专利名称：手动插拔机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种手动插拔机。该插拔机用于在半导体装置的最终测试工序中，为进行老化实验，把封装插入老化管座，或者在老化后把封装从管座中拔出并收放于托架之中。
在现有技术中，如图7所示，将封装插入该老化板上的管座或者从管座中拔出的作业，采用先用真空吸盘7等吸附已被放入托架4上的封装6，然后用手指按住老化板上的管座2的盖3使接触电极9放开，然后将真空吸盘7吸附着的封装落入管座2中出的方法。而拔出时，则先用手指按住管座2的盖3，在接触电极9放开的同时，用吸盘7吸住封装6并从插座2中拔出来，放到托架4的凹坑5中。
由于现有技术用以上那样的方法进行插入和拔出作业，故在向管座上插入或拔出之际，封装6的管腿8会接触管座的盖3的边缘，常使管腿8产生变形。此外，还存在着由于按下管座2的盖3时的负荷，使操作人员的手指疲乏或疼痛而引起的作业效率不好的问题(以上这些问题，请参阅图8或图9)。
本发明是着眼于这种现有技术所存在的问题而发明出来的。其目的是提供一种手动插拔机，这种手动插拔机在向老化管座中插入或从管座中拔出封装时，不会因封装的管腿接触老化管座的盖的边缘而使管腿变形，也不会因按压老化管座的盖时产生负荷使操作人员手指疲乏和疼痛而使作业效率变坏，因而可以大幅度提高老化实验的处理效率。
用于解决以上那种课题的本发明的手动插拔机的特征是在半导体装置的最终测试工序中，为了进行老化实验，用于向老化管座上插入封装，或者在老化之后从管座中把封装拔出来、收纳于托架中去的手动插拔机，具备有将封装从托架中移往老化管座的机构，进行定位以使该移动后的封装可以插入到老化管座中去的机构和把已定好位置的封装插入老化管座的机构。
另外，本发明的手动插拔机的特征是为了进行半导体装置的最终测试工序中的老化实验，用于把封装插入到老化管座中去或者在老化之后从管座中拔出封装并收纳于托架中去的手动插拔机，具备有从老化管座中取出封装的机构，把该已取出的封装移到托架去的机构，和把该移动后的封装存放于托架中去的机构。
如上所述，若采用本发明，则由于一次可把多个封装从托架中移至老化管座并插入到老化管座中，因而变成为可以大幅度地提高用于老化实验的处理能力。此外，由于在插入到老化管座之前已进行了封装的定位，因而变成为可以把封装正确地插入到老化管座的中心，从而可以大幅度地提高成品率。
另外，在本发明中，由于可以一次从托架上的老化管座中取出多个封装并收存于托架中，因而变为可大幅度地提高用于老化实验的处理能力。
图1的斜视图示出了本发明的一个实施例的手动插拔机。
图2的局部剖面图示出了本发明的一个实施例的手动插拔机的装置部分。
图3的局部剖面图示出本发明的一个实施例的手动插拔机的装置部分的动作。
图4的局部剖面图示出本发明的一个实施例的手动插拔机的装置部分的管座盖的开闭动作。
图5的局部剖面图示出了本发明的一个实施例的手动插拔机的装置部分的向管座插入的插入动作。
图6的正视图示出了本发明的一个实施例的手动插拔机的装置部分的可动吸头的可变步距动作。
图7的斜视图示出了现有的插拔作业。
图8的剖面图示出了现有的向管座插入的情况。
图9的剖面图示出了现有的插入管座时的不便之处。
以下，参照
本发明的一个实施例。在图1中，10是基座板，11是已安装到基座板上的LM导执，12是同时安装的头定位板，13是设于头定位板12上的定位沟，14是放入定位沟13中的轴承，15是固定轴承14的滑块，16是上推滑块的压缩弹簧，17是骑在LM导轨上的支柱，18是保持于支柱17上的上板，19是设置于上板18上的手柄，20是用于靠近的柄，21是固定于柄20上的侧板，22是吸附吸盘，23是管座开闭的吸盘，24是可动吸头，25是安装在可动吸头24上的引导板，26是已安装到引导板25上的用于可变步距的轴承，27是定位块，28是保持托架4的托架支撑物，29是固定板1的柱体，30是控制吸附吸盘22上下的柱体，31是使侧板21和滑块15上下动作的传动装置，32是改变可动吸头24的步距的凸轮盘。
