振动部件驱动电路的制作方法

振动部件驱动电路的制作方法
【专利摘要】本发明公开了振动部件驱动电路。一种振动部件驱动电路在至少包含电气机械能量转换元件和弹性体的振动部件中通过向固定于所述弹性体上的所述电气机械能量转换元件施加交流电压而导致振动。振动部件驱动电路包含与电气机械能量转换元件串联连接的电感器和电容器。满足0.73*fm<fs<1.2*fm，这里，fs是电感器和电容器的串联共振频率，并且，fm是振动部件的共振频率。
【专利说明】振动部件驱动电路
[0001] 本申请是基于申请号为201210019884. 6,申请日为2012年1月21日，发明名称为 "振动部件驱动电路"的中国专利申请的分案申请。

【技术领域】
[0002] 本发明的实施例涉及振动部件驱动电路。

【背景技术】
[0003] 近年来，伴随图像拾取元件的分辨率的提高，粘附于使用中的光学系统上的灰尘 影响作为光学设备的图像拾取设备中的捕获图像。特别地，用于视频照相机或静物照相机 中的图像拾取元件的分辨率已显著提高。因此，当外部灰尘和/或诸如在内部机械摩擦表 面上导致的磨损碎屑的灰尘（粉末）粘附于图像拾取元件附近的诸如红外切割滤波器和光 学低通滤波器的光学部件时，由于图像拾取元件表面上的较少模糊的图像，因此会在捕获 的图像上出现粉末。
[0004] 作为光学设备的复印机或传真机的图像拾取单元扫描线传感器，或者扫描较接近 线传感器放置的原稿以读取平面原稿。在这种情况下，当灰尘粘附于光束入射区域时，在扫 描图像上出现灰尘。在扫描和读取原稿的传真机的读取单元或在从自动原稿馈送器传送的 过程中读取（即浏览）原稿的复印机的读取单元中，一粒灰尘会表现为沿原稿馈送方向连 续并使图像质量劣化的线图像。
[0005] 日本专利公开No. 2008-207170提出了除尘装置，该除尘装置可通过向包含光学 部件的振动部件激励自由行进波来沿希望的方向移动这种灰尘。图3是示出在日本专利公 开No. 2008-207170中公开的除尘装置的配置的示意图。具有光学部件502的振动部件501 被设置在图像拾取元件503的光入射侧。作为电气机械能量转换元件的压电元件101a和 l〇lb被放置在振动部件501中面外弯曲振动的节点线对齐的方向上的不同的位置。向压电 元件101a和101b施加具有相等的频率和90°的相位差的交流电压。
[0006] 要施加的交流电压的频率处于沿振动部件501的纵向面外弯曲的m次（m是自然 数）振动模式中的共振频率与（m+Ι)次振动模式中的共振频率之间。在振动部件501中，具 有共振现象的响应的m次振动模式中的振动与具有90°时间相位差（从m次面外弯曲振动 前进90°的相位）的（m+Ι)次振动模式中的振动以相等的振幅和相等的振动周期被激励。 然后，在振动部件501中，产生合成两个振动模式的振动的合成振动（自由行进波）。合成 振动沿希望的方向在振动部件501的表面上移动灰尘。
[0007] 但是，在过去的除尘装置中，在要使用的一些频率带中，要向压电元件101施加的 交流电压的振幅改变（即交流电压的频率特性的梯度）可能在振动部件501的共振频率 附近增加。出于这种原因，当振动部件501的共振频率由于个体差异而变化或者在装置被 驱动的同时热改变共振频率时，交流电压大大改变。多于必要地增加的交流电压可能由于 电流增加而增加功耗，或者由于在振动部件501中激励的振动振幅的增加而损伤振动部件 501。当交流电压低于必要的电压时，不能获取要在振动部件501中激励的面外弯曲振动的 足够的振动振幅，并且，除尘效率会降低。


