专利名称：用于同时喷墨打印和缺陷检验的方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明一般地涉及电子器件制造和用于打印的系统，更具体而言，涉及用于在打印彩色滤光片的同时检验缺陷的设备和方法。
背景技术：
平板显示器工业一直试图采用喷墨打印制造显示器器件，具体来说，制造用于平板显示器的彩色滤光片。因为当打印彩色滤光片图案时墨水沉积在其中的像素井可能特别小，所以产生缺陷的可能性非常高。因此，用于避免和检测缺陷的方法和设备是所期望的。
发明内容
在本发明的一些实施例中，提供了一种用于同时进行喷墨打印和缺陷检验的系统。该系统包括至少一个打印头，用于在基板上沉积墨水；至少一个成像装置，用于扫描所述基板；和控制器，用于接收在打印期间由所述成像装置扫描的图像数据，利用经处理的图像数据确定是否在所述基板上存在任何缺陷，并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。所述成像装置用于在每一次打印操作期间扫描所述基板。
在本发明的相同的或其它的方面中，提供了一种同时进行喷墨打印和缺陷检验的方法。该方法包括利用至少一个喷墨打印头在基板上沉积墨水；在打印期间利用成像装置扫描所述基板；处理由所述成像装置扫描的图像数据；利用经处理的图像数据确定是否在所述基板上存在任何缺陷；以及发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。
通过下面的详细描述、所附权利要求和附图，本发明的其它特征和方面将变得更加清楚。
图1A是根据本发明的一些实施例的喷墨打印和缺陷检验系统的俯视示意图。
图1B是根据本发明的一些实施例的喷墨打印和缺陷检验系统的立体图。
图2是根据本发明的一些实施例的喷墨打印和缺陷检验设备的近视图。
图3是可以由根据本发明的一些实施例的喷墨打印和缺陷检验系统检测的示例性打印缺陷的图像。
图4是示出了根据本发明的一些实施例的喷墨打印和缺陷检验的方法的示例的流程图。
具体实施例方式
本发明提供用于同时进行喷墨打印和缺陷检验的方法和设备。本发明的发明人已经认识到了伴随在制造例如用于平板显示器的彩色滤光片中有效使用喷墨打印的问题在于，可能在印刷了整个器件之后不能高效检验已经打印的显示器器件。根据本发明，能够在打印期间检测基板上的喷墨打印缺陷(例如，未充分填充的像素井、在像素井阻隔壁上存在的墨水(例如，黑色基体)、井中出现的不正确的墨水、井中的污染粒子等)的检验系统可以被设置在喷墨打印系统中。
在一些实施例中，检验系统可以包括一个或多个布置在喷墨打印头上或其附近的摄像机。每一个喷墨打印头可以具有一个相关联的摄像机。或者，可以将多个摄像机群集在一个喷墨打印头上，或可以将多个摄像机远离喷墨打印头布置。摄像机可以在沉积墨水时扫描基板，并且判断打印质量和/或可以将扫描数据连同位置数据传输到用于图像处理的控制器。检验系统可以扫描在前的打印操作对象或者打印操作对象组。就是说，如果摄像机安装在喷墨打印头附近，则当喷墨打印头在当前列的像素井中沉积墨水时，摄像机可以扫描先前已经打印过的像素井列。附加地或可选地，被扫描区域的位置坐标(例如在XY平面上)和/或缺陷位置可以连同其它的图像和/或相关的图像数据一起被传输到控制器或被记录。本发明的检验系统还可以使用各种彩色滤光片和/或图像增强手段，以增大图像对比度并且更容易地识别缺陷。本发明的检验系统可以能够实时地扫描打印情况，并且能够发射控制信号以在发现缺陷的情况下停止或者暂停打印。
