输送系统及其运转方法与流程

本发明涉及输送系统及其运转方法。

背景技术：

作为输送大型基板的装置，已知有基板处理设备(例如，参照专利文献1)。在专利文献1所公开的基板处理设备中，通过倾斜装置使隔开规定间隔地储存有多个基板的垂直盒倾斜，并具备保持倾斜的基板的基板手。而且，该基板手具有：保持板，其沿着基板延伸；可动支承爪，其支承基板的下端；以及可动夹持爪，其夹持基板的上端。

另外，已知有将多个玻璃板、与被夹持在玻璃板间的衬垫纸以纵向放置的方式进行搭载的纵向放置型梱包容器(例如，参照专利文献2)。在专利文献2所公开的梱包容器中，承受玻璃板的一个面的背板的上端面形成为随着从玻璃板侧的承载面朝向与该承载面对置的背面而变高的倾斜面。

专利文献1：日本特开2002-19958号公报

专利文献2：日本特开2013-47110号公报

然而，在上述专利文献2所公开的梱包容器中，记载了通过具有真空吸附用的孔、或者吸盘的机器人臂，将玻璃板的外表面进行吸附保持，并移送至输送机等移送装置上的情况，但在通过机器人臂移送玻璃板时，存在由于在玻璃板与衬垫纸之间产生的静电力而使衬垫纸粘附于玻璃板而被移送的担忧，尚有改善的余地。

技术实现要素：

本发明解决上述现有的课题，目的在于提供能够容易地从以纵向放置的方式层叠有多个片部件的容器内逐一输送片部件的输送系统及其运转方法。

为了解决上述以往的课题，本发明所涉及的输送系统具备：容器，其收纳片部件，上述片部件以其主面倾斜的方式被纵向放置；机器人，其具备臂，上述臂具有吸附部；以及控制装置，上述控制装置在通过上述臂的上述吸附部吸附了上述片部件的主面之后，以上述片部件朝仰角方向、且是水平面与上述片部件的主面所成的角度亦即第一角度中的除上述片部件的主面的法线方向以外的角度方向移动的方式使上述臂动作。

由此，能够容易地从以纵向放置的方式层叠有多个片部件的容器内将片部件逐一输送。另外，在输送片部件时，抑制了与邻接的片部件摩擦，从而能够抑制损伤片部件表面。

另外，本发明所涉及的输送系统的运转方法为如下输送系统的运转方法，上述输送系统具备：容器，其收纳片部件，上述片部件以其主面倾斜的方式被纵向放置；和机器人，其具备臂，上述臂具有吸附部，其中，所述输送系统的运转方法具备：(a)，上述臂朝向上述片部件的主面动作；(b)，在上述(a)之后，上述臂的上述吸附部吸附上述片部件的主面；以及(c)，在上述(b)之后，上述臂以使上述片部件朝仰角方向、且是水平面与上述片部件的主面所成的角度亦即第一角度中的除上述片部件的主面的法线方向以外的角度方向移动的方式动作。

由此，能够容易地从以纵向放置的方式层叠有多个片部件的容器内将片部件逐一输送。另外，在输送片部件时，抑制了与邻接的片部件摩擦，从而能够抑制损伤片部件表面。

根据本发明的输送系统及其运转方法，能够容易地从以纵向放置的方式层叠有多个片部件的容器内将片部件逐一输送。

附图说明

图1是表示本实施方式1所涉及的输送系统的简要结构的示意图。

图2是表示图1所示的输送系统中的机器人的简要结构的示意图。

图3是示意性地表示图2所示的机器人的控制装置的结构的功能框图。

图4是表示图2所示的机器人的第一手部的右侧侧面的简要结构的示意图。

图5是表示本实施方式1所涉及的输送系统(机器人)的控制系统的一个例子的框图。

图6是表示本实施方式1所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

图7是表示机器人沿着图6所示的流程图进行动作时的机器人的状态的示意图。

图8是表示机器人沿着图6所示的流程图进行动作时的机器人的状态的示意图。

图9是表示机器人沿着图6所示的流程图进行动作时的机器人的状态的示意图。

图10是表示本实施方式2所涉及的输送系统的简要结构的示意图。

图11是表示本实施方式2所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

图12是表示本实施方式3所涉及的输送系统中的机器人的第一手部的简要结构的示意图。

图13是表示本实施方式3所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

图14是表示本实施方式3所涉及的输送系统中的机器人的简要结构的示意图。

图15是表示本实施方式4所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

图16是表示本实施方式5所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在所有的附图中，对相同或者相当部分标注同一附图标记，并省略重复的说明。另外，在所有的附图中，存在摘选用于说明本发明的构成要素并图示，而关于其他构成要素省略图示的情况。进一步，本发明并不限于以下的实施方式。