【发明内容】

[0008] 实施例的一个公开的方面提供了如下这样的驱动电路，即使当振动部件的共振频 率在装置被驱动的过程中变化或改变时，该驱动电路仍在使用的频带中输出稳定的电压振 幅，且要施加到电气机械能量转换元件的交流电压具有小的改变。
[0009] -个实施例的一种在至少包含电气机械能量转换元件和弹性体的振动部件 中通过向固定于弹性体上的电气机械能量转换元件施加交流电压而导致振动的振动 部件驱动电路包含与电气机械能量转换元件串联连接的电感器和电容器，其中，满足 0. 73*fm〈fs〈1.2*fm，这里，fs是电感器和电容器的串联共振频率，并且，fm是振动部件的 共振频率。
[0010] 根据该实施例的一个公开的方面，可提供如下这样的驱动电路，即使当振动部件 的共振频率在装置被驱动的过程中变化或改变时，该驱动电路仍在使用的频带中输出稳定 的电压振幅，且要施加到电气机械能量转换元件的交流电压具有小的改变。
[0011] 参照附图阅读示例性实施例的以下说明，本发明的其它特征将变得清晰。

【专利附图】

【附图说明】
[0012] 图1A?1C示出根据第一实施例的振动部件驱动电路。
[0013] 图2A和图2B是可应用一个实施例的图像拾取设备的透视图。
[0014] 图3是示出具有除尘装置的照相机体的图像拾取单元的结构的透视图。
[0015] 图4示出可应用一个实施例的除尘装置的控制设备。
[0016] 图5示出过去的驱动电路的配置。
[0017] 图6A和图6B是示出根据第一实施例的施加到压电元件的交流电压的频率、在压 电元件中产生的振动的振幅以及它们的波形的曲线图。
[0018] 图7示出在振动部件中激励并且沿纵向面外弯曲的10次面外弯曲振动的位移和 11次面外弯曲振动的位移，并且示出压电元件的配置。
[0019] 图8示出使用过去的驱动电路时的交流电压Vo的电压振幅的频率特性。
[0020] 图9A和图9B示出当电感器和电容器的串联共振频率fs基本上与振动部件的共 振频率fm匹配时的电流振幅和交流电压Vo的频率特性的仿真结果。
[0021] 图10A和图10B示出交流电压Vo如何根据导纳的改变而改变的计算的仿真结果。
[0022] 图11A和图11B示出交流电压Vo如何根据电感器、电容器和压电元件的固有电容 的变化而改变的仿真结果。
[0023] 图12示出电源电流相对于驱动时间的改变的测量结果。
[0024] 图13示出满足关系fe〈2*fd时的交流电压Vo的频率特性。
[0025] 图14A和图14B示出描述根据fs/fm的改变的与过去相比的相位和交流电压Vo 的改变的仿真结果。
[0026] 图15示出根据fs/fm的改变的相位改变量与过去的例子的配置的比例的仿真结 果。
[0027] 图16示出根据峰值频率fe的电感器的电感L与电容器的电容C之间的关系。
[0028] 图17A?17E示出根据第二实施例的具有变压器的除尘装置的驱动电路。
[0029] 图18A和图18B是示出根据第三实施例的要施加到驻波驱动的压电元件的交流电 压的频率、在压电元件中产生的振动的振幅和电压波形的示图。