图1A和图1B示出了本发明的喷墨打印和缺陷检验系统的实施例的俯视示意图和立体图，该喷墨打印和缺陷检验系统笼统地由标号100表示。在示例性实施例中，本发明的喷墨打印和缺陷检验系统100可以包括打印头102、104和106。打印头102-106可以支撑在打印梁架或支撑架108上。打印梁架108还可以支撑成像系统110和/或112和/或114、116和118。成像系统110-118可以耦合到成像系统控制器120(图1A)。成像系统控制器120可以被逻辑地(例如，电气地、无线地、光学地等)和/或机械地耦合到成像系统110-118。类似地，打印头102-106和打印梁架108可以耦合到系统控制器122。系统控制器122可以逻辑地(例如，电气地)和/或机械地耦合到打印头102-106和打印梁架108。在一些实施例中，成像系统控制器120可以直接耦合到系统控制器122、与系统控制器122通信和/或由系统控制器122控制。在其它或者替换实施例中，成像系统控制器120和系统控制器122可以是同一个控制器。喷墨打印和缺陷检验系统100还可以包括台板124，该台板124可以包括光源126。
在图1A和1B的示例性实施例中，打印梁架108可以支撑打印头102-106。虽然在图1A和1B中三个打印头被示出在打印梁架108上，但是重要的是请注意，任何数量的打印头可以安装在打印梁架108上和/或结合打印梁架108使用(例如，1、2、4、5、6、7等个打印头)。打印头102-106可以能够分配一种颜色的墨水，或者在一些实施例中，能够分配多种颜色的墨水。
本发明的喷墨打印和缺陷检验系统100可以包括任何数量的成像系统110-118(例如，1、2、3、4、5、6等)。用于喷墨打印系统的示例性成像系统在2004年12月22日递交的题为“METHODS AND APPARATUSFOR ALIGNING PRINT HEADS”的美国专利申请No.11/019,930中描述，该专利申请通过引用被全文包含在本文中。类似地，成像系统110-118可以包括一个或多个高分辨率数字线扫描摄像机、基于CCD的摄像机、和/或任何其它的合适摄像机。用于本发明的示例性成像系统可以包括这样物镜，该物镜能够以大约8000个像素和5μm的像素分辨率多倍缩放。示例性成像系统还可以具有100KHz的线速率，并且能够以500毫米/秒扫描基板。还可以使用具有其它特性的摄像机。在至少一个实施例中，成像系统110-118能够同时检验三种颜色(例如，红、绿和蓝)。
在第一示例性实施例中，成像系统110可以以类似于打印头所用的位置和方式耦合到打印梁架108。就是说，成像系统110能够类似于打印头102-106地旋转和移动，并且可以在打印头102-106附近移动或者可以远离打印头102-106。成像系统110可以包括单个摄像机，或者在一些实施例中，可以包括成为群集的多个摄像机(例如，2、3个等)。在一些实施例中，一个摄像机能够检测与蓝色和/或绿色墨水相关的缺陷，一个摄像机能够检测与红色墨水相关的缺陷。在其它的实施例中，每一个摄像机能够检测与不同墨水颜色相关的缺陷，并且可以设置足够数量的摄像机，使得每一种墨水颜色有一个摄像机。成像系统110可以被布置在打印头102-106的任一侧，或者可以填隙式地布置。
在一个或者多个实施例中，成像系统110可以被布置到打印头102-106的左侧(例如，如图1A、1B和图2所示)。在成像系统110布置到打印头102-106的左侧并且打印操作从左到右进行(例如，墨水被沉积到基板上的一列像素井，随后台板向左移位以准备下一次打印操作)的情况下，成像系统将首先从刚刚已被打印的像素井列获取图像。在一些实施例中，成像系统110也可以能够从先前的打印操作对象，最近的打印操作对象，和/或当前的打印操作对象获取图像。成像系统110可以被布置来获取位于相关摄像机的正下方的基板的图像(例如，能够查看先前已打印的打印操作对象)。或者，成像系统110可以以一定角度布置，以获取正在处理的打印操作对象的图像，或者可以沿任何方向以一定角度布置，以获取基板的多个不同部分的图像。
