技术特征：
技术总结
一种硅片沟槽内丝网印刷工艺，步骤依次包括：一次检验、一次印刷前硅片对准、一次印刷、一次烘干、二次检验、二次印刷前硅片对准、二次印刷和二次烘干。本发明的有益效果是：采用丝网印刷的方式实现对硅片沟槽内表面的层处理，相较于原有的电泳钝化层的方式，缩短钝化时间，有效提高生产效率；适合大批量规模化生产；两次印刷能够使槽内玻璃更完整，使沟槽拐角处有玻璃保护，提高产品性能。
技术研发人员：王晓捧;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;武卫;梁效峰;王宏宇;杨玉聪;史丽萍;徐艳超;甄辉;齐风;董文一
受保护的技术使用者：天津环鑫科技发展有限公司
技术研发日：2017.07.26
技术公布日：2019.02.05