专利名称：一种基于相变材料的可调谐超材料吸收器的制作方法
技术领域：
本发明涉及ー种基于相变材料(GST)的可调谐超材料吸收器(MetamaterialAbsorber)，可应用于光电开关、太阳能电池、气体测量等领域。
背景技术：
超材料(Metamaterial)的奇异电磁特性可以突破传统介质的物理极限，实现诸多新颖功能，例如，突破现有透镜的波长极限，实现具有亚波长成像特点的“完美透镜”;还可有效引导电磁波的传播路径，实现真正的电磁隐身。特别是基于超材料的吸收器被证明可以很好的吸收入射电磁波的能量，因此得到了研究者的广泛关注。然而该研究領域同时 也面临着新的挑战，比如，由于其吸收光谱的工作频段过窄所导致的吸收效率过低的问题，为了解决该问题，人们做了很多尝试，由此形成了电磁学领域ー个新的研究热点可调谐超材料吸收器。利用超材料实现新型吸收器已有很多报道，成为最前沿的科技领域之一。而具有频率可调谐性的超材料吸收器更是得到了人们的广泛关注。2006年，H. T. Chen提出通过电子注入可以使超材料吸收器的吸收光谱的幅度和工作频带具有可调谐性。2008年，H. T. Chen又研制出可以通过光參杂调谐超材料吸收器的吸收光谱，上述结果分别被Nature报道，被誉为吸收器研究领域的重要突破。同年，D. R. Smith提出可以通过控制温度的变化实现可调谐超材料吸收器。2012年,A. Minovich等人将超材料浸在液晶之中，通过外加电场调节液晶的双折射率进而实现吸收光谱的频率可调谐性。可是，上述可调谐超材料吸收器，需要引入外加可调器件，这将会増加超材料吸收器结构的复杂性。而液晶又具有流动性与腐蚀性，将会给超材料吸收器的实际应用带来很大的难度。如可直接调节超材料吸收器的介电常数，将有效简化可调谐超材料吸收器的实现难度，大大推进其实用化进程。因此，本发明提供ー种基于相变材料的可调谐超材料吸收器。通过在金属层-相变材料层-金属层-氧化层多层结构的顶部金属层，制备具有周期性结构的孔阵列，使其具有可调谐吸收光谱，从而解决超材料吸收器吸收光谱窄的技术问题。本发明利用相变材料介电系数随外加电场或温度改变而变化的特性，实现超材料吸收器エ作频率的可调谐，最大调节幅度可达900nm。
发明内容
本发明针对上述可调谐超材料吸收器的问题，提供了ー种基于相变材料的可调谐超材料吸收器，该器件具有结构简单、操作容易、工作频率调谐范围大等特点。本发明解决问题采用的技术方案如下基于相变材料的可调谐超材料吸收器是基于多层结构的器件。通过在其顶部金属层设计和制备周期性结构的孔阵列，可以使其具有磁偶极子，因此可以在特定频段内产生幅值较大的的吸收光谱。再通过改变相变材料的介电常数，使该吸收光谱发生频移，从而实现高幅值可调谐超材料吸收器。所述的多层结构是通过在玻璃衬底上生长金属层、相变材料层、金属层和氧化层而成，金属层的宽度在I微米至2厘米、高度在20纳米至10微米，相变材料层宽度在I微米至2厘米、高度在20纳米至10微米；氧化层宽度在I微米至2厘米、高度在I纳米至I微米。金属层包括Al、Ag、Au、Cu、Ni。相变材料层包括GeTe，Ge2Sb2Te5,Ge1Sb2Te4, Ge2Sb2Te4, Ge3Sb4Te8, Ge15Sb85 , Ag5In6Sb59Te30O 氧化层包括 In2O3, SnO2, ΙΤ0。所述的周期性孔矩阵孔是三角形、方形、圆形、椭圆形、弧形、十字形、六边形；孔的宽度在20纳米至I微米、高度在60纳米至30微米。周期性孔矩阵可以通过干法或者湿法刻蚀エ艺实现，如电子束曝光(E-beam lithography)、聚焦离子束曝光(Focus Ion Beamlithography)和反应离子束刻蚀(Reactive Ion Etching, RIE)等,其特点是底部平坦，孔壁光滑，侧面形状不限。所述的多层结构可以通过材料生长エ艺实现，如电子束蒸发，金属有机化合物化学气相沉淀，气相外延生长，和分子束外延技术所述的基于相变材料的可调谐超材料吸收器可以通过控制外加电场或温度，改变相变材料介电系数，进而实现可调谐吸收光谱。·本发明的测试系统由傅氏转换红外线光谱分析仪完成，通过傅氏转换红外线光谱分析仪对所述器件的吸收光谱进行测试。
图I为可调谐超材料吸收器示意图。图2为可调谐超材料吸收器制作流程示意图一。图3为可调谐超材料吸收器制作流程示意图ニ。图4为可调谐超材料吸收器测试结果图。图5为可调谐超材料吸收器的各种形状示意图。图中1玻璃衬底，2多层结构，3金属层，4相变材料层，5氧化层，6掩膜，7周期性孔矩阵，8可调谐超材料吸收器