在第二示例性实施例中，图1A的成像系统112可以被直接耦合到打印梁架108上并由其支撑。该耦合位置可以邻近打印头102-106，或者可以位于打印梁架108上的其它位置。成像系统112可以包括单个摄像机，或者在一些实施例中，可以包括成为群集的多个摄像机。此外，成像系统112可以是标准的显微摄像机，该标准的显微摄像机与用于在运动中扫描基板的高速摄像机114-118不同，其设置来允许操作者在基板静止时精密地检查特定的位置或者缺陷。例如，一旦扫描成像系统114-118识别出在特定XY位置上的可能缺陷，打印可以被停止并且成像系统112可以被移动到该特定的XY位置处，以允许操作者详细地检查该位置并评估该可能缺陷。
在第三示例性实施例中，成像系统114-118可以安装到并且邻近于打印头102-106。就是说，成像系统114可以独立地紧邻打印头102安装在打印梁架108上，或者可以与打印头102安装到相同的组件，使得打印头102的任何移动将与成像系统114的移动相一致(例如导致成像系统114的移动)。类似地，成像系统116可以被安装为与打印头104一起或者邻近打印头104，并且成像系统118可以被安装为与打印头106一起或者邻近打印头106。在一些实施例中，成像系统114-118中的每一个可以包括能够获取用由其相应的打印头102-106分配的墨水所打印的像素井的图像。每一个打印头102-106可以具有相关的成像系统114-118。
在其中每一个打印头102-106具有相应的成像系统114-118的实施例中，每一个成像系统114-118可以查看不同的空间图像。例如，在其中从左到右进行打印的打印操作期间，成像系统118可以获取已经被打印的像素井列和两个相邻的未填充的像素井的图像。成像系统116可以获取两个已填充的像素井列和一个未填充列的图像。成像系统114可以获取三个已填充列的图像。
或者，成像系统114-118可以包括多于一个的摄像机，使得多个摄像机群集在一个或者多个打印头102-106上，并且其中一个或者多个打印头没有相关的成像系统114-118。例如，在一些实施例中，打印头102可以具有被安装为与该打印头一起的成像系统114。成像系统114可以包括两个或者更多个摄像机，每一个摄像机能够检测特定颜色的缺陷。打印头104、106可以不包含成像系统116、118。当两个摄像机被包括在成像系统114中时，一个摄像机可以用于检测蓝/绿色墨水缺陷，而一个摄像机可以用于检测红色墨水缺陷。摄像机例如通过使用彩色滤光片，可以用于特定的颜色。当三个摄像机被包括在成像系统114中时，每一个摄像机可以能够检测不同墨水颜色的缺陷，用于增强对打印颜色之间的辨别力。
成像系统110-118可以逻辑地(例如，电气地、无线地、光学地等)和/或机械地耦合到成像系统控制器120。成像系统控制器120可以包括能够处理由成像系统110-118获取的图像的软件。成像系统控制器120可以能够处理和/或储存从每一个成像系统110-118接收的图像数据。或者，每一个成像系统110-118可以具有相关的成像系统控制器(例如，每一个成像系统110-118能够处理和/或储存图像数据)。从成像系统110-118发送的图像数据可以包括被扫描区域的位置坐标(例如，在XY平面上)、缺陷位置和/或类型、和/或图像。位置数据也可以从打印系统(例如，系统控制器122)检索或者接收。在一些实施例中，为了节省处理器的功能，仅包含可能缺陷的图像被发送到成像系统控制器120。
成像系统控制器120能够接收从成像系统110-118发送的图像数据，处理该图像数据，并基于图像数据确定对基板的处置(例如，暂停或者停止打印，将基板送去清洁，将基板送去进行最终处置，将基板送去进行其它的修理，打印合格并且允许打印继续等)。
