专利名称：电子束曝光过程实时显示系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子束曝光过程实时显示系统。
背景技术：
在普遍使用的电子束曝光机中，需要对电子束曝光机的图形发生器输出的扫描图象信号进行实时显示，以判断输出信号的正常与否和曝光进展情况。传统上有两种显示曝光过程的方式。第一种是采用CRT阴极射线管来显示电子束曝光过程中的扫描信号图形。使用这种方式，随着电子束曝光扫描过程的进行，不断地把图形发生器的输出的扫描电压信号加到CRT上，在CRT对应的位置出现荧光亮点而形成曝光图形。由于在同一个曝光场中每个点仅扫描一次，所以前面曝光完成的部分场的图像会在CRT显示屏上逐渐淡化消失。因此在CRT上始终看不到曝光场的整个图像，而且CRT显示器的体积庞大，耗电也高。第二种是采用两个联排的条形发光二极管(LED)指示灯来显示图形发生器输出扫描图象信号的过程。就是当X方向扫描信号从-5V到+5V的变化过程中，即它控制线圈从左向右扫描时，通过电路中比较器的作用，逐个点亮条形指示灯组中的某个发光二极管。这样通过LED灯光左右移动来显示图形发生器X方向输出电压的大小变化，Y方向同理。这种设计结构不能直接看到图形发生器输出的图形，所以难以用来直观判断图形发生器输出的图形信号是否真的正常。
发明内容
为了克服上述电子束曝光过程显示的缺点，本发明提出了一种电子束曝光过程实时显示系统。与现有的电子束曝光显示方法相比较具有体积小，重量轻，功耗微小。既可以实时跟踪显示正在曝光的图形，同时又可以在电子束曝光过程中完整的保持图象的显示，而且图象质量比CRT显示的更清晰。通过此实时显示系统能够观察到电子束曝光过程中场矫正的工作情况。
本发明采用的技术方案本发明由输入电源及其旁路电容组单元、单片机控制单元、X模数转换和隔离单元、Y模数转换和隔离单元、译码与组合逻辑单元、串口通讯单元、彩色液晶显示单元等7个部分组成。输入电源及其旁路电容组单元中JP-POWER插座的第一管脚与单片机控制单元、X模数转换和隔离单元、Y模数转换和隔离单元、串口通讯单元、译码与组合逻辑单元中芯片U1～U8的+5V电源输入管脚连接。JP-POWER插座的第三管脚与X模数转换和隔离单元、Y模数转换和隔离单元中的模数转换芯片AD571的-15V电源输入管脚连接。JP-POWER插座的第五管脚与彩色液晶显示单元第18、19、20管脚连接。X模数转换和隔离单元、Y模数转换和隔离单元通过U4、U5的B端数据线D7～D0与单片机控制单元的数据总线连接；单片机控制单元通过U1第4管脚与X模数转换和隔离单元中U2、Y模数转换和隔离单元中U3的第11管脚相连接；U8输出引脚1连接U1的5脚，U7的6脚连接U8B的5脚，单片机控制单元的16脚连接U8的6脚，U8的输出引脚4连接彩色液晶显示单元中J7的13脚；译码与组合逻辑单元通过高位地址线A15、A14与单片机控制单元中U1的第27、28管脚连接，作为译码和组合逻辑单元的信号输入端。译码与组合逻辑单元中U7的第4、5管脚依次连接X模数转换和隔离单元中U4、Y模数转换和隔离单元中U5的第19管脚。译码与组合逻辑单元中U7的第6管脚要和单片机控制单元中U1的第16管脚依次接入译码与组合逻辑单元中U8第5、6管脚；U8输出端4接彩色液晶显示单元输入端13；译码与组合逻辑单元中U8输入端2、3与X模数转换和隔离单元中U2、Y模数转换和隔离单元中U3第17管脚连接。U8输出端1连接到单片机控制单元中U1第5管脚。
