用于优化地激光标记对象的方法和设备的制作方法
【专利摘要】本发明是关于对对象进行激光标记。详细的说，本发明是关于以激光剥蚀对象的外加被覆层，从而露出该对象在该被覆层下方的表面，如此一来，该对象的外露表面与相邻剩余被覆层间的对比外观即形成标记，因而达成对该对象实施激光标记的目的。激光参数是经挑选，以提供均匀且符合市售水平的外观，并避免下层表面受损，同时维持可接受的单位时间系统产出量。在此需特别一提的是，激光脉冲包络线是经量身订做，故一方面可提供理想的外观，一方面则可维持可接受的单位时间系统产出量。
【专利说明】用于优化地激光标记对象的方法和设备
【技术领域】
[0001]本发明是关于对对象进行激光标记。详细的说，本发明是关于以激光剥蚀一对象的一被覆层，从而露出该对象在该被覆层下方的表面，如此一来，该对象的外露表面与相邻剩余被覆层间的对比外观即形成一标记，因而达成对该对象实施激光标记的目的。形成标记的另一方式是以激光剥蚀一第一或最上层被覆层，进而露出其下方的一第二被覆层，此一外露的第二被覆层与相邻第一被覆层间的对比同样可形成一标记。激光参数是经挑选，以提供均匀且符合市售水平的外观，并避免下层表面受损，同时维持可接受的单位时间系统产出量。在此需特别一提的是，激光脉冲包络线是经量身订做，故一方面可提供理想的外观，一方面则可维持可接受的单位时间系统产出量。
【背景技术】
[0002]市售产品通常均须在产品上设置某种标记以达商业、法规遵循、美观或功能性的目的。“标记”在此定义为一对象表面上的相连区域，且此相连区域与相邻表面形成视觉对t匕。此种标记的理想特征包括外观一致、耐久，以及容易施作。“外观”是指能以可靠且可重复的方式使标记具有所选形状及均匀的颜色与光学密度的能力。“耐久”是指尽管标记表面有所磨损但仍可维持不变的性质。“容易施作”是指制造标记所需的材料、时间与资源成本，包括可程序性。“可程序性”是指可借由改变软件而非改变硬件(例如网版或屏蔽)的方式为一标记装置设定所欲标记的新图案的能力。
[0003]业界特别感兴趣的，是在具有被覆层或涂料的对象上制造标记。以金属或各种塑料制成的对象，通常均以各种工业涂料加以涂装或以其他方式被覆，借以保护并改变对象表面的外观。在对象上制造标记的一理想方式，是以激光剥蚀法去除被覆层上特定图案的区域，从而露出下方的对象表面。制造标记的另一理想方式，是以二层以上的被覆层覆盖一对象，然后以激光剥蚀第一被覆层，从而露出下方的第二被覆层。2008年6月26日公开的第2008/0152859号美国专利申请案(发明人为Masanori Nagai)即说明如何在产品上制造标记，其方法是以激光去除一被覆层以露出其下方的物件。但若想要采用此一方法，被覆层的亮度须大于对象表面的亮度。1992年10月29日公开的第03-150842号日本专利申请案(发明人为Iwasaki Noboru)则说明如何以激光去除一或多层被覆层以露出下方的被覆层。
[0004]上述文献的一共同点在于，为去除一被覆层而不去除该被覆层下方的材料，待去除材料的激光剥蚀底限须低于下方材料的激光剥蚀底限。“激光剥蚀底限”是指去除材料所需的最少能量。所谓去除可指剥蚀，其是以激光将足够的能量输入材料中以使材料解离为电浆；或指透过热能，其基本上是使材料熔化或气化；或为两者之组合。与剥蚀底限相关的另一参数为损害底限。“损害底限”是指使材料外观产生不良变化所需的最少激光能量。材料的损害底限大多低于且有时远低于剥蚀底限。“损害”在此定义为:在以激光去除一对象的最上层被覆层后，对材料外观所造成的任何不良改变，且此一改变对对象本身或下方被覆层有负面影响。
[0005]为能准确且澈底去除材料的顶层而不损及对象表面，激光累积通量须大于上方材料的剥蚀底限且小于下方材料或对象表面的剥蚀或损害底限。在许多情况下，上述差距可能甚小，因此必须精确控制激光累积通量。此外，该等材料的实际剥蚀及损害底限值可能有所差异，须视部位及施作时的些微变化而定。再者，该等材料的实际剥蚀及损害底限值可能为时间的函数；详细的说，在对象的加工过程中，对象或被覆层可能会保留激光去除过程所产生的热能，而此热能则将影响剥蚀或损害底限。因此，虽然选用单一的激光累积通量或可在一特定时间点以特定之激光在一特定对象上制造符合市售水平的标记，但只要对象或被覆层或激光有些许变化，同一制程便可能无法产出所需的结果。“剥蚀目标材料所需之最小累积通量”与“不致伤及下方材料之最小累积通量”的差值称为制程窗口。就制造而言，最好能将一特定对象及标记的制程窗口扩大至可能的最大限度，如此一来便可因应材料与加工系统的变化而不须进行系统调整。系统调整对系统的单位时间产出量将有负面影响。