成像系统控制器120可以是任何合适的计算机或者计算机系统，包括但不限于，大型计算机、小型计算机、网络计算机、个人计算机、和/或任何合适的处理装置、组件或系统。或者，成像系统控制器120可以包括专用逻辑电路或者任何合适的硬件和/或软件的组合。成像系统控制器120可以用于控制成像系统110-118中的任何一个，包括控制每一个成像系统110-118的旋转运动和沿着X轴的正和负两个侧向位移方向的运动，X轴正方向由图1A中的标记为X的参考箭头指示。此外，成像系统控制器120可以能够控制成像系统110-118相对于基板的角度，光学或者电学缩放，成像系统110-118离基板的距离，或者执行任何其它必要的控制。
如上所述，在示例性实施例中，系统100可以包括系统控制器122。与成像系统控制器120一样，系统控制器122可以是任何合适的计算机或者计算机系统，包括但不限于，大型计算机、小型计算机、网络计算机、个人计算机、和/或任何合适的处理装置、组件或系统。或者，系统控制器122可以包括专用逻辑电路或者任何合适的硬件和/或软件的组合。系统控制器122可以用于通过打印支撑架108控制打印头102-106中的任何一个，包括控制每一个打印头102-106的旋转运动和沿着X轴的正和负两个侧向位移方向的运动，X轴正方向由图1A中的标记为X的参考箭头来指示。系统控制器122还可以控制任何和所有的能够由打印支撑架108和/或打印头102-106执行的喷墨打印和维护操作。
系统控制器122可以与成像系统控制器120接口和/或可以与成像系统110-118直接通信。成像系统控制器120或者系统控制器122可以基于所接收和/或所处理的图像数据确定对基板的处置。基于对基板的处置，成像系统控制器120或系统控制器122可以将控制信号发送到喷墨打印和缺陷检验系统100的相关部件，以对基板执行一定的动作。这样的动作可以包括暂停或者停止打印，将基板送去清洁，将基板送去进行最终处置，将基板送去进行其它的修理，或者认定打印是可接收的并允许打印和/或基板继续或传输到制造的下一个阶段。
喷墨打印和缺陷检验系统100还可以包括布置在台板124上、附近、上方和/或下方的一个或者多个光源126(如图1A和1B所示)。光源126可以提供光，以使其通过基板，帮助照亮和检测打印缺陷。光源126可以是可移动的线性光源。光源126也可以是光纤光导，诸如白荧光源或者石英卤素源，LCD背光，或者LED光。可以使用任何其它合适的光源。通过加入光源126，喷墨打印和缺陷检验系统100可以通过检测透射光强度的变化来检测彩色区域的厚度变化。
图2描绘了根据本发明的设备的实施例的近视图。喷墨打印和缺陷检验系统200可以包括安装在打印支撑架或梁架108上的打印头102、104和106。成像系统110、114、116和118也可以以类似于图1A和1B中所示的位置和方式安装在打印梁架108上。成像系统110可以是可移动的、可旋转的和可成角度的，其方式允许系统查看当前或在先的打印操作对象。在可选实施例中，成像系统114-118可安装在与打印头102-106中的任何一个相同的安装件上，或者安装到打印头102-106本身上，而可以类似地移动、旋转和成角度。成像系统114-118可以被安装在打印头102-106的任何一侧，以查看当前的、在先的和将来的打印操作对象。例如，安装到打印头102左侧的成像系统114可以能够获取在先的一个或者多个打印操作对象的图像。如果成像系统114被安装在打印头102的右侧，则成像系统114能够获取打印头104的在先的一个或者多个打印操作对象的图像。成像系统114-118也可以被安装打印头102-106中的任何一个的相对于打印方向(其可以是沿Y轴的正和负两个方向，Y轴正方向由图1A中的标记为Y的参考箭头来指示)的前方和/或后方。在这样的构造中，成像系统114-118能够在打印操作之前和/或在刚刚分配墨水之后(因此不必等到整个打印操作完成)获取基板中的缺陷的图像。
图3是可以由本发明检测的示例性打印缺陷(加圈的)的图像。可能的打印缺陷例如可以包括像素井之间的阻隔壁上存在的墨水(302)，沉积在相邻像素井中的不正确的墨水颜色和墨水颜色的混合(304)，以及墨水空洞(306)。其它可能的打印缺陷可以包括像素井中的污染粒子、不正确的颜色沉积、未充分填充的像素井(例如，小于约0.2μm厚度)、过填充的像素井、不正确的尺寸等。本发明的喷墨打印和缺陷检验系统能够在打印过程中出现这些和其它缺陷时检测它们。