(实施方式1)

本实施方式1所涉及的输送系统构成为具备：容器，其收纳片部件，该片部件以其主面倾斜的方式被纵向放置；机器人，其具备臂，该臂具有吸附部；以及控制装置，控制装置在通过臂的吸附部吸附了片部件的主面之后，以片部件朝仰角方向、且是水平面与片部件的主面所成的角度亦即第一角度中的除片部件的主面的法线方向以外的角度方向移动的方式使臂动作。

另外，在本实施方式1所涉及的输送系统中，也可以构成为，在吸附部设置有压力检测器，上述控制装置使臂朝向片部件的主面动作，直至压力检测器检测出预先设定的第一压力值为止。

另外，在本实施方式1所涉及的输送系统中，也可以构成为，控制装置在通过臂的吸附部吸附了片部件的主面之后，以片部件朝铅垂方向上方移动的方式使臂动作。

进一步，在本实施方式1所涉及的输送系统中，机器人也可以具备第一臂，其具有第一吸附部；和第二臂，其具有第二吸附部。

以下，参照图1～图8对本实施方式1所涉及的输送系统的一个例子进行说明。

[输送系统的结构]

图1是表示本实施方式1所涉及的输送系统的简要结构的示意图。图2是表示图1所示的输送系统中的机器人的简要结构的示意图。图3是示意性地表示图2所示的机器人的控制装置的结构的功能框图。

此外，在图1中，将机器人的前后方向、上下方向、以及左右方向表示为图中的前后方向、上下方向、以及左右方向。另外，在图2中，将机器人的上下方向以及左右方向表示为图中的上下方向以及左右方向。

如图1所示，本实施方式1所涉及的输送系统100构成为具备机器人101、收纳片部件102的容器103、以及带式输送机105，机器人101将收纳于容器103的片部件102经由载置装置104向带式输送机105输送。

容器103形成为箱状，并纵向放置有片部件102。具体地，片部件102以其主面抵接于容器103的背面的方式配置于容器103的背面。

另外，容器103的背面形成为随着朝向上方而朝向机器人101的后方。即，容器103形成为底面与背面所成的角度为钝角(大于90°且小于180°的角度)。由此，能够以片部件102的主面倾斜的方式将片部件102配置于容器103内。

容器103的上表面与正面开口，一对侧面(左右的侧面)形成为大致三角形状。由此，易将被纵向放置的片部件102取出。

载置装置104具有臂部104a和保持部104b。载置装置104构成为，在保持部104b载置片部件102，臂部104a被向下方拉入，由此将片部件102载置在带式输送机105上。

带式输送机105配置在机器人101的侧方(这里为左侧)，并构成为通过机器人101将配置在带式输送机105的上表面的片部件102向后方输送。

接下来，参照图2对机器人101的具体结构进行说明。此外，以下，作为机器人101，对水平多关节型的双臂机器人进行说明，但作为机器人101，也可以采用水平多关节型/垂直多关节型等其他机器人。

如图2所示，机器人101具备台车12、第一臂13a、第二臂13b、真空产生装置25、以及控制装置14，控制装置14构成为控制第一臂13a、第二臂13b、以及真空产生装置25。此外，在本实施方式1中，采用了在台车12的内部配置有控制装置14以及真空产生装置25的方式，但并不限于此，这些设备也可以配置在台车12外部。

在台车12的上表面固定有基轴16。在基轴16设置有能够绕经过该基轴16的轴心的旋转轴线l1转动的第一臂13a以及第二臂13b。具体地，第一臂13a与第二臂13b设置为上下具有高低差。进一步，在台车12内收纳有控制装置14以及真空产生装置25。此外，第一臂13a以及第二臂13b构成为能够独立地动作，或者相互关联地动作。

第一臂13a具有第一臂部15a、第一腕部(连杆部件)17a、第一手部18a、以及第一安装部20a。同样地，第二臂13b具有第二臂部15b、第二腕部(连杆部件)17b、第二手部18b、以及第二安装部20b。此外，第二臂13b构成为与第一臂13a相同，因此省略其详细的说明。

在本实施方式1中，第一臂部15a由大致长方体形状的第一连杆部件5a以及第二连杆部件5b构成。第一连杆部件5a在基端部设置有旋转关节j1，在前端部设置有旋转关节j2。另外，第二连杆部件5b在前端部设置有直动关节j3。

