泵拆装治具以及半导体工艺设备的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种泵拆装治具以及半导体工艺设备。

背景技术：

在半导体的制造工艺中，一些工艺设备中会需要安装泵，用于输送气体或液体等，而在向一些半导体设备中安装或者拆卸本身体积较大且比较笨重的泵的过程中，如果没有专门的拆装工具，会使得泵的拆装过程存在一些风险和困难。例如，在对刻蚀机台中的分子泵进行更换时没有专门的拆装工具，只是借助于千斤顶进行拆装，参阅图1，图1是现有的采用千斤顶安装分子泵的示意图，从图1中可看出，在采用千斤顶11将分子泵10向工艺腔体12中进行安装的过程中存在如下问题：

1、分子泵10放置在千斤顶11上，没有固定装置将分子泵10进行固定，千斤顶11在将分子泵10运输到工艺腔体12下方的空间的过程中以及在对分子泵10进行安装的过程中，分子泵10很可能会从千斤顶11上掉落下来，这样容易伤到安装人员；

2、由于工艺腔体12的周围有很多其它工艺部件，在安装过程中，会阻挡安装人员的视线，使得很难做到对分子泵10的距离的微调控制，导致安装耗时较长；

3、工艺腔体12的下方两侧各有一个电源13，使得工艺腔体12下方可用于安装分子泵10的空间较小，千斤顶11很难进入到工艺腔体12下方的空间中。

以上问题导致分子泵的安装过程存在安全风险且安装的效率较慢。因此，如何降低泵安装过程中的安全风险以及提高泵的安装效率成为亟须解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种泵拆装治具以及半导体工艺设备，能够降低泵安装过程中的安全风险以及提高泵的安装效率。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种泵拆装治具，包括：

用于固定泵的固定装置；

用于监测所述泵和一工艺腔体间的相对位置的位置检测装置，所述位置检测装置安装在所述工艺腔体一侧和/或所述固定装置一侧；

用于带动所述固定装置在水平方向和垂直方向上移动的移动装置，所述移动装置的一端连接所述固定装置；以及，

用于驱动所述移动装置移动的电机，所述电机连接所述移动装置的另一端。

可选的，所述固定装置具有固定所述泵的凹槽结构或夹持部件。

可选的，所述固定装置具有一用于承载所述泵的承载平台，所述凹槽结构或夹持部件设置于所述承载平台上。

可选的，所述位置检测装置包括第一位置传感器和第二位置传感器，所述第一位置传感器安装在所述固定装置面向所述工艺腔体的一侧上，所述第二位置传感器安装在所述工艺腔体下方且位于所述泵的安装位置以外的部件面向所述固定装置的侧壁上。

可选的，所述第一位置传感器和第二位置传感器具有红外发射器或激光发射器。

可选的，所述电机包括伺服电机。

可选的，还包括控制面板，所述控制面板与所述电机和所述位置检测装置电连接。

可选的，还包括报警装置，所述报警装置与所述控制面板电连接。

可选的，还包括可移动的支撑装置，所述电机和所述移动装置设置于所述支撑装置上，且所述电机驱动所述移动装置相对所述支撑装置运动。

本实用新型还提供了一种半导体工艺设备，包括：加工机台以及采用本实用新型提供的所述泵拆装治具安装的所述泵；所述加工机台具有工艺腔体、连接固定在所述工艺腔体底部的钟摆阀，以及用于固定所述钟摆阀的卡槽，所述卡槽设置于所述钟摆阀的两侧，所述泵连接在所述钟摆阀的底部。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下效果：

1、本实用新型提供的泵拆装治具，通过采用固定装置将泵进行固定，使得所述泵安装过程中的安全风险得到降低；进一步地，通过采用位置检测装置对所述泵和工艺腔体间的相对位置进行监测，使得所述泵的安装不受所述工艺腔体的下方周围的其它工艺部件的阻挡的影响，进而提高了所述泵的安装效率；更进一步地，通过采用电机驱动移动装置移动，以带动所述固定装置在水平方向和垂直方向上移动，使得所述泵的安装不会因为所述工艺腔体的下方的空间较小而受到影响，进而使得所述泵的安装效率得到提高。