参考图4，图4示出了描述根据本发明的喷墨打印和缺陷检验的方法400的示例性实施例的流程图。为了方便起见，参考图1A和1B的喷墨打印和缺陷检验系统100来描述方法400。类似的方法可以用于本文所描述的其它喷墨打印和缺陷检验系统。
示例性方法400开始于步骤402。在步骤404，打印头102-106可以在基板上沉积墨水。注意在一些实施例中，打印头的数量可以是不同的。打印头102-106可以同时或者单独地沉积墨水，并且可以沉积相同或者不同颜色的墨水。
在步骤406，成像系统110-118可以扫描基板。为了扫描基板，成像系统110-118可以获取先前或正在被打印的像素井的图像，并可以将图像数据发送到成像系统控制器120。扫描速率可以为约500毫米/秒，并且可以以544MHz摄像模块进行扫描，但是可以使用任何适当的扫描速率和/或摄像模块。被扫描基板的视频和/或快照图像可以被显示或储存在系统控制器122或成像系统控制器120处。在一些实施例中，为了节省存储空间和节约处理器的负载，可以仅仅记录或者以其它方式获得打印缺陷的图像和/或数据。或者，所有图像数据和/或快照可以被记录或者传输到成像系统控制器120。
根据上述的系统，在基板上沉积墨水和扫描基板的步骤可以顺序进行或者同时进行。就是说，当打印头102-106在基板上沉积墨水时，成像系统110-118可以扫描基板，以检测打印缺陷。
在步骤406之后，在步骤408中，成像系统110-118和/或成像系统控制器120可以处理扫描图像。处理扫描图像可以包括记录缺陷率、位置和/或状况，使用图案识别算法识别已知类型的缺陷，确定严重性和/或可接受性等。
在步骤410中，经处理的扫描数据可用于检查打印缺陷。成像系统控制器120可以使用扫描数据和/或图像，来确定是否存在打印缺陷并且确定沉积状况。例如，沉积状况可以是打印缺陷程度的量度。在一些实施例中，成像处理算法可以被用于每一个成像系统110-118，来确定缺陷率、缺陷类型和/或缺陷的严重性。
在步骤142中，基于在步骤410中确定的基板的沉积状况，成像系统控制器120或系统控制器122可以将控制信号发送到喷墨打印和缺陷检验系统100(或其它系统)的相关部件，以对基板或喷墨打印和缺陷检验系统100执行一定的动作。例如，控制信号可以指明(a)打印头上的喷嘴不工作，得到空白像素；(b)打印头错位，使得墨水填充相邻的像素井而不是目标像素井；(c)被打印的像素井包括空洞，表明液滴大小/体积被设定得太小等。作为结果发生的动作可以包括暂停或者停止打印，将基板送去清洁，将基板送去进行最终处置，将基板送去进行其它的修理，清洁打印头，更换打印头，重新对准打印头，认为打印合格并且允许打印和/或基板继续或传输到制造的下一个阶段等。方法结束于步骤414。
前面的描述公开的仅仅是本发明的具体实施例；上面所公开的方法和设备的落入本发明范围的修改对于本领域普通技术人员来说是显然的。此外，虽然上述的示例性方法仅仅被应用于图1A、1B和图2中的三个打印头102-106和五个成像系统110-118，但是本领域的普通技术人员将理解，这些方法可以应用于任何数量的打印头和/或成像系统。此外，本发明还可应用于间隔物的形成、起偏器涂覆和纳米粒子电路的形成。
因此，虽然结合本发明的特定实施例公开了本发明，但是应该理解其它的实施例也落入如所附权利要求所限定的本发明的精神和范围内。
本申请要求2005年7月28日递交的美国临时专利申请No.60/703,146的优先权，该美国临时专利申请的全文通过引用被包含在本文中。
权利要求