具体实施例方式为使得本发明的技术方案的内容更加清晰，以下结合技术方案和附图详细叙述本发明的具体实施方式
。其中的材料生长技术包括电子束蒸发，金属有机化合物化学气相沉淀，气相外延生长，和分子束外延技术等常用技术。其中的掩模エ艺包括电子束曝光和聚焦离子束曝光等常用技木。其中的刻蚀エ艺包括湿法刻蚀和干法刻蚀，如酸法刻蚀、电子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀和反应离子束刻蚀等常用エ艺。实施例I首先，利用材料生长エ艺在玻璃衬底I上形成多层结构(金属层3-相变材料层4-金属层3-氧化层5) 2，如附图2 (a)所示。其次，在多层结构2上沉积SiO2薄膜作为掩模6，如附图2(b)所示。然后，通过掩模エ艺将设计好的周期孔矩阵样本转换到掩模上，如附图2(c)所示。其中，结构的设计可以采用有限时域差分法、有限元法等算法。然后，通过刻蚀エ艺，在顶部金属层3上制备周期性孔矩阵7，如附图2(d)所示
最后，移除掩模6，得到可调谐超材料吸收器8，如附图2(e)所示。实施例2首先，利用材料生长エ艺在玻璃衬底I上形成N(N>=1)层多层结构(金属层3-相变材料层4-金属层3-氧化层5) 2，如附图3 (a)所示。其次，在多层结构2上沉积SiO2薄膜作为掩模6，如附图3(b)所示。然后，通过掩模エ艺将设计好的周期孔矩阵样本转换到掩模上，如附图3(c)所示。其中，结构的设计可以采用有限时域差分法、有限元法等算法。然后，通过刻蚀エ艺，在顶部金属层3上制备周期性孔矩阵7，如附图3(d)所示最后，移除掩模6，在孔矩阵7内注入相变材料4封孔，得到可调谐超材料吸收器8，如附图3(e)所示。本发明测试系统主要由傅氏转换红外线光谱分析仪构成。可以通过控制外加电场或温度，改变相变材料介电系数，进而调谐所述超材料吸收器的吸收光谱的工作频率。所述器件的测试结果如附图4所示，器件的吸收光谱工作频率最大调谐范围可达900nm。综上所述，本发明提供的基于相变材料的可调谐超材料吸收器可以通过温度和外加电场对其吸收光谱的工作频率进行调谐，具有结构简单、操作容易、调谐范围大等优点。
以上所述是本发明应用的技术原理和具体实例，依据本发明的构想所做的等效变换，只要其所运用的方案仍未超出说明书和附图所涵盖的精神时，均应在本发明的范围内，特此说明。
权利要求
1.一种基于相变材料的可调谐超材料吸收器，其特征在于，该吸收器基于多层结构，其顶部金属层具有周期性结构的孔阵列；所述的多层结构是通过在玻璃衬底上生长金属层、相变材料层、金属层和氧化层而成，金属层的宽度在I微米至2厘米、高度在20纳米至10微米，相变材料层宽度在I微米至2厘米、高度在20纳米至10微米；氧化层宽度在I微米至2厘米、高度在I纳米至I微米；所述的周期性孔矩阵孔是三角形、方形、圆形、椭圆形、弧形、十字形、六边形；孔的宽度在20纳米至I微米、高度在60纳米至30微米。
2.根据权利要求I所述的可调谐超材料吸收器，其特征在于，金属层Al、Ag、Au、Cu、Ni。
3.根据权利要求I所述的可调谐超材料吸收器，其特征在于，相变材料层包括GeTe，Ge2Sb2Te5, Ge1Sb2Te4, Ge2Sb2Te4, Ge3Sb4Te8, Ge15Sb85, Ag5In6Sb59Te30。
4.根据权利要求I所述的可调谐超材料吸收器，其特征在于，氧化层是ln203、SnO2,IT0。
5.根据权利要求I所述的可调谐超材料吸收器，其特征在于，多层结构可以通过材料生长工艺实现，包括电子束蒸发、金属有机化合物化学气相沉淀、气相外延生长、分子束外延。
6.根据权利要求I所述的可调谐超材料吸收器，其特征在于，周期性孔矩阵通过干法或者湿法刻蚀工艺实现，包括电子束曝光、聚焦离子束曝光、反应离子束刻蚀。
全文摘要
本发明提供一种基于相变材料的可调谐超材料吸收器。通过在基于多层结构的超材料中引入相变材料，使其吸收光谱的工作频带具有可调谐性，从而解决吸收器吸收光谱过窄的技术问题。本发明利用相变材料介电系数随外加电场或温度改变而变化的特性，实现吸收器吸收光谱的可调谐，最大调节幅度可达900nm。
文档编号G02F1/17GK102707537SQ20121023803
公开日2012年10月3日 申请日期2012年7月10日 优先权日2012年7月10日
发明者曹暾 申请人:大连理工大学