[0006]此项技艺需要但尚未揭露一种可靠且可重复的材料去除法，其既不会在对象表面残留不应有的材料，亦不须频频调整设备。因此，我们迫切需要一种方法，其能以可靠且可重复的方式，利用激光去除一被覆层而不在其下方材料上残留不应有的材料，从而在一具有被覆层的对象上制造出具有所需外观之标记，同时维持可接受的系统单位时间产出量。
【发明内容】
[0007]本发明的态样是利用一激光标记系统在一具有被覆层的对象上制造具有所需性质的标记。该激光标记系统设有一可控式光束衰减器，此光束衰减器先以一第一衰减位准发射激光束，经过一预定时距后，再将衰减位准改为一第二衰减位准，借以制造具有所需性质的一标记。增设此一可控式光束衰减器便可控制激光累积通量。“累积通量”是定义为施用于单位面积的累积激光能量，其量测单位为焦耳/平方公分。本发明的态样提供一第一激光累积通量，是关于制造一标记并使该标记的一第一部分具有所需的性质。本发明的态样提供一第二激光累积通量，是关于制造一标记并使该标记的一第二部分具有所需的性质。
[0008]若想要以剥蚀方式去除一具有被覆层的对象的顶层被覆层，进而露出一下方层体(可为另一被覆层或该对象的表面)，并借此制造标记，则待剥蚀材料的剥蚀底限须低于下方材料的剥蚀底限。在大多数情况下，选择适当的材料即可达成此一目的。例如，相对于其下方层体，若最上层被覆层或涂料的颜色较深或反射性较低，则此最上层被覆层或涂料将吸收较多的激光能量，且其剥蚀作业的累积通量底限往往低于下方层体。
[0009]为制造具有理想外观的标记，本发明的态样在制造标记时亦将损害底限纳入考虑。为提高制造标记的效率，可调整辐照度(irradiance)，借以将材料去除率最大化而不损及下方的材料。辐照度与工具路径共同决定累积通量，此因辐照度是量测能量施用于对象表面的比率，而工具路径则指出激光束移至标记上各点所需的时间。激光束的辐照度与工具路径的计算值应高于待去除材料的剥蚀底限，并且低于下方材料的损害底限，如此一来便可将激光束相对于对象的移动速度最大化，进而提升单位时间的产出量。然而其困难点在于，上述底限可能在标记制造过程中的不同时间点以及在标记的不同区域内有所不同。某些激光参数虽可在标记的某一区域提供符合市售水平的外观以及可接受的材料去除率与单位时间产出量，但在该标记的另一区域内则有可能损害下方的材料。第2图显示以单一辐照度及单一移动速率对一对象进行激光标记的成果，图中的成果既不均匀亦不符合商业上的要求。创作人虽可选出单一一组可产生符合市售水平的标记的激光参数，但其材料去除率不得超过标记上所有部分的最大可接受去除率，致使单位时间的产出量过低。本发明的态样于各组激光脉冲的初始阶段提供较大的激光累积通量，故可去除使用单一激光累积通量时所可能残留的材料。
[0010]一材料于一特定部位的损害底限不仅取决于当下照射于该部位的激光辐照度，亦取决于近期内已接受的激光辐射量。因此，仅仅量测激光累积通量并无法正确预估激光加工后的材料外观。其原因在于，同一部位或邻近部位先前所接受的照射量往往对材料有加热效果。本发明的态样依据残余加热效果的计算值改变激光累积通量，其做法是提高一组激光脉冲中初始激光脉冲的累积通量，借此补偿因先前激光照射所降低的损害底限。
