1.一种三轴机械手,包括支架、X臂、Y臂和Z臂；X臂设置在支架上，X臂、Y臂（9）和Z臂依次相连；
其特征在于，X臂上设有X向滑块（10），Y臂固定在X向滑块上；
用于驱动Z臂的Z轴电机（20）设置在X向滑块上；
Z轴电机通过基于方轴-齿轮的传动机构驱动Z臂作升降运动。
2.根据权利要求1所述的三轴机械手,其特征在于，包括基于通过基于方轴-齿轮的传动机构包括方轴（17）和套装在方轴上的齿轮（18）；方轴的内端与Z轴电机的转轴相连； Z臂上设有与齿轮适配的齿条（19）；齿轮能在方轴上沿Y轴方向滑动。
3.根据权利要求2所述的三轴机械手,其特征在于，在Y臂上设有能沿Y臂滑动的Y向滑块（21），Y向滑块上设有Z臂安装板（30），Z臂安装板上设有方轴承座（24）和Z向导向块安装板（26）；Z向导向块安装板上固定有Z向导向块（25）；带齿条的Z向导轨（8）插装在Z向导向块中的凹槽内；
齿轮上设有带孔的齿轮轴（27）；齿轮轴插装在方轴承（28）中；方轴承设置在方轴承座内，方轴插装在所述的齿轮轴中的孔中。
4.根据权利要求3所述的三轴机械手,其特征在于，齿轮上还有所有锁定齿轮轴的齿轮锁定器；齿轮轴与齿轮锁定器通过螺纹配合。
5.根据权利要求3所述的三轴机械手,其特征在于，方轴的横截面为三角形、四边形、五边形或六边形。
6.根据权利要求2所述的三轴机械手,其特征在于，Y向滑块上设有用于托住Z向导轨和齿条的恒负载弹簧（16）。
7.根据权利要求2所述的三轴机械手,其特征在于，方轴的外端插装在Y臂外端的端部轴承（23）中。
8.根据权利要求1所述的三轴机械手,其特征在于，支架包括竖直设置的左支板（1）和右支板（2）。
9.根据权利要求1-8任一项所述的三轴机械手,其特征在于，X向滑块由X向驱动电机（15）和同步带传动机构驱动；
X臂安装在Y向滑块（21）上，Y向滑块由Y向驱动电机（5）和同步带传动机构驱动。