进而，第一连杆部件5a能够经由旋转关节j1使其基端部与基轴16连结，并通过旋转关节j1绕旋转轴线l1转动。另外，第二连杆部件5b能够经由旋转关节j2使其基端部与第一连杆部件5a的前端部连结，并通过旋转关节j2绕旋转轴线l2转动。

在第二连杆部件5b的前端部经由直动关节j3以能够相对于第二连杆部件5b升降移动的方式连结有第一腕部17a。在第一腕部17a的下端部设置有旋转关节j4，在旋转关节j4的下端部设置有第一安装部20a。

第一安装部20a构成为能够拆装第一手部18a。具体地，例如，第一安装部20a具有构成为其间隔能够调整的一对棒部件，通过该一对棒部件夹住第一手部18a，由此能够将第一手部18a安装于第一腕部17a。由此，第一手部18a能够通过旋转关节j4绕旋转轴线l3转动。此外，棒部件的前端部分也可以被弯折。

另外，在第一臂13a以及第二臂13b的第一关节jt1～第四关节jt4，分别设置有作为使各关节连结的两个连杆部件相对旋转的促动器的一个例子的驱动马达m1～m4。驱动马达m1～m4例如也可以是被控制装置14伺服控制的伺服马达。

另外，在第一关节jt1～第四关节jt4分别设置有检测驱动马达m1～m4的旋转位置(旋转角度值；位置当前值)的旋转传感器(旋转检测器)e1～e4(参照图5)、和检测对驱动马达m1～m4的旋转进行控制的电流的电流传感器(电流检测器)c1～c4(参照图5)。旋转传感器e1～e4例如也可以是编码器。

此外，在上述的驱动马达m1～m4、旋转传感器e1～e4、以及电流传感器c1～c4的记载中，以与第一关节jt1～第四关节jt4对应的方式对字母附加后缀的1～4。以下，在表示第一关节jt1～第四关节jt4中的任意的关节的情况下，省略后缀而称为“关节jt”，关于驱动马达m、旋转传感器e、以及电流传感器c也是同样的。

这里，参照图2及图4对第一臂13a的第一手部18a详细地进行说明。

图4是表示图2所示的机器人中的第一手部的右侧侧面的简要结构的示意图。此外，在图4中，将机器人中的上下方向以及前后方向表示为图中的上下方向以及前后方向。

如图2以及图4所示，第一臂13a的第一手部18a由固定部70a、主体80a、以及第一吸附部90a构成。固定部70a是供第一安装部20a抵接的部位，这里，形成为棒状。

主体80a形成为大致l字形状，并具有沿水平方向延伸的第一部分81a和沿上下方向延伸的第二部分82a。第二部分82a也可以形成为与片部件102的倾斜角度θ平行。另外，第二部分82a也可以构成为能够任意地变更其倾斜角度。

这里，片部件102的倾斜角度θ是指在将机器人101的后方侧设为0°、将机器人101的前方侧设为180°时，水平面60a与片部件102的主面所成的角度。

另外，在第二部分82a的前表面设置有一个以上(这里为四个)的开口91a，在该开口91a设置有圆錐台形状的吸附垫92a。另外，开口91a经由第一配管93a与真空产生装置25连接(参照图2)。此外，由开口91a、吸附垫92a、以及第一配管93a构成第一吸附部90a。

真空产生装置25是使第一吸附部90a内为负压的装置，例如，也可以使用真空泵或者convum(注册商标)等。在第一配管93a设置有开闭阀(未图示)。开闭阀通过将第一配管93a打开或者关闭，而进行基于吸附垫92a对片部件102的吸附及其解除。此外，真空产生装置25的动作以及开闭阀的开闭由控制装置14控制。

如图2所示，在第一吸附部90a的适当位置设置有压力检测器94a。压力检测器94a构成为检测第一吸附部90a内的压力，并将检测出的压力输出至控制装置14。此外，在本实施方式1中，采用了在第一吸附部90a设置压力检测器的方式，但也可以不限于此，也可以采用在第二吸附部90b设置压力检测器的方式，还可以采用在第一吸附部90a与第二吸附部90b分别设置压力检测器的方式。

如图3所示，控制装置14具备cpu等运算部14a、rom、ram等存储部14b、以及伺服控制部14c。控制装置14例如是具备微控制器等计算机的机器人控制器。

此外，控制装置14可以由进行集中控制的单独的控制装置14构成，也可以由相互协作地进行分散控制的多个控制装置14构成。另外，在本实施方式1中，采用了存储部14b配置在控制装置14内的方式，但并不限于此，也可以采用存储部14b与控制装置14分体设置的方式。