本发明首先是通过输入电源及其旁路电容组单元给整个实时显示系统的其它功能单元上电。当单片机控制单元复位结束后整个系统进入正常工作状态。此时从电子束曝光机图形发生器的输出适配器获得的X、Y输入扫描信号到达X、Y模数转换和隔离单元的模拟信号输入端。当束闸处于开启状态时，在单片机控制单元的控制下首先启动X、Y模数转换和隔离单元的模数转换器AD571，进行模数转换。X、Y模数转换结束后，转换的坐标结果保持在AD571的输出端，但被收发器74LS245暂时隔离。下一步单片机控制单元通过控制译码和组合逻辑单元产生片选信号CSX、CSY。依靠这2个片选信号单片机控制单元把转换好的数据依次读入CPU。经过CPU内部的坐标转换运算后生成适合在彩色液晶显示单元屏幕上显示的绘图坐标数据。单片机控制单元再次利用译码和组合逻辑单元产生对彩色液晶显示单元有效的WRCS片选信号。在此信号的控制下把绘图坐标通过数据总线发送给彩色液晶显示单元并在液晶屏幕当前坐标位置描点。这样就完成了一次的描点操作。随着电子束曝光过程的进行，不断重复上面的数据采集、转换、坐标变换和描点过程，在液晶屏幕上就描绘出了曝光图形。
图1电子束曝光过程实时显示系统结构图；图2输入电源及其旁路电容组单元电路图；图3单片机控制单元电路图；图4X模数转换和隔离单元、Y模数转换和隔离单元电路图；图5译码与组合逻辑单元、串口通讯单元、彩色液晶显示单元电路图；图6是本发明实时显示的控制流程图。
具体实施例方式
以下结合附图和具体实施方式
详细说明本发明。
图1为本发明总的组成结构框图。如图1所示本发明由输入电源及其旁路电容组1、单片机控制单元2、X模数转换和隔离单元3、Y模数转换和隔离单元4、译码与组合逻辑单元5、串口通讯单元6、彩色液晶显示单元7等7个部分组成。其中X模数转换和隔离单元3、Y模数转换和隔离单元4及彩色液晶显示单元7均通过数据总线与单片机控制单元2相连接。单片机控制单元2通过地址总线与译码与组合逻辑单元5连接。
单片机控制单元2通过串口通讯单元6的RS232串口模式来完成对LCD进行预置图象的下载操作。
图2为输入电源及其旁路电容组单元1。实时显示系统使用的输入电源由DC+5V、DC+12V两种直流开关电源组成。-15V采用模拟电源供电。
在三路电源进入本发明的电路板接线端子JP-POWER后，立即各自经过独立的一组旁路电容。如图2所示，其中C18、C20、C21容值为30PF；C17、C19、C22为0.1μF；C14、C15、C16为10μF。其中10μF电容为有极性电解电容，耐压25V。输入电源及其旁路电容组单元1中JP-POWER插座采用管脚间距为2.54mm的6针插座。此JP-POWER插座的第1管脚为VCC，即+5V、第3管脚为-15V、第5管脚为12V。此插座的第一管脚VCC即+5V端点连接电容C15、C21、C22的一个管脚；其中连接电容C15的是与C15的正极性端连接；JP-POWER插座的第三管脚连接电容C14、C19、C20的一个管脚，其中连接电容C14的是与C14的正极性端连接JP-POWER插座的第五管脚连接电容C16、C17、C18的一个管脚，其中连接电容C16的是与C14的正极性端连接；而JP-POWER插座的第2、4、6管脚接地。
输入电源及其旁路电容组单元1与其它单元电路的连接方式JP-POWER插座的第一管脚即+5V端点与U1的第40管脚、U2和U3的第40管脚、U4和U5的第20管脚、U6的第16管脚、U7的第16管脚、U8的第14管脚相连接。JP-POWER插座的第三管脚即-15V端点与U2、U3的第12管脚连接。JP-POWER插座的第五管脚即+12V端点与LCD的第18、19、20管脚连接。C6、C7、C8、C9、C10、C11、C12、C13均是一端接VCC，一端接地，且都是104规格的磁片电容。
其中JP-POWER插座的第一管脚负责为集成电路U1～U8提供+5V电源；同时U2、U3还需要JP-POWER插座的第三管脚提供的-15V作为AD571双极性输入的必要条件。JP-POWER插座的第5管脚负责为LCD电路提供+12V电源。输入电源旁路滤波电容组用以对显示系统供电的电源进行滤波，消除电网和开关电源引入的纹波和高频干扰对电子束曝光信号的影响。旁路电容C6～C13尽量安排在靠近集成电路芯片U1～U8电源引脚的位置，其作用是进一步滤波，可以提高集成电路芯片的工作稳定性。电容种类可以采用独石电容。