另外，在图2中，33是已安装到侧板21上的LM导轨、34是使吸附吸盘22上下的棒，35是真空软管，36是保持用于管座开闭的吸盘23的支架，37是使管座开闭吸盘23可调的棒，38是已安装到吸附吸盘22上的压缩弹簧，39是已装到管座开闭吸盘23上的压缩弹簧，40是吸附吸盘22的停转工具，41是保持、引导支架36的引导块，42是用于管座开闭靠近的传动装置轴，43是轴42的偏心量。
其次对工作过程加以说明。首先，如图1所示在把已存放于托架4中的封装插入到管座2中去的情况下，在手柄19已拉上来的状态下，使装置向托架4移动，使轴承14与吸附地点的定位沟13对合，下降手柄19。这时，可动吸头24借助于凸轮盘32变化为托架4的凹坑步距。用设置于定位沟上的停止器(未画出)使轴承14停止下降。用限位开关等(未画出)检测到行程结束时，驱动使吸附吸盘22下降的柱体30，借助于棒34的下降，设置于吸附吸盘22上的压缩弹簧38伸长，使吸附吸盘22下降。这时，用电磁阀等(未画出)进行真空切换使吸附吸盘22变成为吸引状态。当下降顶端吸上封装6时，真空传感器变为导通，并用其信号驱动柱体30，使棒34上升，吸附吸盘22保持吸着封装6的状态不变地往上升(参照图3(a)等)。
现在说明图3(a)中所示的状态。用上升结束信号使灯泡等(未画出)导通并经操作人员确认之后，把手柄19往上拉，并借助于定位沟13释放轴承14，使装置移向定位块27决定的下一个位置，使轴承14与定位沟13对合，向下拉手柄19。这时，借助于凸轮盘32，使可动吸头24变化为老化板上的管座的步距。用设置于定位沟中的停止器(未画出)使轴承停止下降。当用限位开关等(未画出)检测到这一行程的结束时，用电磁阀等(未画出)进行真空切换使吸盘变成为大气状态，封装6下落到定位块27中并进行定位修正。
现在说明示于图3(b)的状态。用从真空切换时刻开始的定时器，驱动使吸附吸盘22下降的柱体30，使棒34下降，用这种办法使设置于吸附吸盘22上的压缩弹簧38伸长，使吸附吸盘22下降。这时，用电磁阀等(未画出)进行真空切换，使吸附吸盘22变成为吸引状态。当在下降的顶端吸到封装6后，真空传感器导通，并用其信号驱动柱体30，使棒34上升，吸附吸盘22保持吸着封装6的状态不变地位上升。
现在说明示于图3(c)的状态。当用上升结束的信号使灯泡等(未画出)导通并经操作人员确认之后，把手柄19往上提，用定位沟13使轴承14释放并把装置移向下一个老化板一侧。使轴承14与定位沟13对合，向下拉手柄19，这时，借助于凸轮盘32，使可动吸头24恢复成老化板上管座步距的原样。
现在说明示于图4-图5的状态。用设置于定位沟上的停止器(未画出)使轴承14停止下降。当用限位开关等(未画出)检测到该行程结束时、驱动传动装置31、传动装置轴42旋转180度，并仅以偏心量43的2倍的行程使可动吸头24下降，并使已装其上的支架36、管座开闭吸盘23和吸附吸盘22下降。管座开闭吸盘23下推其正下方的管座2的盖3，以放开接触电极9。用该传动装置的行程结束信号进行由电磁阀等(未画出)构成的真空的切换，使吸附吸盘22变成为大气状态，封装6向管座2中落下。再用从真空切换时刻开始的定时器，驱动使吸附吸盘22下降的柱体30，并使棒34下降，借此使设置于吸盘22上的压缩弹簧41伸长，使吸附吸盘22下降压推封装6。
接着，用柱体30的行程结束信号驱动传动装置31，传动装置轴42旋转180度，并使可动吸头24仅上升偏心量43的2倍的行程，已安装到其上的支架36和管座开闭吸盘23也跟着上升。吸附吸盘22的上升延迟了与所设置的压缩弹簧的伸长相应的时间。当用传动装置的行程结束信号使灯泡等(未画出)导通，并经操作者确认之后，把手柄19往上拉，用定位沟13使轴承14释放，使装置移往托架4的下一个吸附位置(即从图5返回到图4(a)的状态)。
其次，说明示于图5的状态。在把已收存于管座2中的封装6拔出并收存于托架4中去的情况下，在手柄19已拉上来的状态下，使装置向老化板一侧移动，并使轴承14与吸附地点的定位沟13对合，把手柄19往下拉。这时，用凸轮盘32使可动吸头24变为托架4的凹坑步距。轴承14借助于设在定位沟上的停止器(未画出)停止下降。当用限位开关等(未画出)检测出该行程结束时，驱动传动装置31，使传动装置轴42旋转180度，可动吸头24仅下降一个偏心量43的2倍的行程，已安装在其上边的支架36、管座开闭吸盘23、吸附吸盘22跟着下降。管座开闭吸盘23把处于其正下方的管座2的盖3往下推，使接触电极9打开。用此传动装置的行程结束的信号驱动使吸盘22下降的柱体30，并使棒34下降，以使设置于吸盘22上的压缩弹簧41伸长，使吸附吸盘22下降。