在存储部14b存储有作为机器人控制器的基本程序、各种固定数据等的信息。运算部14a读取存储在存储部14b中的基本程序等的软件并执行，由此控制机器人101的各种动作。即，运算部14a生成机器人101的控制指令，并将其输出至伺服控制部14c。伺服控制部14c构成为基于由运算部14a生成的控制指令，控制与机器人101的第一臂13a以及第二臂13b的关节j1～j4分别对应的伺服马达的驱动。

[输送系统的动作]

接下来，参照图1～图9对本实施方式1所涉及的输送系统100的动作进行说明。此外，以下的动作通过控制装置14的运算部14a读取储存在存储部14b中的程序而执行。

首先，参照图5对本实施方式1所涉及的输送系统100中的机器人101自动运转时的信号的流动进行说明。

图5是表示本实施方式1所涉及的输送系统(机器人)的控制系统的一个例子的框图。

如图5所示，控制装置14在机器人101自动运转时，读取任务程序，并根据机器人的动作指令值(δp1)控制机器人101的驱动马达m的旋转位置。此外，以下，将机器人101的动作指令值(δp1)设为包含时间序列数据的轨道指令值(位置指令值)。

减法器42b从输入的位置指令值减去由旋转传感器e检测出的位置当前值，而生成角度偏差。减法器42b将生成的角度偏差输出至位置控制器42c。

位置控制器42c通过基于预先规定的传递函数、或者比例系数的运算处理，根据从减法器42b输入的角度偏差生成速度指令值。位置控制器42c将生成的速度指令值输出至减法器42e。

微分器42d对由旋转传感器e检测出的位置当前值信息进行微分，并生成驱动马达m的旋转角度的每单位时间的变化量、即速度当前值。微分器42d将生成的速度当前值输出至减法器42e。

减法器42e从由位置控制器42c输入的速度指令值，减去由微分器42d输入的速度当前值，而生成速度偏差。减法器42e将生成的速度偏差输出至速度控制器42f。

速度控制器42f通过基于预先规定的传递函数、或者比例系数的运算处理，根据由减法器42e输入的速度偏差生成扭矩指令值(电流指令值)。速度控制器42f将生成的扭矩指令值输出至减法器42g。

减法器42g从由速度控制器42f输入的扭矩指令值，减去由电流传感器c检测出的电流当前值，而生成电流偏差。减法器42g将生成的电流偏差输出至驱动马达m，对驱动马达m进行驱动。

此外，在本实施方式1中，采用了机器人的动作指令值(δp1)为包含时间序列数据的轨道指令值(位置指令值)的方式，但并不限于此。例如，可以采用将δp1设为速度指令值的方式，也可以采用设为扭矩指令值的方式。

接下来，参照图6～图9对基于本实施方式1所涉及的输送系统100的片部件102的输送动作进行说明。

图6是表示本实施方式1所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。图7～图9是表示机器人沿着图6所示的流程图进行动作时的机器人的状态的示意图。

具体地，图7是表示第一臂与第二臂分别与片部件抵接的状态(通过吸附部吸附片部件的状态)的立体图。图8是表示在通过吸附部吸附了片部件的状态下，使第一臂与第二臂朝铅垂方向上方动作之后，朝水平方向(后方)动作的状态的立体图。图9是表示使第一臂以及第二臂绕逆时针转动，并使片部件载置于载置装置的状态的立体图。

首先，如图1所示，在机器人101的前方配置有容器103，该容器103收纳有片部件102，在机器人101的侧方配置有带式输送机105。进而，由操作者借助未图示的输入装置向控制装置14输入表示执行将收纳在容器103内的片部件102取出、并载置于带式输送机105的动作的指示信息。

于是，如图6所示，控制装置14将设置于第一吸附部90a的适当位置的开闭阀(未图示)打开(步骤s101)，并使真空产生装置25工作(步骤s102)。

接下来，控制装置14使第一臂13a以及第二臂13b朝前方动作(步骤s103)，并获取压力检测器94a检测出的压力值(步骤s104)。接着，控制装置14判定在步骤s104中获取到的压力值是否为第一压力值以下(步骤s105)。

这里，第一压力值能够通过实验等预先设定。具体地，例如，可以在打开开闭阀的状态下，使真空产生装置25工作，来使吸附垫92a以及吸附垫92b与片部件102的主面抵接，将压力检测器94a检测出的压力值设为第一压力值。另外，例如，作为第一压力值，也可以为-70kpa～-90kpa。