[0011]本发明的态样可控制多个激光参数，包括激光脉冲参数(如脉冲延时或脉冲重复率)以及工具路径参数(如光点大小、激光束位置、激光束速度)，借以提高一激光标记系统的单位时间产出量，同时避免伤及下方的材料。先选择激光，并选择可提供所需材料去除率的功率、重复率、脉冲时间波形与脉冲延时。接着计算工具路径，即为制造标记而以激光照射对象的各个位置及时间点，如此一来便可一方面提供所需的材料去除率，一方面避免伤及下方的材料。工具路径的一计算项目为后续脉冲在对象上的间距，而控制此间距的方式是改变激光脉冲与对象间的相对运动速度。工具路径的另一计算项目是光点之大小，光点大小可控制辐照度，其控制方式是沿Z轴移动焦点以便聚焦于对象表面之上或下方。工具路径之另一计算项目是计算脉冲位置相邻列的间距。所选用的工具路径将涵盖欲以逐行扫瞄方式制造标记的区域。
[0012]本发明的态样可控制激光装置的输出。为便于应用依本发明所选定的工具路径，激光脉冲累积通量应在激光标记系统的控制下，以极为精密的方式调降。本发明的态样可精密控制激光辐照度，使得依工具路径而制造的标记具有符合市售水平的均匀度、颜色、质感与形状。在此使用一光学开关，以便在不启、闭激光装置的情况下快速启、闭激光束。本发明的态样利用一声光调变器(AOM)精密且迅速地调节光束，使光束照射于对象或以不具伤害性的方式移至束集堆。
[0013]在此改装一现有激光微机械加工系统以实现本发明的态样，此系统原是ElectroScientific Industries 公司(Portland, 0R97229)所生产之 ESI ML5900 激光微机械加工系统。该系统的详细说明请参见上述公司于2009年10月出版的“ESI维修服务手册ML5900”(ESI Service Guide ML5900)，其料号为178472A，该份文件的全文在此以引用的方式并入本文。改装项目包括增加一电光装置，其可以更精密的方式实时控制激光累积通量，同时搭配软件以控制累积通量的变化。
[0014]为实现前述及其他态样，并达成本发明如本文所具体呈现及概述的目的，在此揭露一种方法，其可在一具有被覆层之对象上制造具有所需商业质量的可见标记，本文一并揭露一种可执行上述方法的装置。该方法及装置包括一激光加工系统，该激光加工系统具有一激光装置、激光光学组件及运动平台，上列构件均操作性连接至一储存有预定激光脉冲参数的控制器。所储存的激光脉冲参数是与所需的累积通量有关，而所需的累积通量则取决于标记的哪一区域正在接受加工，如此一来方能使制成的标记具有符合市售水平的性质。【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为工具路径。
[0016]图2为先前技艺的标记。
[0017]图3为先前技艺的激光标记的显微照片。
[0018]图4a为先前技艺的激光脉冲。
[0019]图4b为激光脉冲。
[0020]图4c为激光脉冲。
[0021]图4d为激光脉冲。
[0022]图5为激光标记。
[0023]图6为激光标记之显微照片。
[0024]图7为改装后之激光标记系统。
[0025]图8为脉冲电路。
[0026]图9为脉冲电路。
【具体实施方式】
[0027]本发明的一实施例是利用一激光标记系统在具有被覆层的对象上制造具有所需性质的标记。此激光标记系统具有可控制的激光累积通量或剂量。本发明的实施例决定一第一激光累积通量，此累积通量是关于制造一标记并使该标记的一第一部分具有所需的性质。接着，本发明的态样决定一第二激光累积通量，此累积通量是关于制造一标记并使该标记的一第二部分具有所需的性质。上述累积通量随即储存于该激光标记系统的储存单元中。该激光标记系统将依照指令，在一对象上制造标记，其中该标记的一第一部分是使用已储存的第一激光累积通量，该标记的一第二部分则使用已储存的第二激光累积通量，如此一来便可在该对象上制造出具有所需性质的标记。本发明的实施例借由控制多个激光参数而控制激光累积通量，该等激光参数包括诸如脉冲延时或脉冲重复率等激光脉冲参数，以及诸如光点大小、激光束位置或激光束速度等工具路径参数，期能提高该激光标记系统的单位时间产出量但又不致损及下方的材料。基本上先选择激光，并选择可提供所需材料去除率的功率、重复率、脉冲时间波形与脉冲延时。然后再计算一工具路径，以便一方面达成所需的材料去除率，一方面避免伤及下方的材料。在此需特别一提的是，本发明的特定实施例为一组激光脉冲中的数个初始激光脉冲提供较大的激光脉冲累积通量，借此去除原本可能残留在对象表面上的材料。