在本发明中集成电路控制板耗散功率为0.5W，彩色液晶显示单元需要的电源电压为DC+12V，最大耗散功率为6W。
图3是单片机控制单元2。它包括89C52单片机、外部振荡电路、上电复位和外部手动复位电路等。
单片机控制单元2的内部U1即89C52单片机的外部振荡电路由第18、19管脚分别接24MHz晶振的两个管脚之一，没有次序要求；以及C2、C3跨接在此晶振管脚和数字地之间。复位电路是由外部复位插座J8、内部复位开关S1、电阻R1、R2、极性电解电容C1组成。J8的第二管脚、S1的一端和C1的正极性端连接VCC。J8的第一管脚、S1的另一端和电阻R2的一端连接。电阻R2的另一端、电容C1的负极性端和R1的一端相连接。而R1的另一端接数字地。控制插座J9的第4管脚连接U1的第6管脚；J9的第1管脚连接U1的第7管脚。U1的第31管脚与VCC连接。
单片机控制单元2与其它单元电路的连接方式U1的39～32管脚是数据总线，依次与U4和U5的18～11管脚相连接，同时也依次与LCD的第12～5管脚连接。U1的第11管脚作为串行数据输出端与U8的第11管脚连接。U1的第16管脚作为地址总线的写控制端与U8的第6管脚连接。U1的第27、28管脚作为地址总线的高位寻址端依次与U8的第2、3管脚连接。作为IO控制端，U1第1、2、8管脚依次与LCD第17、4、3管脚相连；U1第3管脚与U6第13管脚相连接；U1第4管脚与U2及U3的第11管脚相连；U1第5管脚与U8的第1管脚相连。
单片机控制单元2使用的控制模块是ATMEL公司的89C52单片机。它具有8K容量可擦写FLASH存储器，便于反复调试编程。本控制单元2负责AD转换的控制、数据的处理和对液晶显示的控制。在上述电源给系统加电时，单片机系统是通过上电复位电路自动进行上电复位操作。外部晶振选用的是24M的石英晶体振荡器，C2及C3采用30pF的高速电容。通过与单片机内部的振荡器构成的并联谐振电路形成了一个完整的振荡信号发生器。这样得到单片机的机器周期为0.5微秒。提高了实时显示系统的数据处理速度。单片机89C52的外部时钟使用24M的石英晶体振荡器。接线柱J8用于插接远端手动复位按钮的导线。S1作为板上复位按钮，同样可以使本显示系统复位。C1为上电复位和手动复位时放电电容，容值选用10μF。
图4是X、Y模数转换和隔离单元3和4。
X模数转换和隔离单元3中模拟信号输入插座J1第1管脚连接可调电位器VR1的第1管脚VR1的第二管脚连接U2即AD571的13管脚；J1的第二管脚、VR1的第三管脚及U2的14管脚相连，形成模拟地。U2数字量输出管脚2～9依次连接U4的输入管脚2～9，即与U4的A端数据线相联。U4的第1管脚接VCC。
Y模数转换和隔离单元4中模拟信号输入插座J2第1管脚连接可调电位器VR2的第1管脚VR2的第二管脚连接U3即AD571的13管脚；J2的第二管脚、VR2的第三管脚及U3的14管脚相连，形成模拟地。U3数字量输出管脚2～9依次连接U5的输入管脚2～9，即与U5的A端数据线相连接。U5的第1管脚接VCC。
U4的B端数据线和U5的B端数据线均与单片机控制单元[2]中U1的系统数据总线相连接。
X、Y两个方向模数转换和隔离单元采用相同的功能结构，但译码和IO控制是独立的；这可以从U4和U5的19管脚采用不同的片选信号得到。在X、Y模数转换和隔离单元中可调电位器VR1和VR2的作用是调节输入信号的幅度，以使本系统可以方便地在不同的电子束曝光机图形发生器中使用。U2、U3是AD571模数转换器件，它是8位双列直插封装逐次逼近型ADC。它将D/A转换电路、基准电压、时钟、比较器、逐次逼近寄存器以及输出缓冲器等集成在一个芯片上，并具有三态输出能力。信号通过电位器比例运算后进入模数转换芯片U2、U3。控制单元2采取适当的驱动信号就可以启动模数转换过程。U4、U5是74LS245透明传输型收发器，用来隔离模数转换单元3、4和数据总线的连接。只有控制单元2向模数转换单元3、4请求转换结果时U4、U5才按照顺序打开输出端口，通过数据线依次向CPU发送数据。