控制装置14在判定为在步骤s104中获取到的压力值大于第一压力值的情况下(在步骤s105中为否)，返回步骤s103，并反复步骤s103～步骤s105，直至在步骤s104中获取到的压力值变为第一压力值以下为止。

另一方面，控制装置14在判定为在步骤s104中获取到的压力值为第一压力值以下的情况下(在步骤s105中为是)，由于为吸附垫92a以及吸附垫92b与片部件102的主面抵接，进行吸附的状态(参照图7)，因此进入步骤s106的处理。

在步骤s106中，控制装置14以片部件102朝仰角方向、且是除片部件102的主面的法线方向a(参照图4)以外的角度方向移动的方式使第一臂13a以及第二臂13b动作。

更加详细地，控制装置14以片部件102朝使片部件102远离与该片部件102邻接的片部件102a(参照图8)的方向、且是除片部件102的主面的法线方向a和与片部件102的主面平行的角度方向以外的方向移动的方式，使第一臂13a以及第二臂13b动作。具体地，在本实施方式1中，控制装置14使第一臂13a以及第二臂13b以朝铅垂方向上方移动规定的距离的方式动作(参照图8)。

由此，能够抑制由于在邻接的片部件102、102间产生的静电力，而使与要通过机器人101移送的片部件102邻接的片部件102a粘附于片部件102而被移送的情况。

另外，在使片部件102移动时，抑制了与片部件102a摩擦，从而能够抑制损伤片部件102、102a的表面。

此外，第一臂13a以及第二臂13b朝上方移动的距离根据片部件102的大小(上下方向的长度)、第一腕部17a以及第二腕部17b的长度、以及第二部分82a及第二部分82b的长度适当地设定。

接下来，控制装置14使第一臂13a以及第二臂13b以向后方移动的方式动作(步骤s107)，之后，使其绕逆时针旋转(步骤s108；参照图9)。接着，控制装置14使开闭阀关闭(步骤s109)。

由此，第一臂13a以及第二臂13b能够分别释放片部件102的吸附保持，并使片部件102的主面抵接于保持部104b。进而，对于载置装置104而言，若片部件102载置于保持部104b，则臂部104a向下方移动，来使片部件102载置在带式输送机105上。

接下来，控制装置14使第一臂13a以及第二臂13b以位于预先设定的规定的位置(初始位置)的方式动作(步骤s110)，并结束本程序。

此外，控制装置14也可以控制载置装置104的动作。另外，控制装置14也可以在反复本程序，来将收纳在容器103内的片部件102全部输送后，输出表示输送结束的信息(例如，影像、声音、光等)。

[输送系统的作用效果]

有时，若通过第一臂13a以及第二臂13b使片部件102朝向片部件102的主面的法线方向移动，则存在如下担忧：由于在邻接的片部件102、102间产生的静电力，而使与要通过机器人101移送的片部件102邻接的片部件102a粘附于片部件102而被移送。

然而，在本实施方式1所涉及的输送系统100中，控制装置14以片部件102朝仰角方向、且是除片部件102的主面的法线方向a以外的角度方向移动的方式使第一臂13a以及第二臂13b动作。即，控制装置14以片部件102朝使片部件102远离邻接的片部件102a的方向、且是除片部件102的主面的法线方向a和与片部件102的主面平行的角度方向以外的方向移动的方式使第一臂13a以及第二臂13b动作。

由此，能够容易地从以纵向放置的方式层叠有多个片部件102的容器103内将片部件102逐一输送。另外，在输送片部件102时，抑制了与邻接的片部件102a摩擦，从而能够抑制损伤片部件102、102a的表面。

(实施方式2)

本实施方式2所涉及的输送系统构成为，在实施方式1所涉及的输送系统的基础上，在容器设置有检测片部件的余量的余量检测器，控制装置基于余量检测器检测出的片部件的余量，设定使臂朝向片部件的主面动作的动作量。

以下，参照图10及图11对本实施方式2所涉及的输送系统的一个例子进行说明。

[输送系统的结构]

图10是表示本实施方式2所涉及的输送系统的简要结构的示意图。此外，在图10中，将机器人的前后方向、上下方向、以及左右方向表示为图中的前后方向、上下方向、以及左右方向。

如图10所示，本实施方式2所涉及的输送系统100与实施方式1所涉及的输送系统100基本结构相同，但在容器103设置有余量传感器103a的方面上不同。余量传感器103a构成为，检测配置在容器103内的片部件102的余量，并将检测出的余量输出至控制装置14。作为余量传感器103a，能够使用公知的余量传感器(具有可变电阻器的传感器等)。