【具体实施方式】
[0030] 将参照附图描述本发明适用的振动部件驱动电路的实施例。一个实施例的振动部 件驱动电路可通过使振动部件振动来驱动诸如粉末的对象物。虽然根据以下的实施例将描 述用于去除作为粉末的灰尘的除尘装置及其驱动电路，但是，如果振动部件被振动以驱动 振动部件上的诸如粉末的对象物，则一个实施例是适用的。根据实施例，粉末指的是大于等 于1 μ m且小于等于100 μ m的对象物。
[0031] 实施例的具有振动部件和/或其驱动电路的设备可包括诸如照相机（图像拾取装 置）、传真机、扫描仪、投影仪、复印机和打印机的光学设备。例如，在以下的实施例中，实施 例的振动部件和/或其驱动电路被设置在图像拾取设备中。根据实施例的一个公开的方 面，作为光电转换元件的复印机或传真机中所使用的诸如CCD和CMOS传感器或线传感器的 图像拾取元件被称为光接收元件。
[0032] (第一实施例）
[0033] 根据第一实施例，在照相机中安装在振动部件中激励行进波以移动作为粉末的灰 尘的除尘装置。
[0034] (照相机体的配置）
[0035] 图2A是作为根据第一实施例的图像拾取设备的数字单镜头反光式照相机的从被 照体侧的正面透视图，并且示出没有成像透镜的状态。图2B是从摄影者侧的照相机的背面 透视图。在照相机体201内，设置镜箱202,通过未示出的成像透镜的成像光束被引导至该 镜箱202。主反射镜（快返反射镜）203被设置在镜箱202内。具有除尘装置的图像拾取单 元被设置在通过未示出的成像透镜的成像光轴上。主反射镜203可保持为关于成像光轴成 45°的角度，使得摄影者可通过取景器接眼窗口（eye window) 204观察被照体图像，或者可 保持在避开朝图像拾取元件引导的成像光束的位置。清洁指令开关205被设置在照相机的 背面，并且，可用于驱动作为除尘装置的振动部件。如果摄影者按压清洁指令开关205,则指 令单元604 (参见图4)被指示驱动除尘装置。
[0036] (除尘装置的配置）
[0037] 图3是示出具有作为振动部件的除尘装置的照相机体201的图像拾取单元的结构 的透视图。图像拾取元件503被设置在照相机体201的图像拾取单元中。图像拾取元件503 是将接收的被照体图像转换成电信号的诸如CCD和CMOS传感器的光接收元件。振动部件 501被附接为紧密地密封图像拾取元件503的前表面上的空间。振动部件501至少包含作 为弹性体的矩形平面光学部件502,和粘附于光学部件502的两端的作为电气机械能量转 换元件的一对压电元件l〇la(第一电气机械能量转换元件）和压电元件101b(第二电气机 械能量转换元件）。光学部件502是诸如覆盖玻璃、红外切割滤波器或光学低通滤波器的具 有高的透射率的光学部件。通过光学部件502的光进入到图像拾取元件503。
[0038] 在光学部件502的两端的压电元件101a和101b的沿厚度方向（图中的垂直方 向）的尺寸等于光学部件502的沿厚度方向（图中的垂直方向）的尺寸，以增大对于振动 的弯曲变形的产生力。当不需要特别地区别时，压电元件l〇la和101b将被简称为压电元 件 101。
[0039] (控制设备的配置）
[0040] 图4示出除尘装置的控制设备。控制设备包含指令单元604、脉冲产生电路603a 和603b、开关电路602a和602b、电源电路605和驱动电路601a和601b。来自指令单元 604,作为交流电压信号的参数的频率信息、相位信息和脉冲宽度信息被传送到脉冲产生电 路603a和603b。例如，脉冲产生电路一般可以是数字振荡器。在振动部件501中产生的两 个振动模式中的振动（面外弯曲振动）的共振频率的中间值附近设定频率，并且，对于脉冲 产生电路603a和603b设定相等的频率。以下将参照图7描述振动模式。相互不同的相位 值被输入到脉冲产生电路603a和603b，并被设定为使得可以输出交流电压信号的不同的 相位差（诸如90°的相位差）。脉冲宽度（脉冲占空比）被适当地调整以获取希望的电压 振幅，并且被分别设定给脉冲产生电路603a和603b。
[0041] 从脉冲产生电路603输出的数字交流电压信号被输入到开关电路602a和602b，并 且，基于从电源电路605供给的电压作为模拟交流电压Vi被输出。电源电路可以是一般的 DC电源电路或DC-DC转换器电路等。开关电路可以是一般的Η桥电路。
[0042] 交流电压Vi被输入到驱动电路601a和601b，并且在其电压振幅被升高并被转换 成SIN波形之后作为交流电压Vo被输出。输出的交流电压Vo被施加到压电元件101a和 l〇lb，并且，在振动部件501中同时出现两个面外弯曲振动。合成的振动变为行进波，并且， 可沿希望的方向移动光学部件502的表面上的灰尘。以下将参照图1描述作为实施例的特 征的驱动电路601a和601b的配置。
