专利名称：一种太阳能硅片丝网印刷机uvw定位平台补偿装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能硅片丝网印刷机，尤其是涉及一种太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置。
背景技术：
生产晶体硅太阳能电池最关键的步骤之一是在硅片的正面和背面制造非常精细 的电路，将光生电子导出电池。此工艺通常都需要用到丝网印刷机，其将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在硅片上形成电路或电极。请参见图3。由于在印刷前需要定位硅片，因此丝网印刷机通常都具有一个在UVW坐标系内定位硅片的UVW定位平台补偿装置，其中，U、V、W分别表示三维坐标系的一个坐标方向。UVW定位平台补偿装置包括用于固定硅片的定位平台81、与定位平台连接且用于调整定位平台U坐标方向精度的U轴82、与定位平台连接且用于调整定位平台V坐标方向精度的V轴83和与定位平台连接且用于调整定位平台W坐标方向的W轴84。现有太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置的定位过程如下利用高精度视觉系统对被测物进行测量，得出与丝网标准点的偏移位置，然后再由U轴电机、V轴电机、W轴电机(伺服或直线或步进)驱动U轴、V轴、W轴调整定位平台的位置从而实现对定位平台进行定位。U轴电机、V轴电机和W轴电机均可为伺服电机、直线电机或步进电机。但是，现有太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置的定位精度不高。
实用新型内容本实用新型为了解决现有技术太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置的定位精度不高的技术问题，提供了一种太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为设计一种太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置，包括定位平台、与定位平台连接且用于调整定位平台U坐标方向精度的U轴、与定位平台连接且用于调整定位平台V坐标方向精度的V轴和与定位平台连接且用于调整定位平台W坐标方向精度的W轴；所述太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置还包括三个分别与U轴连接、与V轴连接、与W轴连接且可分别调整定位平台U坐标方向精度、V坐标方向精度和W坐标方向精度的压电补偿装置，所述压电补偿装置包括压电元件和用于调整压电元件两端控制电压的控制电路。所述压电元件包括第一压电元件和第二压电元件，所述控制电路包括与第一压电元件连接的用于调整第一压电元件控制电压的第一控制电路和与第二压电元件连接的用于调整第二压电元件控制电压的第二控制电路，所述压电补偿装置还包括设于第一压电元件与第二压电元件之间的中间层。本实用新型首先通过U轴、V轴和W轴来调整定位平台，然后再通过设置的压电补偿装置来进一步精确调整定位平台，从而通过二次调整使得定位精度更高。
[0007]下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中图I是本实用新型太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置的原理示意图；图2是本实用新型太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置的压电补偿装置的实施例原理图；图3是现有技术太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置的原理图。
具体实施方式
请参见图I和图2。本实用新型太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置包括定位平台(图中未示出)、U轴I、V轴2、W轴3、压电补偿装置4和高精度视觉系统5。其中 U轴I与定位平台连接且用于调整定位平台U坐标方向精度，V轴2与定位平台连接且用于调整定位平台V坐标方向精度，W轴3与定位平台连接且用于调整定位平台W坐标方向精度。压电补偿装置4包括三个，分别与U轴连接、与V轴连接、与W轴连接且可分别调整定位平台U坐标方向精度、V坐标方向精度和W坐标方向精度。压电补偿装置包括压电元件和用于调整压电元件两端控制电压的控制电路。具有压电效应的材料称为压电元件(Piezoelectric materials),这类元件大多是陶瓷(金属氧化物)LiNb03、TiBa03,因此又称为压电陶瓷(Piezoelectric ceramics)。压电元件在外加电压时会改变压电元件材料长度，相反的，改变材料长度也会改变电压。压电元件在供应直流电压时，压电元件会产生位移，其位移计算公式为位移=长度*张力；张力=压电材料常数*电场。压电元件及压电元件的特性均为现有技术，本实用新型主要在于将压电元件应用于太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置来微调精度。在本具体实施例中，压电补偿装置包括第一压电元件41、第二压电元件42、与第一压电元件连接的用于调整第一压电元件控制电压的第一控制电路43、与第二压电元件连接的用于调整第二压电元件控制电压的第二控制电路44和设于第一压电元件与第二压电元件之间的中间层45。其中，第一压电元件41和第二压电元件42构成压电元件，第一控制电路43和第二控制电路44构成控制电路。中间层45为刚性材料制作，主要用于调整压电元件的初始厚度等。安装时，工作面46分别与U轴、V轴、W轴的工作面连接。当然，也可以不设置中间层，仅用一个压电元件和一个控制电路来实现。工作时，第一控制电路43控制加在第一压电元件41上的控制电压，第二控制电路44控制加在第二压电元件42上的控制电压，从而使得第一压电元件和第二压电元件之间产生电场，根据压电兀件的特性，第一压电兀件和第二压电兀件会产生相应的伸缩或位移，完成对U轴、V轴和W轴的高精度补偿，从而实现对定位平台的高精度定位，满足非晶硅片多次印刷的需要。本实用新型首先通过U轴、V轴和W轴来调整定位平台，然后再通过设置的压电补偿装置来进一步精确调整定位平台，从而通过二次调整使得定位精度更高。本实用新型通过压电元件的使用，提高了现有太阳能硅片丝网印刷机的定位精度，为4次甚至5次印刷提供了有效的技术保证。其次补偿装置采取背靠背的机构设计和特定的控制方式，使得补偿机构能对U轴、V轴、W轴前后方向都能进行补偿。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型 的保护范围之内。
权利要求1.一种太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置，包括定位平台、与定位平台连接且用于调整定位平台U坐标方向精度的U轴、与定位平台连接且用于调整定位平台V坐标方向精度的V轴和与定位平台连接且用于调整定位平台W坐标方向精度的W轴；其特征在于所述太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置还包括三个分别与U轴连接、与V轴连接、与W轴连接且可分别调整定位平台U坐标方向精度、V坐标方向精度和W坐标方向精度的压电补偿装置，所述压电补偿装置包括压电元件和用于调整压电元件两端控制电压的控制电路。
2.根据权利要求I所述的太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置，其特征在于所述压电元件包括第一压电元件和第二压电元件，所述控制电路包括与第一压电元件连接的用于调整第一压电元件控制电压的第一控制电路和与第二压电元件连接的用于调整第二压电元件控制电压的第二控制电路，所述压电补偿装置还包括设于第一压电元件与第二压电元件之间的中间层。专利摘要一种太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置，其包括定位平台、与定位平台连接且用于调整定位平台U坐标方向精度的U轴、与定位平台连接且用于调整定位平台V坐标方向精度的V轴和与定位平台连接且用于调整定位平台W坐标方向精度的W轴；所述太阳能硅片丝网印刷机UVW定位平台补偿装置还包括三个分别与U轴连接、与V轴连接、与W轴连接且可分别调整定位平台U坐标方向精度、V坐标方向精度和W坐标方向精度的压电补偿装置，所述压电补偿装置包括压电元件和用于调整压电元件两端控制电压的控制电路。本实用新型首先通过U轴、V轴和W轴来调整定位平台，然后再通过设置的压电补偿装置来进一步精确调整定位平台，从而通过二次调整使得定位精度更高。
文档编号H01L31/18GK202378391SQ20112052581
公开日2012年8月15日 申请日期2011年12月15日 优先权日2011年12月15日
发明者彭劲, 磨建新 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司