此外，在本实施方式2所涉及的输送系统100中，在机器人101可以不设置压力检测器94a，另外，也可以设置压力检测器94a。

[输送系统的动作以及作用效果]

接下来，参照图10及图11对本实施方式2所涉及的输送系统100的动作以及作用效果进行说明。此外，以下的动作通过控制装置14的运算部14a读取储存在存储部14b中的程序而执行。

图11是表示本实施方式2所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

如图11所示，本实施方式2所涉及的输送系统100的动作与实施方式1所涉及的输送系统100的动作基本上被同样地执行，但在代替步骤s103～步骤s105，而执行步骤s103a～步骤s105a的方面不同。

具体地，控制装置14获取余量传感器103a检测出的容器103内的片部件102的余量(步骤s103a)。接着，控制装置14基于在步骤s103a中获取到的片部件102的余量，计算第一臂13a以及第二臂13b的动作量(步骤s104a)。

更加详细地说，控制装置14计算第一臂13a以及第二臂13b动作的方向、和其变化量。控制装置14例如也可以计算配置于第一臂13a以及第二臂13b的各关节j1～j4的驱动马达m1～m4各自的旋转角度。另外，控制装置14例如也可以计算用于使驱动马达m1～m4分别工作的电流的输出量(电流值)。

接下来，控制装置14基于在步骤s104a中计算出的动作量使第一臂13a以及第二臂13b动作(步骤s105a)。具体地，例如，控制装置14可以使位于初始位置的第一臂13a以及第二臂13b以移动吸附垫92a以及吸附垫92b与片部件102的主面抵接的距离的大小的方式朝前方动作。

接下来，与实施方式1所涉及的输送系统100同样地，控制装置14执行步骤s106～步骤s110的各处理，通过第一臂13a以及第二臂13b将片部件102输送至带式输送机105。

即使为如此构成的本实施方式2所涉及的输送系统100，也起到与实施方式1所涉及的输送系统100同样的作用效果。

另外，在本实施方式2所涉及的输送系统100中，由于基于余量传感器103a检测出的容器103内的片部件102的余量，设定第一臂13a以及第二臂13b的动作量，因此与实施方式1所涉及的输送系统100相比，能够更加准确地使吸附垫92a以及吸附垫92b与片部件102的主面抵接。

此外，在本实施方式2所涉及的输送系统100中，采用了以余量传感器103a检测出的片部件102的余量为基础，设定第一臂13a以及第二臂13b的动作量的方式，但并不限于此。例如，也可以采用控制装置14获取拍摄装置拍摄到的影像信息，并根据获取到的影像信息获取收纳在容器103内的片部件102的位置信息，以该位置信息为基础，设定第一臂13a以及第二臂13b的动作量的方式。

(实施方式3)

本实施方式3所涉及的输送系统构成为，在实施方式1或2所涉及的输送系统的基础上，在臂设置有接触检测器，控制装置使臂朝向片部件的主面动作，直至接触检测器检测出与片部件的主面的接触为止。

以下，参照图12及图13对本实施方式3所涉及的输送系统的一个例子进行说明。

[输送系统的结构]

图12是表示本实施方式3所涉及的输送系统中的机器人的第一手部的简要结构的示意图。此外，在图12中，将机器人的上下方向以及前后方向表示为图中的上下方向以及前后方向。

如图12所示，本实施方式3所涉及的输送系统100与实施方式1所涉及的输送系统100基本结构相同，但在机器人101的第一臂13a设置有接触检测器106的方面不同。

接触检测器106配设为在吸附垫92a与片部件102的主面接触时，能够检测出与片部件102的主面的接触。具体地，在本实施方式3中，接触检测器106配设于第一臂13a的第一手部18a的前端部(主体80a)。

另外，接触检测器106构成为，若与片部件102的主面接触，则将表示已接触的信号(信息)输出至控制装置14。此外，作为接触检测器106，能够使用公知的接触检测器。

[输送系统的动作以及作用效果]

接下来，参照图12以及图13对本实施方式3所涉及的输送系统100的动作以及作用效果进行说明。此外，以下的动作通过控制装置14的运算部14a读取储存在存储部14b中的程序而执行。

图13是表示本实施方式3所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

如图13所示，本实施方式3所涉及的输送系统100的动作与实施方式1所涉及的输送系统100的动作基本上相同，但在代替步骤s104和步骤s105，而执行步骤s104b的方面不同。