图5是串口通讯单元5、译码单元6和彩色液晶显示单元7。译码单元6由译码器74LS139和一个74LS02或非门组成，U7为74LS139译码器，U8为74LS02或非门，完成对U4、U5和彩色液晶显示单元LCD的选通。译码单元6中U7第6管脚CSLCD连接U8第5管脚。译码单元6与其它单元的连接方式U8第4管脚与LCD第13管脚连接，作为LCD片选信号。U7第4、5管脚依次与模数转换和隔离单元3及模数转换和隔离单元4的U4及U5的第19管脚连接。U8第2、3管脚依次与模数转换和隔离单元3的U2及模数转换和隔离单元4的U3的第17管脚连接，U7第1管脚接地。
串口通讯单元5采用MAX232串口通讯芯片，用来完成通过串口对LCD进行预置图象的下载操作。串口通讯单元5中串口通讯单元5中U6的1引脚和C4的正极性端连接，U6的3引脚和C4的负极性端连接。U6的4引脚和电容C5的正极性端连接，U6的5引脚和电容C5的负极性端连接。电容C4，C5采用10μF/50V极性电解电容。串口通讯单元的输入端51DTR、TXD与单片机控制单元的U1的第3、11管脚连接。作为RS232串行输出，U6第12管脚连接彩色液晶显示单元LCD第15管脚；U6第14管脚连接彩色液晶显示单元LCD第14管脚。
彩色液晶显示单元是由TFT型256色LCD组成。彩色液晶显示单元7LCD的第1、2管脚接地。彩色液晶显示单元[7]的数据线和系统数据总线相连接。单片机利用液晶显示单元的BUSY和LCDINT管脚信号作为握手信号，通过数据总线向彩色液晶显示单元7传输绘图指令。
图6是本发明中实时显示过程中软件控制流程图。如图所示，本发明的工作过程为开始框下面的第一个过程框是单片机控制单元2进行初始化彩色液晶显示器，其中包括进行该液晶显示屏的前景和背景色的设置、实时显示图象区域和非图象区的划分、说明文字的显示等。这个初始化的过程首先是单片机控制单元2的U1通过高位地址线A15A14发出地址信号给译码和组合逻辑单元6。然后把初始化时需要的指令数据加载到Po端口的数据线上。当U1发出WR信号后，彩色液晶显示单元7接收并执行初始化指令数据。在下面一个过程框是对NUM进行清零，NUM是电子束的束闸开关计数器。完成上述初始化后系统开始检测电子束曝光机的束闸信号的开关状态。只有在束闸信号为高电平时电子束曝光机才曝光，这也是本发明开始采样和转换外部输入信号的必要条件。为了避免对扫描电镜造成干扰，本发明的输入信号是从适配器的前级采用跟随器截取得到的。
如果控制单元2检测到束闸信号为高电平，即束闸开状态，则图3控制单元的CPU通过第4脚BXY向图4中X、Y模数转换和隔离单元3、4的U3及U4的11管脚同时发送低电平并保持来启动AD采样和转换过程。同时触发的优点是确保转换得到的XY数据是扫描场中的同一个点的坐标。接下来的决策框用来等待和判断X、Y两个方向的AD转换过程是否结束，这个过程是通过CPU循环检测实现的。当图4中X、Y两个方向的AD571的17脚DATrdy都变低时才认为转换结束。为了避免由于器件本身的差异造成的虽然同时触发转换，可能不会同时在标称的25微秒内完成转换的问题，因此X、Y两个方向的AD571的17脚要通过图5中译码单元6的或非门U8A的“与”的运算后传给图3中CPU的第5脚XYRD。当控制单元2在U1的XYRD管脚检测到低电平后进入到下面的“读取X、Y方向转换结果”过程框。
如图6所示，因为U4、U5都挂接在同一个数据总线上，所以转换结果的读取是顺序进行的，。首先控制单元2的CPU采用高位译码(A15，A14)，通过地址译码单元6中的74LS139的第4脚输出片选信号选中U4芯片的使能端。这个操作将导致X模数转换和隔离单元3中转换好的数据穿过U4出现在CPU数据总线上。在随后的时序中CPU从数据总线上获得此有效数据。采用同样方式利用74LS139第5脚的片选信号获得Y模数转换和隔离单元4中的转换结果数据。下一步是清除模数转换允许位。操作是通过对图3中控制单元2的U1第四管脚P1.3置位实现的，目的是为下一次转换作好准备。