2、本实用新型提供的半导体工艺设备，由于采用本实用新型提供的所述泵拆装治具安装泵，使得所述泵安装到所述半导体工艺设备过程中的安全风险得到降低，并提高了所述泵的安装效率。

附图说明

图1是现有的采用千斤顶安装分子泵的示意图；

图2是本实用新型一实施例的泵拆装治具的示意图；

图3是泵安装在工艺腔体上的示意图。

其中，附图1～3的附图标记说明如下：

10-分子泵；11-千斤顶；12-工艺腔体；13-电源；20-泵；21-固定装置；22-位置检测装置；221-第一位置传感器；222-第二位置传感器；23-移动装置；24-电机；25-控制面板；26-报警装置；27-支撑装置；30-工艺腔体；31-电源；40-钟摆阀；50-卡槽。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图2～3对本实用新型提出的泵拆装治具以及半导体工艺设备作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型一实施例提供一种泵拆装治具，参阅图2，图2是本实用新型一实施例的泵拆装治具的示意图，从图2中可看出，所述泵拆装治具包括用于固定泵20的固定装置21；用于监测所述泵20和一工艺腔体30间的相对位置的位置检测装置22，所述位置检测装置22安装在所述工艺腔体30一侧和/或所述固定装置21一侧；用于带动所述固定装置21在水平方向和垂直方向上移动的移动装置23，所述移动装置23的一端连接所述固定装置21；以及，用于驱动所述移动装置23移动的电机24，所述电机24连接所述移动装置23的另一端。

下面参阅图2对所述泵拆装治具进行详细说明：

所述固定装置21用于固定所述泵20，所述固定装置21具有固定所述泵20的凹槽结构或夹持部件(未图示)。所述固定装置21具有一用于承载所述泵20的承载平台(未图示)，所述凹槽结构或夹持部件设置于所述承载平台上。将所述泵20放置在所述承载平台上的凹槽结构内，或者采用所述承载平台上的夹持部件将所述泵20进行固定，以避免在将所述泵20移动到所述工艺腔体30下方的过程中或者在将所述泵20安装在所述工艺腔体30的底部的过程中，所述泵20从所述承载平台上掉落下来砸伤安装人员，进而降低了所述泵20安装过程中的安全风险。