1.一种设备，包括至少一个打印头，用于在基板上沉积墨水；至少一个成像装置，用于在打印操作期间扫描所述基板；和控制器，用于接收由所述成像装置扫描的图像数据，利用经处理的图像数据确定是否在所述基板上存在任何缺陷，并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。
2.如权利要求1所述的设备，其中，所述打印头用于沉积第一颜色的墨水，并且其中，所述成像装置用于检测与所述第一颜色的墨水相关的缺陷。
3.如权利要求1所述的设备，其中，所述打印头和所述成像装置耦合到打印支撑架。
4.如权利要求1所述的设备，其中，所述成像装置用于扫描所述基板的、在当前的打印操作之前的打印操作期间被打印的区域。
5.如权利要求1所述的设备，其中，所述成像装置包括至少两个摄像机，并且其中，所述两个摄像机中的第一摄像机用于在第一方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板，所述两个摄像机中的第二摄像机用于在第二方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板。
6.如权利要求1所述的设备，其中，所述成像装置包括至少两个摄像机，并且其中，所述两个摄像机中的第一摄像机用于检测与红色墨水相关的缺陷，所述两个摄像机中的第二摄像机用于检测与蓝/绿色墨水相关的缺陷。
7.如权利要求1所述的设备，其中，所述控制器能够发送如下控制信号，所述控制信号指明所述基板包括缺陷、应该停止打印和所述打印头应该接受维护。
8.如权利要求1所述的设备，还包括光源，所述光源用于从所述基板的、与其上沉积墨水的一侧相反的一侧照亮所述基板。
9.一种方法，包括利用至少一个喷墨打印头在基板上沉积墨水；利用成像装置扫描所述基板；处理由所述成像装置扫描的图像数据；利用经处理的图像数据确定是否在所述基板上存在缺陷；以及发送指明所述基板的沉积状况的控制信号，其中，沉积墨水和扫描所述基板同时进行。
10.如权利要求9所述的方法，其中，沉积墨水包括沉积第一颜色的墨水，并且其中，扫描所述基板包括使用用于检测与所述第一颜色的墨水相关的缺陷的所述成像装置扫描所述基板。
11.如权利要求9所述的方法，其中，沉积墨水和扫描分别使用所述打印头和所述成像装置执行，所述打印头和所述成像装置都由打印支撑架悬置。
12.如权利要求9所述的方法，其中，扫描包括使用如下成像装置进行扫描，所述成像装置用于扫描所述基板的、在当前的打印操作之前的打印操作期间被打印的区域。
13.如权利要求9所述的方法，其中，扫描包括使用如下成像装置进行扫描，所述成像装置包括至少两个摄像机，其中所述两个摄像机中的第一摄像机用于在第一方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板，所述两个摄像机中的第二摄像机用于在第二方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板。
14.如权利要求9所述的方法，其中，扫描包括使用如下成像装置进行扫描，所述成像装置包括至少两个摄像机，其中所述两个摄像机中的第一摄像机用于检测与红色墨水相关的缺陷，所述两个摄像机中的第二摄像机用于检测与蓝/绿色墨水相关的缺陷。
15.如权利要求9所述的方法，其中，发送控制信号包括发送如下控制信号，所述控制信号指明所述基板包括缺陷、应该停止打印和所述打印头应该接受维护。
16.如权利要求9所述的方法，还包括从所述基板的、与其上沉积墨水的一侧相反的一侧照亮所述基板。
17.一种方法，包括利用至少一个喷墨打印头在基板上沉积墨水；在所述沉积步骤的至少一部分期间，利用成像装置扫描所述基板；以及至少部分基于所述扫描步骤确定是否在所述基板上存在缺陷。
18.如权利要求17所述的方法，其中，沉积包括沉积第一颜色的墨水，并且其中，扫描包括使用用于检测与所述第一颜色的墨水相关的缺陷的所述成像装置扫描所述基板。
