一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于切片机技术领域，涉及一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置。
【背景技术】
[0002]多线切割机是通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入加工区域，对工件进行研磨，将工件一次同时切割为数百片薄片的一种切割加工机床，多线切割机已成为非金属材料切割加工的重要工具，常加工硅片及各种硬脆材料，其原理是通过多个导轮的引导，使一根高速运动的钢线在主线辊上形成一张线网，通过带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。多线切割机具有效率高，产能高，精度高等优点。多线切割机的断丝是一个常见的不可忽略的问题，造成断丝的原因有多种，现有技术中，导轮连杆长度短，这导致相邻导轮间距过短，导致钢丝上的张力不均匀，是其中的一个重要因素，需要加以改进。
[0003]为了有效解决上述问题中国发明专利申请(申请号:201410057102.7)公开了一种多线切割机，它至少包括床身、工作面板、后面板，成品字形分布的三个槽轮安装于工作面板上，后面板上安装有放线轮、收线轮、四个导轮连杆，每个导轮连杆的两侧各安装一个导轮，槽轮与导轮间还有多个换向轮，钢丝线由放线轮放出后依次经导向轮、多个导轮和换向轮引三个槽轮并形成一组平行的钢丝线，最后，由槽轮引出，经多个换向轮和多个导轮引至收线轮完成闭合，其特征在于:远离放线轮及收线轮的导轮连杆长度为现有导轮连杆的至少2倍，接近放线轮及收线轮的导轮连杆长度为现有导轮连杆的至少1.3倍。该发明中相邻导轮间距有较大增加，相邻导轮间的钢丝上的应力得到有效释放，钢丝上的张力更均匀，不易断丝。
[0004]但是在多线切割晶棒生产硅片的过程中，对切割好的硅片一般采用传统手工进行脱胶，因脱胶过程中对力度、温度掌握不均匀，且不稳定，易出现硅片崩边、毛边、氧化等现象，产生废片。另外用于对硅片脱胶的水往往是一次性使用，即浪费又不环保。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置。
[0006]本发明的目的可通过下列技术方案来实现:一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，包括机架、滑动架、脱胶槽、硅片盒和储水箱，其特征在于，所述机架上具有两个相互对称且竖直设置的导滑槽，所述滑动架两侧的上下端均设有可嵌入导滑槽且沿着导滑槽上下滑动的滑轮，所述机架上设有带动滑动架上下滑动的升降机构，所述硅片盒位于脱胶槽内，硅片盒和脱胶槽固定在滑动架上，硅片通过硅片架放置于硅片盒内，所述脱胶槽底部设有若干用于加热硅片脱胶用水的加热管，所述脱胶槽底部两侧分别设有输出口和输入口，所述输出口通过输出管与储水箱相连接，输入口通过输水管与储水箱相连接，所述输出管上设有过滤机构。
[0007]硅片架上具有将硅片隔开的分隔板，硅片盒与硅片架为镂空状，位于脱胶槽内的脱胶水流通于硅片盒与硅片架。位于脱胶槽槽底部的加热管为等距排列，且加热管的数量为五根。
[0008]原理:首先通过升降机构将滑动架提起，把切割好的硅片放置在硅片架上，然后再将硅片架放置在硅片盒内，最后再通过升降机构使滑动架沿着机架上的导滑槽向下移动，停止移动后往脱胶槽内注入脱胶水，通过加热管进行加热直至理想温度。硅片在脱胶后，脱胶槽内使用过的脱胶水会排入输出管，由输出管上的过滤机构过滤后再进入储水箱，当脱胶槽再次需要注水时，可通过输水管将储水箱内的水引入脱胶槽。使得用于脱胶的水源得以循环利用，即可避免直接排放的不环保现象和浪费现象，又大大可降低成本的投入，具有较高的使用价值。
[0009]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述升降机构包括位于机架一侧的提升机和固定于机架上的若干定滑轮，所述提升机的输出轴上绕有钢绳，钢绳的一端通过定滑轮固定于滑动架上。
[0010]采用以上结构，便于将滑动架和固定于滑动架上的脱胶槽与硅片盒缓缓导入或导出机架上的导滑槽，即方便了操作人员的操作，又可避免导入导滑槽时滑动过快影响零部件的使用寿命。
[0011]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，机架一侧还设有用于固定提升机的支撑板。
[0012]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述机架内还设有使滑动架摆动的摆动机构且摆动机构位于滑动架下端，所述摆动机构包括摆动主板和摆动主板两侧的推板，所述推板外侧设有嵌入导滑槽的滑轮，推板上端面与滑动架底部面相互抵靠，所述机架底部设有一驱动电机，驱动电机电机的输出轴上具有若干偏心轮，所述若干偏心轮与摆动主板底部相互抵靠。