具体地，控制装置14使第一臂13a以及第二臂13b朝前方动作(步骤s103)，并判定接触检测器106是否检测出与片部件102的主面的接触(步骤s104b)。

控制装置14在判定为接触检测器106未检测出与片部件102的主面的接触的情况下(在步骤s104b中为否)，返回步骤s103，并反复步骤s103与步骤s104，直至接触检测器106检测出与片部件102的主面的接触为止。

另一方面，控制装置14在判定为接触检测器106检测出与片部件102的主面的接触的情况下(在步骤s104b中为是)，能够判断为吸附垫92a以及吸附垫92b抵接于片部件102的主面，而使片部件102吸附于吸附垫92a以及吸附垫92b。因此，控制装置14进入步骤s106的处理。

以下，与实施方式1所涉及的输送系统100同样地，控制装置14执行步骤s106～步骤s110的处理。

即使为如此构成的本实施方式3所涉及的输送系统100，也起到与实施方式1所涉及的输送系统100同样的作用效果。

(实施方式4)

本实施方式4所涉及的输送系统构成为，在实施方式1～3中的任一个实施方式所涉及的输送系统的基础上，机器人还具备：驱动马达，其用于对经由关节连接的两个连杆部件相对地进行驱动；和旋转检测器，其检测驱动马达的旋转角度，控制装置使臂朝向片部件的主面动作，直至向驱动马达发送的旋转角度指令值与旋转检测器检测出的旋转角度值的偏差变得大于预先设定的第一规定值为止。

以下，参照图14以及图15对本实施方式4所涉及的输送系统的一个例子进行说明。

[输送系统的结构]

图14是表示本实施方式3所涉及的输送系统中的机器人的简要结构的示意图。此外，在图14中，将机器人的上下方向以及左右方向表示为图中的上下方向以及左右方向。

如图14所示，本实施方式4所涉及的输送系统100与实施方式1所涉及的输送系统100基本结构相同，但在机器人101的第一吸附部90a未设置有压力检测器94a的方面不同。此外，在本实施方式4中，采用了未设置有压力检测器94a的方式，但并不限于此，也可以像实施方式1所涉及的输送系统100那样，采用设置有压力检测器94a的方式。

[输送系统的动作以及作用效果]

接下来，参照图14以及图15对本实施方式4所涉及的输送系统100的动作以及作用效果进行说明。此外，以下的动作通过控制装置14的运算部14a读取储存在存储部14b中的程序而执行。

图15是表示本实施方式4所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。

如图15所示，本实施方式4所涉及的输送系统100的动作与实施方式1所涉及的输送系统100的动作基本上相同，但在代替步骤s104和步骤s105，而执行步骤s104c和步骤s105c的方面不同。

具体地，控制装置14使第一臂13a以及第二臂13b朝前方动作(步骤s103)，并获取旋转传感器e(参照图5)检测出的旋转角度值(步骤s104c)。

接下来，控制装置14判定输出至驱动马达的旋转角度指令值与在步骤s104c中获取到的旋转角度值的偏差是否大于预先设定的第一规定值(步骤s105c)。第一规定值可以以比第一臂13a以及第二臂13b在无负荷(第一臂13a以及第二臂13b未与片部件102的主面等接触的状态)下动作时的偏差大的值任意地设定，也可以为第一臂13a以及第二臂13b在无负荷下动作时的偏差的最大值。作为第一规定值，例如，也可以为0。

控制装置14在判定为输出至驱动马达的旋转角度指令值与在步骤s104c中获取到的旋转角度值的偏差为第一规定值以下的情况下(在步骤s104c中为否)，返回步骤s103，并反复步骤s103～步骤s105c，直至输出至驱动马达的旋转角度指令值与在步骤s104c中获取到的旋转角度值的偏差变得大于第一规定值为止。

另一方面，控制装置14在判定为输出至驱动马达的旋转角度指令值与在步骤s104c中获取到的旋转角度值的偏差大于第一规定值的情况下(在步骤s105c中为是)，能够判断为吸附垫92a以及吸附垫92b与片部件102的主面抵接，而使片部件102吸附于吸附垫92a以及吸附垫92b，并进入步骤s106的处理。

以下，与实施方式1所涉及的输送系统100同样地，控制装置14执行步骤s106～步骤s110的处理。

即使是如此构成的本实施方式4所涉及的输送系统100，也起到与实施方式1所涉及的输送系统100同样的作用效果。

(实施方式5)

