技术总结
一种晶圆末端执行器防碰撞装置，它包括晶圆末端执行器、微型激光测量头、控制器。所述晶圆末端执行器安装固定在机械手臂的末端，用作承载晶圆；所述微型激光测量头安装固定在晶圆末端执行器的末端，并通过光纤连接到控制器；所述控制器通过微型激光测量头发射和接收激光，获得晶圆末端执行器与其正前方物体的距离，当晶圆末端执行器与其正前方物体的距离触发控制器设定的参数时，停止晶圆末端执行器的前进运动，避免发生碰撞。本实用新型中的微型激光测量头由光纤和镜头组成，不含电子部件，不发热，不受晶圆制程中电磁噪声影响，性能稳定，可有效防止晶圆末端执行器发生碰撞。
技术研发人员：王子菲
受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
技术研发日：2018.05.11
技术公布日：2018.12.11