“XY坐标转换到230×230点阵”过程框是指图3中控制单元2的CPU把前面获得的XY方向的数字量变换成液晶屏幕上230×230点阵区域的对应点的坐标，其坐标系采用右手坐标系。图6中下面的“坐标点是否出界？”决策框是用来防止把图形绘制到非显示区，保持显示界面的完整。如果坐标点没有出界，则进入下一个过程框“驱动LCD在对应位置画点”。如果坐标点的坐标值超出230×230，则放弃本次结果，开始下一次转换过程。驱动过程如下所述。
由于彩色液晶显示单元7的片选信号WRCS是上升沿有效的输入信号，因此本发明中利用控制单元2中CPU的CS和WR信号相或非的逻辑运算结果来实现对液晶显示单元7的寻址。单片机通过外部RAM传送指令把液晶显示专用画点指令字节依次下传给液晶显示单元7。这样在彩色液晶屏幕上相应坐标位置描绘出正在曝光的点。
随着电子束扫描曝光的进行，通过不断采集转换和在液晶屏幕上绘制XY坐标位置，最终完成曝光图形在液晶屏幕上的实时绘制过程。图6控制流程图显示了这个实时显示流程。
图6所示的“束闸开？”决策框的“否”分支是用来记录已经检测到的束闸未开的次数。在曝光中可以利用它来判断分场曝光的开始与结束。根据实际的曝光过程，当NUM数值达到0×04FF时，说明上一个子场曝光结束了。清除液晶屏幕，为下一次曝光做好准备。当控制单元2再次检测到束闸开的状态时标志着下一个子场的曝光开始。
在本发明电子束曝光过程实时显示系统组装过程中使用的DC+5V、DC+12V直流电源的纹波小于50mV。模拟电源-15V的纹波小于1mV。上电过程通过单片机控制单元2的合理操作保证彩色液晶显示单元7首先初始化就绪，然后进入信号处理状态。必要时可以通过按压与单片机控制单元(2)中J8连接的外部复位按钮使电子束曝光机实时显示系统重新启动。
本发明可以应用于各种电子束曝光机的曝光扫描过程的实时显示。不仅可以完整清晰地显示正在曝光的图形，而且通过图象的显示可以观察到电子束曝光机图形发生器输出的主场扫描D/A，工件台位置偏差补偿(LBC)和旋转场D/A等信号的实际场矫正的综合作用状况。即可以用本系统来定性地判断电子束曝光机图形发生器输出的信号的正确性。本发明也可以应用于离子束曝光刻蚀系统中的扫描过程显示。
权利要求
1.一种电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于它由输入电源及其旁路电容组单元[1]、单片机控制单元[2]、X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单[4]、译码与组合逻辑单元[5]、串口通讯单元[6]、彩色液晶显示单元[7]等7个部分组成；输入电源及其旁路电容组单元[1]中JP-POWER插座的第一管脚与单片机控制单元[2]、X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]、串口通讯单元[5]、译码与组合逻辑单元[6]中芯片U1～U8的+5V电源输入管脚连接；JP-POWER插座的第三管脚与X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]中的模数转换芯片AD571的-15V电源输入管脚连接；JP-POWER插座的第五管脚与彩色液晶显示单元[7]第18、19、20管脚连接；X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]通过U4、U5的B端数据线D7～D0与单片机控制单元[2]的数据总线连接；单片机控制单元[2]通过U1第4管脚与X模数转换和隔离单元[3]中U2、Y模数转换和隔离单元[4]中U3的第11管脚相连接；U8