所述位置检测装置22用于监测所述泵20和所述工艺腔体30间的相对位置，所述位置检测装置22根据其选型不同，选择合适的安装位置，例如可以单独安装在所述工艺腔体30一侧或所述固定装置21一侧，也可一部分安装在所述工艺腔体30一侧，另一部分安装在所述固定装置21一侧。当所述位置检测装置22安装在所述工艺腔体30一侧时，所述位置检测装置22可以安装在所述工艺腔体30下方且位于所述泵20的安装位置以外的部件面向所述固定装置21的侧壁上，当所述位置检测装置22安装在所述固定装置21一侧时，所述位置检测装置22可以安装在所述固定装置21面向所述工艺腔体30的一侧上，而且，所述位置检测装置22可以为一距离传感器，所述距离传感器可以感应到所述泵20与所述工艺腔体30的底部待安装所述泵20的位置之间的距离，从而可对所述泵20的位置进行调整，使得所述泵20能够快速地移动到所述工艺腔体30的下方待安装的位置。当所述位置检测装置22一部分安装在所述工艺腔体30一侧，另一部分安装在所述固定装置21一侧时，所述位置检测装置22可以为所述距离传感器，所述位置检测装置22也可以为位置传感器。当所述位置检测装置22为所述距离传感器时，安装在所述工艺腔体30一侧和所述固定装置21一侧的所述距离传感器同时对所述泵20与所述工艺腔体30的底部待安装所述泵20的位置之间的距离进行监控，进一步确保所述泵20能够快速地移动到所述工艺腔体30的下方待安装的位置。当所述位置检测装置22为位置传感器时，参阅图2，从图2中可看出，所述位置检测装置22包括第一位置传感器221和第二位置传感器222，所述第一位置传感器221可以安装在所述固定装置21面向所述工艺腔体30的一侧上，所述第二位置传感器222可以安装在所述工艺腔体30下方且位于所述泵20的安装位置以外的部件面向所述固定装置21的侧壁上，所述第一位置传感器221可以向所述第二位置传感器222发出所述泵20的位置信号，所述第二位置传感器222可以根据接收到的位置信号，判定所述泵20是否到达所述工艺腔体30的下方待安装所述泵20的位置；同时，所述第二位置传感器222也可以向所述第一位置传感器221发出位置信号，所述第一位置传感器221根据接收到的位置信号，判定所述泵20是否到达所述工艺腔体30的下方待安装所述泵20的位置。所述第一位置传感器221和第二位置传感器222可以具有红外发射器或激光发射器，所述第一位置传感器221和第二位置传感器222互相发射红外光或激光，以获得所述泵20与所述工艺腔体30的下方待安装所述泵20的位置之间的相对位置。由于所述工艺腔体30的下方周围有很多其它的工艺部件，如电源31等，这些工艺部件使得在对所述泵20进行安装的过程中会阻挡安装人员的视线，安装人员很难对所述泵20的位置进行微调，导致安装耗时较长，而采用所述位置检测装置22可以快速准确地找到所述泵20在所述工艺腔体30的下方的安装位置，使得所述泵20的安装可以不受所述工艺腔体30的下方周围的其它工艺部件的阻挡的影响，提高了所述泵20的安装效率。

所述移动装置23用于带动所述固定装置21在水平方向和垂直方向上移动，所述移动装置23的一端连接所述固定装置21。所述电机24用于驱动所述移动装置23移动，所述电机24连接所述移动装置23的另一端。所述泵拆装治具还可包括可移动的支撑装置27，所述电机24和所述移动装置23设置于所述支撑装置27上，且所述电机24驱动所述移动装置23相对所述支撑装置27运动。对所述泵20进行安装的过程包括：

首先，可移动的所述支撑装置27将所述电机24和所述移动装置23移动到靠近所述工艺腔体30的位置，所述支撑装置27可以不用进入到所述工艺腔体30的下方的空间中，此时，所述支撑装置27可固定不动；

然后，所述电机24驱动所述移动装置23相对于所述支撑装置27在水平方向上进行移动，以使得所述移动装置23带动所述固定装置21在水平方向上移动，进而使得所述泵20可以按照所述位置检测装置22的指示，移动到所述工艺腔体30的下方待安装的位置；

接着，所述电机24驱动所述移动装置23相对于所述支撑装置27在垂直方向上移动，以使得所述移动装置23带动所述固定装置21在垂直方向上移动，进而使得所述泵20移动到所述工艺腔体30的底部的安装位置，将所述泵20采用螺丝等部件安装固定在所述工艺腔体30的底部。

另外，所述电机24可以采用伺服电机，所述伺服电机可使控制速度、位置精度非常准确，可以采用所述伺服电机驱动液压传动的方式驱动所述移动装置23进行移动。在本实用新型的其他实施例中，所述电机24也可以采用其它种类的电机类型。由于在对所述泵20进行安装的过程中，所述支撑装置27可以不用移动到所述工艺腔体30的下方，使得所述支撑装置27的体积即使很大时，也不会因为所述工艺腔体30的下方的空间较小而影响到所述泵20的安装，进而使得所述泵20的安装效率得到提高。