[0013]通过启动驱动电机，使得驱动电机的输出轴转动且带动偏心轮转动，摆动主板随偏心轮上下移动，位于摆动主板两侧的推板通过滑轮沿着导滑槽做上下移动，推板的上下移动的同时会带动与其相互抵靠的滑动架上下移动，因此会间接改变硅片与脱胶水的相对静止状态，提高了脱胶效果。
[0014]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述输出管包括输出管一和输出管二，过滤机构位于输出管一和输出管二之间。
[0015]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述输出管一上设有控制脱胶槽放水的阀门一。采用以上结构，便于操作人员对脱胶槽内水的排放。
[0016]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，过滤机构包括呈方形过滤壳体，过滤壳体内具有输入连接端和输出连接端，所述输入连接端一侧设有呈漏斗状的防倒流结构，所述输出连接端设有过滤网。
[0017]脱胶槽内使用过后的水在排放时，需通过输出管排出，在水与杂质通过输出管一进入过滤机构时，水与杂质先由输入连接端进入，然后再通过防倒流结构，最后水通过过滤网从输出连接端输出，杂质被留在过滤壳体内。过滤壳体为可拆卸式，便于操作人员将过滤壳体内的杂质清理，另外过滤壳体为密封连接。
[0018]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，储水箱底部设有排污管，排污管具有控制其开闭的阀门二。
[0019]储水箱顶部为可拆装式，便于操作人员定期的清理，可间接提高脱胶质量，储水箱底部排污管及阀门二的设有，便于操作人员在清理时对污水的排放。
[0020]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述脱胶槽底部还具有抽水栗，抽水栗与伸入脱胶槽内的输水管一端相连。
[0021]采用以上结构，通过抽水栗便可将储水箱内的水输送至脱胶槽内，使得硅片脱胶用水得以循环利用。
[0022]在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述脱胶槽底部一侧还有设有一感温器，所述感温器与控制加热管加热的控制阀相连接。
[0023]采用以上结构，可通过感温器测得脱胶槽内水的温度，一般脱胶水的温度达到60度为最佳。当脱胶槽内水温低于60度，感温器会发出信号给加热管控制阀，通过加热管加热提高水温；当脱胶槽内水温高温60度时，感温器会发出信号给加热管控制阀，通过控制阀停止加热管继续加热。这样既提高了脱胶效果，又可降低加热成本。
[0024]与现有技术相比，本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置的优点具有以下几点:
[0025]1、本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置通过过滤机构可使得用于脱胶的水源得以循环利用，即可避免直接排放的不环保现象和浪费现象，又大大可降低成本的投入，具有较高的使用价值。
[0026]2、本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置通过摆动机构可改变切割好的硅片与脱胶水之间相对静止的状态，产生流动性，提高了脱胶效果。
[0027]3、本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中脱胶槽底部一侧设有感温器，可保持脱胶槽内的水恒温，提高了脱胶效果。
【附图说明】
[0028]图1是本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置的主视图。
[0029]图2是本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中过滤机构的内视图。
[0030]图中，1、机架;2、滑动架;3、脱胶槽;4、硅片盒;5、储水箱;6、导滑槽;7、滑轮;8、硅片架;9、加热管；10、输水管；11、提升机;12、定滑轮;13、钢绳；14、支撑板;15、摆动主板;16、推板；17、驱动电机；18、偏心轮；19、输出管一;20、输出管二; 21、阀门一;22、过滤壳体;23、防倒流结构;24、过滤网；25、排污管;26、阀门二; 27、抽水栗;28、感温器。
【具体实施方式】
[0031]以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。
[0032]如图1、图2所示，本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，包括机架1、滑动架2、脱胶槽3、硅片盒4和储水箱5，机架1上具有两个相互对称且竖直设置的导滑槽6，滑动架2两侧的上下端均设有可嵌入导滑槽6且沿着导滑槽6上下滑动的滑轮7，机架1上设有带动滑动架2上下滑动的升降机构，硅片盒4位于脱胶槽3