之间各通过内圈弯管1-8连接，另外4个料孔与外圈喷雾 头1-4的顶面相应的料孔之间各通过外圈弯管1-9连接，形成中空基体1-1与内圈喷雾头 1-3之间通过4根均勻布置的内圈弯管1-8连接，中空基体1-1与外圈喷雾头1-4之间通过 4根均勻布置的外圈弯管1-9连接。中空基体1-1与内圈喷雾头1-3之间也可以通过3根 均勻布置的内圈弯管1-8连接，中空基体1-1与外圈喷雾头1-4之间也可以通过3根均勻 布置的外圈弯管1-9连接。所述圆盘喷雾头1-2、内圈喷雾头1-3和外圈喷雾头1-4底面上的喷雾孔为1 mm， 允许有士0. 5误差，喷雾孔的孔中心距为10 mm,同样允许有士0. 5误差。所述中空基体1-1通过其顶部的液管1-6与进料管10连接。由进料管10输入的 料液通过液管1-6进入中空基体1-1，再分别通过中心管1-7、内圈弯管1-8根和外圈弯管 1-9进入圆盘喷雾头1-2、内圈喷雾头1-3和外圈喷雾头1-4，再通过圆盘喷雾头1-2、内圈 喷雾头1-3和外圈喷雾头1-4的各自喷雾孔喷出。[0020] 本实用新型采取将多晶硅切片回收液经泵输送至列管式换热器把液体换热升至 一定温度后进入真空干燥塔，由雾化器对液体进行雾化，水份被气化由真空泵抽走，液体经 泵再次输送至列管式换热器，再经雾化干燥，水份不断的被抽走，直至脱水完成。
权利要求1.一种多晶硅切片回收液脱水机组，具有干燥塔(2)和列管式换热器(9)，其特征在 于所述列管式换热器(9)上部的出料口通过进料管(10)与所述干燥塔(2)顶部的进料口 连接，干燥塔(2)底部的出料口通过三通管(3)分别连接回流管(5)和成品管(4)，回流管 (5)与列管式换热器(9)下部的进料口连接，在回流管(5)上串接有三通接头(6)和循环泵 (8)，回流管(5)通过三通接头(6)与原料液供管(7)连接；所述干燥塔(2)具有真空抽吸 管，干燥塔(2)通过真空抽吸管(11)与真空抽吸装置连接；所述成品管(4)、回流管(5)和 原料液供管(7)上各设有控制阀；所述干燥塔(2)内设有喷雾器(1)，喷雾器(1)具有中空 基体(1-1)和喷雾头，喷雾头包括由内向外设置且同圆心的圆盘喷雾头(1-2)、内圈喷雾头 (1-3)和外圈喷雾头(1-4)，圆盘喷雾头(1-2)与内圈喷雾头(1-3)之间、内圈喷雾头(1-3) 与外圈喷雾头(1-4)之间各由3 4条支撑筋(1-5)连接，中空基体(1-1)与圆盘喷雾头 (1-2)之间由中心直管(1-7)连接，中空基体(1-1)与内圈喷雾头(1-3)之间通过3 4根 均勻布置的内圈弯管(1-8)连接，中空基体(1-1)与外圈喷雾头(1-4)之间通过3 4根均 勻布置的外圈弯管(1-9)连接，所述中空基体(1-1)通过其顶部的液管(1-6)与进料管(10) 连接。
2.根据权利要求1所述的多晶硅切片回收液脱水机组，其特征在于所述圆盘喷雾头 (1-2)、内圈喷雾头(1-3)和外圈喷雾头1-4底面上的喷雾孔为1.45 1. 55 mm，喷雾孔的 孔中心距为9. 5 10. 5 mm。
专利摘要一种多晶硅切片回收液脱水机组，具有干燥塔和列管式换热器，所述干燥塔与真空抽吸装置连接；所述干燥塔内设有喷雾器，喷雾器具有中空基体和喷雾头，喷雾头包括由内向外设置且同圆心的圆盘喷雾头、内圈喷雾头和外圈喷雾头，圆盘喷雾头与内圈喷雾头之间、内圈喷雾头与外圈喷雾头之间各由3～4条支撑筋连接，中空基体与圆盘喷雾头之间由中心直管连接，中空基体与内圈喷雾头之间通过3～4根均匀布置的内圈弯管连接，中空基体与外圈喷雾头之间通过3～4根均匀布置的外圈弯管连接，所述中空基体通过其顶部的液管与进料管连接。本实用新型采取将多晶硅切片回收液在列管式换热器与干燥塔之间循环，在真空环境中实现雾化干燥，脱水效果明显。
文档编号B01D1/16GK201848109SQ201020547510
公开日2011年6月1日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者万荣, 周友来 申请人:常州力马干燥工程有限公司