[0028]本发明的实施例可控制激光装置的输出。为便于应用依本发明所选定的工具路径，激光脉冲应在激光标记系统的控制下，以极精密的方式减弱。本发明的态样可精密控制激光辐照度，使得依工具路径而制造的标记具有符合市售水平的均匀度、颜色、质感与形状。本发明的态样使用一声光调变器(AOM)，如此一来便可在不须启、闭激光装置的情况下，精密且迅速地调节光束。本发明的一实施例利用AOM调节激光束的累积通量，其做法是透过绕射方式，将激光束从其正常路径导引至一束集堆而非导引至对象表面，激光束的能量可在该束集堆消散而不造成伤害。使用AOM的原因在于其调节激光束的速度极快。而快速调节则对本发明的实施例有利，因为其可使激光标记系统在不干扰激光装置的情况下，迅速且准确启、闭激光束。[0029]如图1所示，一用以去除一对象上的被覆层的工具路径。一物件30上被覆有一被覆层31，该被覆层待去除之部分是位于一具有特定形状的区域32内。激光束沿着工具路径33去除材料的方式如下。激光束自该工具路径的起点34移动至点36(此路线以实线表示)并去除沿途的材料。激光束到达点36后随即关闭，并由激光标记系统重新调整激光束相对于对象的位置(此路线以虚线表示)，使激光束重新启动后可从点38开始去除材料。激光束将持续切割及重新定位，直到抵达终点39为止。如图2所示，以图1所示方式去除材料的成果，图中的对象40具有一被覆层42，且该被覆层在标记44所在区域内的部分已被去除，因而露出下方的材料46。请注意，图中出现些许残留的上方被覆层48。之所以如此，是因所用的特定激光辐照度虽适合去除标记绝大部分区域内的大片材料，但无法在此去除过程的初始阶段有效去除材料，其中辐照度为激光能量施用于对象表面单位面积的比率，单位为瓦/平方公分。针对此一问题，先前技艺的一解决方案是调整累积通量及激光束相对于对象的速度，但单位时间的产出量将随之降低，故并不理想，况且，此一调整动作本身也将对系统的单位时间产出量造成负面影响。图3是一显示上述效果的显微照片。在图3中，对象50具有一银被覆层，而此银被覆层上又涂有一层黑色涂料51。图中的黑色涂层已由激光束去除一区域52内的部分。请注意，在原本应已由激光束去处黑色涂料的区域52内仍有些许残余的黑色涂料54。
[0030]图4a是脉冲能量与时间的关系图，图中显示成组的先前技艺激光脉冲。如图1所示，激光脉冲是于时间点62启动，此时激光束已定位于起点34，而当激光束于时间点64到达该笔刻划动作的终点36时，脉冲也随之结束。待激光束重新定位于点38后，激光脉冲便于时间点66再次启动。然而,具有此一时间剖面的成组脉冲并无法将材料澈底去除。创作人虽可找出一个能去除材料51而不留残迹54的脉冲累积通量，但用以制造图4a标记的激光累积通量已超出该特定对象于该特定时间搭配该特定激光束的制程窗口。为解决上述问题，本发明一实施例的做法是量身订做成组脉冲的时间剖面，使在一笔刻划动作的初始阶段提供更多能量，至于该笔刻划动作的剩余阶段则维持指定的能量。以此方式量身订做成组脉冲的包络线可形成一量身订做的脉冲时间剖面，也就是，令成组脉冲中的初始脉冲具有较高能量，而后续脉冲则具有较低的预选能量，直到该组脉冲结束为止。如此一来便可制造出符合市售水平的标记，同时维持系统的单位时间产出量。此一量身订做的脉冲时间剖面可藉由容许较低的激光累积通量而提供较大的制程窗口，但不会留下残迹。若制程窗口较大，则可降低调整系统的频率，因而提高系统的单位时间产出量。如图4b所示，一量身订做的脉冲时间剖面范例。图4b共显示两组量身订做的脉冲70。成组的脉冲70自时间点74开始共出现三次功率为P2的脉冲72。而自时间点76开始，功率降至P2，此后共出现五次射向工件的脉冲78，最后一次是出现的时间点80。各组脉冲均依此方式量身订做，使在激光束每一笔刻划动作的初始阶段射出预定次数具有预定能量的脉冲。
