硅片印刷定位装置的制作方法

文档序号:7189004阅读:402来源:国知局
专利名称:硅片印刷定位装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种硅片印刷定位装置。
背景技术
目前,随着经济的发展,人们生活水平越来越高,对能源需求越来越多,同时对环
境保护带来更大的压力,为解决这个问题,越来越多的国家出台财政补贴政策,鼓励使用清 洁可再生资源,太阳能光伏行业得到了快速的发展。太阳能电池片印刷定位系统大多采用4 组电荷耦合器件(CCD),检测四条边的中心位置,难以检测到微小的旋转和移动误差,导致 印刷精度不高。

发明内容本实用新型的目的是提供一种太阳能电池印刷定位装置。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是工作台上方有网版,五组单向 电荷耦合器件(CCD)安装于工作台下,并分布于四边形或倒角四边形的四条边上,有两组 单向电荷耦合器件(CCD)分布于所述四边形或倒角四边形的一条边上,有三组电荷耦合器 件(CCD)分别在四边形或倒角四边形的三条边上,用于检测硅片的旋转误差和移动误差。 安装新网版时,整个工作台上升,CCD获取网版图案位置并保存。硅片送入工作台, CCD系统捕捉硅片边位置,计算与网版位置之间关系,驱动动三维自动调节工作台运行,实 现自动定位。 定位过程CCD1配合CCD2检测硅片旋转角9 ,再配合CCD3、 CCD4、 CCD5检测位置
偏差和尺寸公差,网版第一次印刷靠人工调整,调整后固定。根据偏差驱动工作台移动X、
Y、 9三个变量达到预定位置。使网版与硅片完全对中,达到定位的目的。 控制系统采用工业控制电脑,Windows程序控制系统,人机操作界面,设有多种
印刷模式,工艺技术人员也可设置多种模式自动保存,供不同的生产条件自由选择。 工作台移动采用滚珠丝杆与伺服驱动相结合的闭环回路控制。工作台设具有吸附
功能的顶针。 本实用新型的有益效果是,由于采用五组CCD,可以防止太阳能电池片在印刷前的 定位产生旋转和移动偏差,其定位精确、快速。

图1是本实用新型的示意图。 图2是硅片之一CCD分布示意图。 图3是硅片之二 CCD分布示意图。 图中1.电荷耦合器件(CCD) ,2.网版,3.硅片,4.工作台。[0014] 由图1至图3可知,五组单向电荷耦合器件安装于工作台下的一个平面,工作台上 方有网版,两组单向电荷耦合器件安装于四边形或倒角四边形的一条边上,以分别靠近两 端的拐点2mm处,三组电荷耦合器件分布于其余三条边并以在中点处为最优,用于检测硅 片的旋转误差和移动误差,用以控制工作台对硅片进行定位。 用于检测平面的旋转角度安装新网版时,整个工作台上升,CCD获取网版图案位置 并保存。硅片送入吸气工作台,CCD系统捕捉硅片边位置,计算与网版位置之间关系,驱动 动三维自动调节工作台运行,实现自动定位。CCD :1024X1280 ;视区7X5mm ;定位精度《0. 03mm 定位过程CCD1配合CCD2检测硅片旋转角9 ,再配合CCD3、 CCD4、 CCD5检测位置 偏差和尺寸公差,(网版第一次印刷靠人工调整,调整后固定。根据偏差驱动工作台移动X、 Y、 9三个变量达到预定位置。使网版与硅片完全对中,达到自动定位的目的。 关于CCD往复运行精度对定位的影响采用滚珠丝杆与伺服驱动相结合的闭环回 路控制,重复定位精度保证在士0.015mm,只要标记在CCD的视野范围内,对定位结果影响 不明显。因为双向定位,CCD先取网版图案图像(相当于每次都重新定义定位基准)。 采用工业控制电脑,Windows程序控制系统,人机操作界面,设有多种印刷模式,工 艺技术人员也可设置多种模式自动保存,供不同的生产条件自由选择。 工作台对位系统 a.工作台对位结构CCD自动摄取硅片图像,直线电机驱动工作台对位系统。 b.吸附与吹附自动吸附固定硅片印刷,套色准确。自动吹附,方便人工取放硅 片。
c.工作台升降结构工作台升降高度为伺服驱动,升降高度精密,数字设定。
d.工作台顶针结构硅片上下料采用驳叉顶针结构,顶针设计安装在工作台上, 全部顶针均具吸附功能。
权利要求一种硅片套印定位装置,其特征是上方有网版,下方有工作台,在网版和工作台之间装有移动导轨,四组双向电荷耦合器件安装于移动导轨上,用于分别检测已印栅线和网版的位置以控制工作台移动。
2. 如权利要求1所述的硅片套印定位装置,其特征是工作台移动采用滚珠丝杆与伺 服驱动相结合的闭环回路控制。
3. 如权利要求l所述的硅片套印定位装置,其特征是工作台设具有吸附功能的顶针。
4. 如权利要求1所述的硅片套印定位装置,其特征是采用工业控制电脑。
专利摘要一种硅片印刷定位装置,工作台上方有网版,五组单向电荷耦合器件(CCD)安装于工作台下,并分布于四边形或倒角四边形的四条边上,有两组单向电荷耦合器件(CCD)分布于所述四边形或倒角四边形的一条边上,有三组电荷耦合器件(CCD)分别在四边形或倒角四边形的三条边上,用于检测硅片的旋转误差和移动误差,对硅片进行定位。
文档编号H01L21/68GK201466047SQ200920065130
公开日2010年5月12日 申请日期2009年4月27日 优先权日2009年4月27日
发明者娄志林, 张恩理 申请人:湖南天利恩泽太阳能科技有限公司
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