输出引脚1连接U1的5脚，U7的6脚连接U8的5脚，单片机控制单元[2]的16脚连接U8的6脚，U8的输出引脚4连接彩色液晶显示单元[7]中J7的13脚；译码与组合逻辑单元[6]通过高位地址线A15、A14与单片机控制单元[2]中U1的第27、28管脚连接，作为译码和组合逻辑单元[6]的信号输入端；译码与组合逻辑单元[6]中U7的第4、5管脚依次连接X模数转换和隔离单元[3]中U4、Y模数转换和隔离单元[4]中U5的第19管脚；译码与组合逻辑单元[6]中U7的第6管脚要和单片机控制单元中U1的第16管脚依次接入译码与组合逻辑单元[6]中U8第5、6管脚；U8输出端4接彩色液晶显示单元[7]输入端13；译码与组合逻辑单元[6]中U8输入端2、3与X模数转换和隔离单元[3]中U2、Y模数转换和隔离单元[4]中U3第17管脚连接；U8输出端1连接到单片机控制单元[2]中U1第5管脚。
2.按照权利要求1所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于所述的输入电源及其旁路电容组单元[1]JP-POWER插座采用管脚间距为2.54mm的6针插座，此插座的第一管脚VCC即+5V端点连接电容C15、C21、C22的一个管脚；其中连接电容C15的是与C15的正极性端连接；JP-POWER插座的第三管脚连接电容C14、C19、C20的一个管脚，其中连接电容C14的是与C14的正极性端连接；JP-POWER插座的第五管脚连接电容C16、C17、C18的一个管脚，其中连接电容C16的是与C14的正极性端连接；其中C18、C20、C21容值为30PF；C17、C19、C22为0.1μF；C14、C15、C16为10μF；JP-POWER插座的第二、四、六管脚接地；输入电源及其旁路电容组单元[1]与其它单元电路的连接方式为JP-POWER插座的第一管脚即+5V端点与U1的第40管脚、U2和U3的第40管脚、U4和U5的第20管脚、U6的第16管脚、U7的第16管脚、U8的第14管脚相连接；JP-POWER插座的第三管脚即-15V端点与U2、U3的第12管脚连接；JP-POWER插座的第五管脚即+12V端点与LCD的第18、19、20管脚连接；C6、C7、C8、C9、C10、C11、C12、C13均是一端接VCC，一端接地，且均为104规格的磁片电容。
3.按照权利要求1所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于所述的单片机控制单元[2]包括89C52单片机、外部振荡电路、上电复位和外部手动复位电路等；U1即89C52单片机的外部振荡电路由第18、19管脚分别接12MHz晶振的两个管脚之一，没有次序要求；以及C2、C3跨接在此晶振管脚和数字地之间；复位电路是由外部复位插座J8、内部复位开关S1、电阻R1、R2、极性电解电容C1组成，J8的第二管脚、S1的一端和C1的正极性端连接VCC，J8的第一管脚、S1的另一端和电阻R2的一端连接；电阻R2的另一端、电容C1的负极性端和R1的一端相连接；而R1的另一端接数字地；控制插座J9的第4管脚连接U1的第6管脚；J9的第1管脚连接U1的第7管脚；U1的第31管脚与VCC连接；U1的39～32管脚是数据总线，依次与U4和U5的18～11管脚相连接，同时也依次与LCD的第12～5管脚连接；U1的第11管脚作为串行数据输出端与U8的第11管脚连接，U1的第16管脚作为地址总线的写控制端与U8的第6管脚连接，U1的第27、28管脚作为地址总线的高位寻址端依次与U8的第2、3管脚连接；作为IO控制端，U1第1、2、8管脚依次与LCD第17、4、3管脚相连接；U1第3管脚与U6第13管脚相连接；U1第4管脚与U2及U3的第11管脚相连接；U1第5管脚与U8的第1管脚相连接。