这时，用电磁阀等(未画出)进行真空切换使吸附吸盘22变为吸引状态。当在下降顶端吸到封装6时，真空传感器变成为导通，并用其信号驱动柱体30，使棒34上升，吸附吸盘22保持吸着封装6的原状往上升(以上参照图3(c))。
接着，用柱体30的行程结束信号驱动传动装置31，使传动装置轴42转动180度，使可动吸头24仅上升相当于2倍的偏心量43的一个行程，已安装在其上的支架36和管座开闭吸盘23也跟着上升。当用传动装置的行程结束信号使灯泡等(未画出)导通并经操作人员确认之后，将手柄19住上拉，用定位沟13使轴承14释放，把装置移位托架4的下一个收存位置。使轴承14与定位沟13对合，向下拉手柄19。这时，用凸轮盘32使可动吸头24变化成托架的凹坑步距。用设置于定位沟上的停止器(未画出)停止轴承14的下降。当用限位开关等(未画出)检测到该行程结束时，用电磁阀等进行的真空切换使吸附吸盘22变成为大气状态，封装6向托架4的凹坑5落下并收存起来(以上参照图3(a))。
如上所示，在本实施例中，由于可以一次插拔多个封装，因而处理能力可大幅度地提高。可以用定位沟和凸轮盘进行正确的芯片取出，以及可用定位块进行位置修正，故可以向管座的中心进行正确的插入，因而有改善成品率的效果。此外，为了与管座2的尺寸变化时的情况相对应，使组装到支架36上的棒37可变，因而可以变更管座开闭吸盘23的门宽。再有，为了与管座步距、托架凹坑步距变化的情况相对应，通过采用使凸轮盘和定位板12单元部件化，使得一次操作即可交换的办法，就可以以便宜的价格来应付不同的品种。
此外，在本实施例中，我们描述的是可动吸头的靠近可以用人手控制手柄19来进行，但即便是用另行驱动的传动装置也不妨事。此外，在本实施例中，虽然托架4和老化板1都只设置了一块，但也可具备使用堆料机进行多个的自动供给。
如上所述，若采用本发明，则由于一次可把多个封装从托架中移往老化管座并插入到老化管座中，故得以大幅度地提高用于老化实试的处理能力。此外，由于在插入老化管座之前已进行过封装的定位，因而变成为可以把封装正确地插入到老化管座的中心，从而可使成品率大幅度地提高。另外，在本发明中，由于向老化管座中插入封装的工序和在此之前的定位工序都可以自动化。故不会再有因封装的管腿与管座的盖的边缘接触而使管腿变形或由于按压管的盖时的负荷，产生使操作人员手指疲乏或疼痛，因而使作业效率变坏之类的缺欠，因而变为可以大幅度地提高老化实验的处理效率。
另外，在本发明中，由于可以一次从托架上的老化管座中取出多个封装并收存于托架中，因而变为可大幅度地提高用于老化实验的处理能力。
权利要求
1.一种手动插拔机，其特征是在半导体装置的最终测试工序中，为了进行老化实验，用于把封装插入到老化管座中去的手动插拔机，具备有把封装从托架中移向老化管座的机构，进行定位、使上述移动后的封装能插入到老化管座中去的机构，把上述已定过位的封装插入老化管座的机构。
2.一种手动插拔机，其特征是在半导体装置的最终测试工序中，为了进行老化实验，用于把封装插入到老化管座中去，或者在老化之后把封装从管座中拔出并收存于托架中去的手动插拔机，具备有从老化管座中取出封装的机构，把上述已取出的封装移到托架去的机构，把上述已移动过的封装收存于托架中的机构。
全文摘要
一种手动插拔机，把封装插入老化管座或拔出时，不会使封装管腿因与管座盖的边缘接触而变形，也不会因按压管座盖的负荷使操作人员的手指疲乏或疼痛而使作业效率降低，因而可以大幅度提高老化实验的处理效率。它具备有把封装从托架移向老化管座的机构，进行定位以便使封装可以插入老化管座的机构和把封装插入老化管座的机构。另外，还有把封装从老化管座中取出的机构，把封装移动到托架去的机构和把封装收存于托架中的机构。
文档编号B25J15/06GK1155161SQ9610859
公开日1997年7月23日 申请日期1996年6月19日 优先权日1996年1月16日
发明者坂本哲也, 萩原静夫 申请人:三菱电机株式会社, 萩原工程株式会社