本实施方式5所涉及的输送系统构成为，在实施方式1～4中的任意一个实施方式所涉及的输送系统的基础上，机器人还具备：驱动马达，其用于对经由关节连接的两个连杆部件相对地进行驱动；和电流检测器，其检测控制驱动马达的旋转的电流值，控制装置使臂朝向片部件的主面动作，直至向驱动马达发送的电流指令值与电流检测器检测出的电流值的偏差变得大于预先设定的第二规定值为止。

以下，参照图16对本实施方式5所涉及的输送系统的一个例子进行说明。此外，由于本实施方式5所涉及的输送系统100构成为与实施方式4所涉及的输送系统100相同，因此省略其详细的说明。

[输送系统的动作以及作用效果]

图16是表示本实施方式5所涉及的输送系统的动作的一个例子的流程图。此外，以下的动作通过控制装置14的运算部14a读取储存在存储部14b中的程序而执行。

如图16所示，本实施方式5所涉及的输送系统100的动作与实施方式1所涉及的输送系统100的动作基本上相同，但在代替步骤s104和步骤s105，而执行步骤s104d和步骤s105d的方面不同。

具体地，控制装置14使第一臂13a以及第二臂13b朝前方动作(步骤s103)，并获取电流传感器c(参照图5)检测出的电流值(步骤s104d)。

接下来，控制装置14判定输出至驱动马达的电流指令值与在步骤s104d中获取到的电流值的偏差是否大于预先设定的第二规定值(步骤s105d)。第二规定值可以以比第一臂13a以及第二臂13b在无负荷(第一臂13a以及第二臂13b不与片部件102的主面等接触的状态)下动作时的偏差大的值任意地设定，也可以为第一臂13a以及第二臂13b在无负荷下动作时的偏差的最大值。作为第二规定值，例如，也可以是0。

控制装置14在判定为输出至驱动马达的电流指令值与在步骤s104d中获取到的电流值的偏差为第二规定值以下的情况下(在步骤s104d中为否)，返回步骤s103，并反复步骤s103～步骤s105d，直至输出至驱动马达的电流指令值与在步骤s104d中获取到的电流值的偏差变得大于第二规定值为止。

另一方面，控制装置14在判定为输出至驱动马达的电流指令值与在步骤s104d中获取到的电流值的偏差大于第二规定值的情况下(在步骤s105d中为是)，能够判断为吸附垫92a以及吸附垫92b抵接于片部件102的主面，而使片部件102吸附于吸附垫92a以及吸附垫92b，并进入步骤s106的处理。

以下，与实施方式1所涉及的输送系统100同样地，控制装置14执行步骤s106～步骤s110的处理。

即使是如此构成的本实施方式5所涉及的输送系统100，也起到与实施方式1所涉及的输送系统100同样的作用效果。

根据上述说明，对于本领域技术人员而言，本发明的很多改良或者其他实施方式是显而易见的。因此，上述说明应当仅解释为例示，提供的目的在于向本领域技术人员教导执行本发明的最优方式。在不脱离本发明的精神的情况下，能够实质上变更其构造和/或功能的详细内容。

产业上的利用可行性

本发明的输送系统及其运转方法由于能够容易地从以纵向放置的方式层叠有多个片部件的容器内将片部件逐一输送，因此可适用于工业机器人的领域。

附图标记说明：

5a…第一连杆部件；5b…第二连杆部件；12…台车；13a…第一臂；13b…第二臂；14…控制装置；14a…运算部；14b…存储部；14c…伺服控制部；15a…第一臂部；15b…第二臂部；16…基轴；17a…第一腕部；17b…第二腕部；18a…第一手部；18b…第二手部；20a…第一安装部；20b…第二安装部；25…真空产生装置；42b…减法器；42c…位置控制器；42d…微分器；42e…减法器；42f…控制器；42g…减法器；60a…水平面；70a…固定部；80a…主体；81a…第一部分；82a…第二部分；82b…第二部分；90a…第一吸附部；90b…第二吸附部；91a…开口；92a…吸附垫；92b…吸附垫；93a…第一配管；94a…压力检测器；100…输送系统；101…机器人；102…片部件；102a…片部件；103…容器；103a…余量传感器；104…载置装置；104a…臂部；104b…保持部；105…带式输送机；106…接触检测器；a…法线方向；c…电流传感器；e…旋转传感器；j1…旋转关节；j2…旋转关节；j3…直动关节；j4…旋转关节；jt…关节；jt1…第一关节；jt4…第四关节；l1…旋转轴线；l2…旋转轴线；l3…旋转轴线；m…驱动马达。