[0031]如图5所示，一对象100具有一被覆层102，该被覆层已经由激光加工的方式，并利用本发明具体实例中量身订做的成组脉冲去除一具有特定形状的边界104内的部分被覆层106。请注意，图中的标记未出现明显残迹，也无任何一处受损。图6的显微照片显示具有被覆层的一类似对象110，此对象涂有一黑色涂料112，且该黑色涂料已利用本发明的一实施例完成激光加工，将所需区域内的黑色涂料112精确、快速去除，因而露出下方的银漆114。请注意，图中的下层表面显然并无残迹亦未受损。[0032]如图7所示，本发明的一实施例，其为一改装后的ESI ML5900激光微机械加工系统120，此系统经改装后可在对象上制造标记，而改装项目则包括一激光装置122及一 AOM累积通量衰减器124。激光装置122所发出的激光脉冲由一系列反射镜及其他光学组件(图未示)导引至AOM累积通量衰减器124，之后再由另一系列反射镜及其他光学组件(图未示)导引至光学头128。该AOM累积通量衰减器包括控制用电子组件，其可依照控制器140的指令，控制已发出的激光脉冲的累积通量。该光学头则包括X、Y与Z轴方向的运动控制组件130及电流计模块132。上述组件可相互合作，将激光束(图未示)移至一相对于待刻对象138的定位，进而在对象138的表面制造出二维标记。旋转平台组件134是用于固定对象138，并将对象138从装载/卸除位置分度移动至光学头138下方的位置，以便在对象138上制造标记。之后，旋转平台组件134可将对象138移至一非必要的检查站136。对象138在此检查站接受检查后，即被分度移回装载/卸除平台以便卸除。以上所有操作步骤均在控制器140的控制下完成，其中控制器140可协调激光装置122、A0M累积通量衰减器124、运动控制组件130、电流计模块132及旋转平台组件134的动作，借以将适当的激光累积通量导向对象136的适当部位，使制成的标记具有符合市售水平的外观。
[0033]改装后的激光装置122是一二极管激发的掺钕钒酸钇(NchYVO4)固态激光装置，其操作频率为 Spectra-Physics 公司(Santa Clara, California95054)所制造、波长为 355奈米的Vanguard激光装置的三倍。激光装置122的输出功率可高达2.5瓦，但通常是以80百万赫的锁模脉冲重复率运作，此时输出功率约为I瓦。本发明的实施例可使用功率为
0.5至100瓦之激光装置以产生有利的效果，若使用功率为0.5至12瓦的激光装置则更佳。激光重复率可为10千赫至500百万赫，较佳者为I百万赫至100百万赫。激光装置122可与控制器100合作产生延时为约I皮秒(picosecond)至1，000奈秒的激光脉冲，若其延时为100皮秒至I奈秒至100奈秒则更佳。脉冲的时间与空间分布基本上均为高斯分布。运动控制组件130与电流计模块132共同提供光束相对于对象的定位功能。本发明实施例所用的激光光点在对象上的尺寸量测值介于5微米与500微米之间，较佳者则介于10微米与100微米之间。该系统所用的光束速度(亦即激光束与对象间相对移动之速度)是在10公厘/秒至I公尺/秒的范围内，较佳者则在50公厘/秒至500公厘/秒的范围内。激光脉冲相邻列间的距离(或称间距)可介于I微米与250微米之间，较佳者则介于10微米与50微米之间。
[0034]如图8所示，一可使一激光加工系统依本发明实施例运作的电子电路。如图8所不，一来自控制器140的输入信号150代表一笔激光束刻划动作于此开始。此信号大多为一可以电压位准显示TRUE/FALSE的逻辑信号。若输入信号150显示为TRUE (代表一笔刻划动作之开始)，则此信号将传送至AOM控制器162的触发输入端T。此一动作显示AOM处于运作状态，且应对其供电以发射激光脉冲。AOM控制器162另有一模拟电压输入端A,其可令AOM控制器162对AOM (图未不)发出一信号164,借以传递与出现于输入端A的电压成比例的激光能量。触发信号150也将传送至脉冲电路154，使其产生一具有可程序化延时的脉冲。此脉冲经放大器156放大为一可程序化电压位准后，由信号调节滤波器158加以调节，使去除任何不应出现的成份，之后再由加法电路160将此调节后之脉冲与控制器140所输出的原始脉冲电压152结合,并传送至AOM控制器162的输入端A,最后形成传送至AOM(图未不)的输出信号164。[0035]如图4b和4c所示，一激光装置所输出的成组量身订做激光脉冲，其中该激光装置是受控于如图8所示的AOM控制电路。在图4b中，量身订做的成组脉冲70包括位于初始阶段且具有能量Pl的脉冲72，及其余具有能量P2的脉冲78。图4c中成组量身订做的激光脉冲则包括具有能量P3的激光脉冲，该等激光脉冲是因进入图8电路的模拟输入电压152被降至某一位准而产生。请注意，在此实施例中，激光脉冲于刻划动作初始阶段的能量位准系固定不变，且是取决于放大器156的程序设定。