4.按照权利要求1所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于所述的X模数转换和隔离单元[3]中模拟信号输入插座J1第1管脚连接可调电位器VR1的第1管脚；VR1的第二管脚连接U2即AD571的13管脚；J1的第二管脚、VR1的第三管脚及U2的14管脚相连，形成模拟地；U2数字量输出管脚2～9依次连接U4的输入管脚2～9；U4的第1管脚接VCC。
5.按照权利要求1所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于所述的Y模数转换和隔离单元[4]中模拟信号输入插座J2第1管脚连接可调电位器VR2的第1管脚；VR2的第二管脚连接U3即AD571的13管脚；J2的第二管脚、VR2的第三管脚及U3的14管脚相连，形成模拟地；U3数字量输出管脚2～9依次连接U5的输入管脚2～9；U5的第1管脚接VCC。
6.按照权利要求1所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于所述的译码与组合逻辑单元[6]中U7为74LS139译码器，U8为74LS02或非门；U7第6管脚CSLCD连接U8第5管脚，U7第1管脚接地。
7.按照权利要求1所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于所述的串口通讯单元[5]中U6是MAX232串口通信专用芯片；串口通讯单元[5]中U6的1引脚和C4的正极性端连接，U6的3引脚和C4的负极性端连接；U6的4引脚和电容C5的正极性端连接，U6的5引脚和电容C5的负极性端连接；电容C4，C5采用10μF/50V极性电解电容；串口通讯单元[5]的输入端51DTR、TXD与单片机控制单元[2]的U1的第3、11管脚连接，作为RS232串行输出，U6第12管脚连接彩色液晶显示单元LCD[7]第15管脚；U6第14管脚连接彩色液晶显示单元LCD第14管脚，彩色液晶显示单元[7]LCD的第1、2管脚接地。
8.按照权利要求1所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于所述的输入电源及其旁路电容组单元[1]的输入电源由DC+5V、DC+12V两种直流开关电源组成，-15V电源采用模拟电源供电；DC+5V、DC+12V直流电源的纹波小于50mV；模拟电源-15V的纹波小于1mV。
9.按照权利要求1-8所说的电子束曝光过程实时显示系统，其特征在于X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]中U2与U4的A端数据线相联，U3与U5的A端数据线相连接；U4的B端数据线和U5的B端数据线均与单片机控制单元[2]中U1的系统数据总线相连接；彩色液晶显示单元[7]的数据线也和系统数据总线相连接；U4和U5的引脚1均连接+5V电源。
全文摘要
一种电子束曝光过程实时显示系统。包括输入电源及其旁路电容组单元[1]、单片机控制单元[2]、X、Y模数转换和隔离单元[3]、[4]、串口通讯单元[5]、译码与组合逻辑单元[6]、彩色液晶显示单元[7]。输入电源及其旁路电容组单元[1]为电源供给模块，X模数转换和隔离单元[3]、Y模数转换和隔离单元[4]及彩色液晶显示单元[7]通过数据总线与单片机控制单元[2]相连，单片机控制单元[2]通过地址总线与译码与组合逻辑单元[6]连接，单片机控制单元[2]通过串口通讯单元[5]的RS232串口模式完成对LCD预置图象的下载操作。本发明可持续显示清晰图象，可通过图象诊断电子束曝光机图形发生器输出的主场扫描D/A，工件台位置偏差补偿(LBC)和旋转场D/A等信号的实际矫正的综合作用状况。
文档编号G09F9/00GK1773378SQ20041000978
公开日2006年5月17日 申请日期2004年11月12日 优先权日2004年11月12日
发明者殷伯华, 方光荣 申请人:中国科学院电工研究所