19.如权利要求17所述的方法，其中，沉积和扫描分别使用所述打印头和所述成像装置执行，所述打印头和所述成像装置都由打印支撑架悬置。
20.如权利要求17所述的方法，其中，扫描包括使用如下成像装置进行扫描，所述成像装置用于扫描所述基板的、在当前的打印操作之前的打印操作期间被打印的区域。
21.如权利要求17所述的方法，其中，扫描包括使用如下成像装置进行扫描，所述成像装置包括至少两个摄像机，其中所述两个摄像机中的第一摄像机用于在第一方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板，所述两个摄像机中的第二摄像机用于在第二方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板。
22.如权利要求17所述的方法，其中，扫描包括使用如下成像装置进行扫描，所述成像装置包括至少两个摄像机，其中所述两个摄像机中的第一摄像机用于检测与红色墨水相关的缺陷，所述两个摄像机中的第二摄像机用于检测与蓝/绿色墨水相关的缺陷。
23.如权利要求17所述的方法，其中，发送控制信号包括发送如下控制信号，所述控制信号指明所述基板包括缺陷、应该停止打印和所述打印头应该接受维护。
24.如权利要求17所述的方法，还包括从所述基板的、与其上沉积墨水的一侧相反的一侧照亮所述基板。
25.一种喷墨打印系统，包括多个打印头，每一个打印头用于在基板上沉积不同颜色的墨水；台板，用于在打印期间使所述基板移动通过所述打印头；打印梁架，用于将所述打印头支撑在所述基板上方；至少一个成像装置，用于在打印操作期间扫描所述基板；成像控制器，用于接收由所述成像装置扫描的图像数据，利用经处理的图像数据确定是否在所述基板上存在任何缺陷，并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号；以及系统控制器，用于接收所述控制信号，并且响应于所述控制信号操作所述喷墨打印系统。
26.如权利要求25所述的系统，其中，所述成像装置用于检测与所述不同颜色的墨水相关的缺陷。
27.如权利要求25所述的系统，其中，所述打印头和所述成像装置都由所述打印梁架支撑。
28.如权利要求25所述的系统，其中，所述成像装置用于扫描所述基板的、在当前的打印操作之前的打印操作期间被打印的区域。
29.如权利要求25所述的系统，其中，所述成像装置包括至少两个摄像机，并且其中，所述两个摄像机中的第一摄像机用于在第一方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板，所述两个摄像机中的第二摄像机用于在第二方向上在移动所述基板的同时扫描所述基板。
30.如权利要求25所述的系统，其中，所述成像装置包括至少两个摄像机，并且其中，所述两个摄像机中的第一摄像机用于检测与红色墨水相关的缺陷，所述两个摄像机中的第二摄像机用于检测与蓝/绿色墨水相关的缺陷。
31.如权利要求25所述的系统，其中，所述成像控制器能够向所述系统控制器发送如下控制信号，所述控制信号指明所述基板包括缺陷、应该停止打印和所述打印头应该接受维护。
32.如权利要求25所述的系统，还包括光源，所述光源用于从所述基板下方照亮所述基板。
全文摘要
本发明提供了一种用于同时进行喷墨打印和缺陷检验的系统。该系统包括至少一个打印头，用于在基板上沉积墨水；至少一个成像装置，用于在打印操作过程中扫描基板；和控制器，用于接收由成像装置扫描的图像数据，利用经处理的图像数据确定是否在基板上存在任何打印缺陷，并发送指明所述基板的沉积状况的控制信号。成像装置用于在每一次打印操作期间扫描基板。本发明还公开了许多其它的方面。
文档编号B41J29/393GK1903573SQ200610103980
公开日2007年1月31日 申请日期2006年7月28日 优先权日2005年7月28日
发明者上泉元, 罗伯特·巴查迟 申请人:应用材料公司