[0036]如图9所示，另一种可使一激光加工系统依本发明实施例运作的电子电路。在此电路中，来自控制器140的触发输入信号170是传送至AOM控制器182的触发输入端T，同时也传送至一脉冲电路172，使该脉冲电路从该触发信号开始时便产生一可程序化延时脉冲。此脉冲随后送往一模拟开关174。模拟开关174也可接收来自控制器140、且由放大器176以可程序化增益放大的模拟信号172。模拟开关174收到来自脉冲电路172的脉冲时便输出该模拟信号。此信号进入信号调节滤波器178以滤除不应出现的成份，然后进入组合器180。该组合器将来自控制器140的原始模拟电压控制信号172与来自信号调节滤波器178的放大信号结合，以形成一模拟控制信号。此模拟控制信号将送往AOM控制器182，并形成输出信号184以输出至AOM (图未不)。上述电路可产生如图4d所不的量身订做脉冲。如图4d所示成组的量身订做脉冲90,其中位于各组脉冲90初始阶段的高能量脉冲92,其能量P4为预定脉冲94的能量P3的预定倍数。
[0037]具备发明所属领域一般技艺者当可轻易了解，本发明上述实施例的细节可以多种方式变化而不脱离本发明的基本原理。因此，本发明的范围应由后附的权利要求书加以界定。
【权利要求】
1.一种利用激光标记系统在样本上制造具有所需性质的激光标记的方法，所述激光标记系统具有脉冲激光束，所述改良包含: 为所述激光标记系统提供可控式光束衰减器；及 令所述可控式光束衰减器以第一衰减位准发射所述激光束，且在预定时距后，将所述衰减改为第二衰减位准，借以制造具有所需性质的激光标记。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述样本被覆有第一与第二层外加被覆层，且所述标记的所述所需性质包含去除所述第一层而不使所述第二层受损。
3.如权利要求1所述的方法，其中所述激光累积通量是介于1.0X 10_6焦耳/平方公分与1.0焦耳/平方公分之间。
4.如权利要求4所述的方法，其中所述可控式光束衰减器包含声光调变器。
5.一种用所需性质标记样本的改良式激光标记装置，所述装置具有激光束，且所述改良包含: 所述激光标记系统设有可控式光束衰减器，其操作上用以将所述激光束减弱至第一衰减位准，且在预定时距后，将所述衰减改为第二衰减位准。
6.如权利要求5所述的装置，其中所述样本被覆有第一与第二层外加被覆层，且所述标记的所述所需性质包含去除所述第一层而不使所述第二层受损。
7.如权利要求5所述的装置，其中所述脉冲累积通量是介于1.0X 10_6焦耳/平方公分与1.0焦耳/平方公分之间。
8.如权利要求5所述的装置，其中所述可控式光束衰减器包含声光调变器。
9.一种利用具有脉冲激光束及可控式光束衰减器的激光标记系统在样本上所制成具有所需性质的标记，所述标记包含: 所述标记的第一部分，是由所述激光标记系统以第一衰减位准标记而成；及 所述标记的第二部分，是由所述激光标记系统以第二衰减位准标记而成。
10.如权利要求9所述的标记，其中所述样本被覆有第一与第二层外加被覆层，且所述标记的所述所需性质包含去除所述第一层而不使所述第二层受损。
11.如权利要求4所述的方法，其中所述可控式光束衰减器包含声光调变器。
【文档编号】B41M5/24GK103764337SQ201180072972
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2011年11月17日 优先权日:2011年11月17日
【发明者】詹姆斯·布鲁克伊塞, 凯勒·巴尔 申请人:伊雷克托科学工业股份有限公司