所述泵拆装治具还可包括控制面板25，所述控制面板25与所述电机24和所述位置检测装置22电连接，所述控制面板25上可以接收到所述位置检测装置22反馈的所述泵20与所述工艺腔体30的下方待安装所述泵20的位置之间的相对位置信息，通过此信息判定所述电机24是否继续驱动所述移动装置23移动，以及判定所述移动装置23带动所述固定装置21的移动方向。

所述泵拆装治具还可包括报警装置26，所述报警装置26与所述控制面板25电连接。当所述控制面板25上接收到所述位置检测装置22反馈的信息，显示所述泵20已经到达所述工艺腔体30的下方待安装所述泵20的位置时，所述报警装置26可以发出报警提示，同时，所述电机24停止驱动所述移动装置23带动所述固定装置21在水平方向上移动。

根据以上描述，在将所述泵20安装到所述工艺腔体30的底部之后，可以将固定所述泵20的所述固定装置21从所述泵20上拆除，然后所述电机24驱动所述移动装置23移动，以带动所述固定装置21从所述工艺腔体30的下方移出，进而完成所述泵20的安装。

另外，对所述泵20进行拆卸的过程包括：首先，可移动的所述支撑装置27将所述电机24和所述移动装置23移动到靠近所述工艺腔体30的位置，所述支撑装置27可以不用进入所述工艺腔体30的下方的空间中；然后，所述电机24驱动所述移动装置23相对于所述支撑装置27在水平方向上进行移动，以使得所述移动装置23带动所述固定装置21在水平方向上移动到所述工艺腔体30下方的所述泵20的位置；接着，所述电机24驱动所述移动装置23相对于所述支撑装置27在垂直方向上移动，以使得所述移动装置23带动所述固定装置21在垂直方向上移动，当所述固定装置21接触到所述泵20之后，所述固定装置21将所述泵20进行固定，拆除将所述泵20固定在所述工艺腔体30底部的螺丝等部件；最后，所述电机24驱动所述移动装置23移动，以将所述固定装置21和所述泵20从所述工艺腔体30的下方移出，进而完成所述泵20的拆卸。

综上所述，本实用新型提供的所述泵拆装治具，包括：用于固定泵的固定装置；用于监测所述泵和一工艺腔体间的相对位置的位置检测装置，所述位置检测装置安装在所述工艺腔体一侧和/或所述固定装置一侧；用于带动所述固定装置在水平方向和垂直方向上移动的移动装置，所述移动装置的一端连接所述固定装置；以及，用于驱动所述移动装置移动的电机，所述电机连接所述移动装置的另一端。本实用新型提供的泵拆装治具能够降低泵安装过程中的安全风险以及提高泵的安装效率。

本实用新型一实施例提供一种半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括：加工机台以及采用本实用新型提供的所述泵拆装治具安装的所述泵。参阅图3，图3是泵安装在工艺腔体上的示意图，从图3中可看出，所述加工机台具有工艺腔体30、连接固定在所述工艺腔体30底部的钟摆阀40，以及用于固定所述钟摆阀40的卡槽50，所述卡槽50设置于所述钟摆阀40的两侧，所述泵20连接在所述钟摆阀40的底部。当对所述泵20进行安装时，可以先将所述钟摆阀40安装在所述泵20的顶部，然后采用所述泵拆装治具将所述泵20和所述钟摆阀40移动到所述工艺腔体30的下方，此时，可以先将所述钟摆阀40移动到所述卡槽50之间，则所述泵20在水平方向上的左右位置被固定，只需采用所述泵拆装治具对所述泵20在水平方向上的前后位置进行调整，待所述泵20在水平方向上的前后位置调整好之后，将所述泵20和所述钟摆阀40垂直向上移动，以将所述钟摆阀40和所述泵20安装固定在所述工艺腔体30的底部。

本实用新型提供的所述半导体工艺设备通过采用本实用新型提供的所述泵拆装治具安装所述泵，能够降低所述泵安装到所述半导体工艺设备过程中的安全风险以及提高所述泵的安装效率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。