[0043] 从脉冲产生电路603输出的数字交流电压信号被输入到开关电路602a和602b，并 且，基于从电源电路605供给的电压作为模拟交流电压Vi被输出。电源电路可以是一般的 DC电源电路或DC-DC转换器电路等。开关电路可以是一般的Η桥电路。
[0044] 交流电压Vi被输入到驱动电路601a和601b，并且在其电压振幅升高并被转换成 SIN波形之后作为交流电压Vo被输出。交流电压Vo被施加到压电元件101a和101b，并且， 在振动部件501中同时出现两个面外弯曲振动。合成的振动变为行进波，并且，可沿希望的 方向移动光学部件502的表面上的灰尘。
[0045] (驱动频率的设定）
[0046] 以下将描述驱动频率的设定。图6A是示出施加到压电元件101的交流电压的频 率和在压电元件101中出现的振动的振幅的曲线图。在图6A中，f(m)是m次面外弯曲振 动的共振频率，并且，f(m+l)是（m+Ι)次面外弯曲振动的共振频率。如果要施加到压电元 件101上的交流电压的频率fd被设为f (m) <fd〈f (m+1)，则获取频率fd处的振动，该振动具 有通过m次面外弯曲振动和（m+Ι)次面外弯曲振动的共振现象而扩大的振幅。振动的时间 周期相等。另一方面，当要被施加到压电元件101上的交流电压的频率fd被设为低于f(m) 时，（m+1)次面外弯曲振动的振幅较低。当频率fd被设为高于f (m+1)时，m次面外弯曲振 动的振幅较低。
[0047](振动模式的描述）
[0048] 图7是示出在振动部件501中激励的并且沿纵向面外弯曲的10次面外弯曲振动 的位移和11次面外弯曲振动的位移并且示出压电元件l〇la和101b的部置的示意图。横 轴表示振动部件501的纵向位置。纵轴表示面外振动位移。在图7中，10次面外弯曲振动 作为第一振动模式由波形A (实线）表示，并且，11次面外弯曲振动作为第二振动模式由波 形B (虚线）表示。第一振动模式A和第二振动模式B是使振动部件501沿光学部件502 的厚度方向弯曲变形的面外弯曲振动模式。
[0049] 当驱动电路601a和601b向压电元件101a和101b施加交流电压Vo时，第一振动 模式A和第二振动模式B中的振动由此在振动部件501中同时出现并且被重叠。根据本实 施例，最低限度的除灰所需要的振动模式是作为第一振动模式的10次弯曲振动模式和作 为第二振动模式的11次弯曲振动模式。但是，振动模式不限于此。与图像拾取元件503对 应的光学有效区域是图7所示的范围。第一振动模式A中的变形形状在左端和右端具有相 反的相位（相位差为180° )。另一方面，第二振动模式B中的变形形状在左端和右端之间 同相（相位差为0° )。换句话说，如果施加到压电元件l〇la和压电元件101b的交流电压 之间的相位差被设为180°，则仅出现第一振动模式A。另一方面，如果相位差被设为0°， 则仅出现第二振动模式B。因此，如果相位差被设为90°，则可同时导致第一振动模式A和 第二振动模式B，并且，沿图7的向右方向可出现得自合成的振动的行进波。
[0050] 图6B示出了用于同时激励不同阶次的振动模式的要向压电元件施加的交流电压 的例子。交流电压Vo 1是向压电元件101a施加的电压波形，并且，交流电压Vo 2是要向 压电元件l〇lb施加的电压波形。纵轴表示电压振幅，并且，横轴表示时间。交流电压Vo 1 和Vo 2的频率在上述的fd处是恒定的，并且，交流电压之间的相位差是90°。但是，可仅 要求交流电压Vo 1和Vo 2具有不同的相位，并且，相位差不限于90°。
[0051] 在除尘装置中，当光学部件502将粘附于光学部件502的表面上的灰尘上推出面 外时，灰尘如同它在沿光学部件502的表面的法线方向的力的作用下弹起一样移动。换句 话说，当驱动频率周期的各相位中的振动部件501的合成振动位移的速度为正时，灰尘被 上推出面外，并且，灰尘在该相位中的合成振动位移的法线方向的力的作用下移动。参照图 7,通过向粘附于光学部件502的有效区域的表面的灰尘重复施加振动，灰尘可沿图7的向 右方向移动并被去除。
[0052] (关于驱动电路的描述：LC升压）
[0053] 参照图1A?1C，将描述第一实施例的驱动电路。图1A示出根据第一实施例的除 尘装置的驱动电路。驱动电路包含与压电元件101串联连接的电感器102和电容器103。 虽然电容器103在图1中与压电元件101的下侧连接，但是，它可与上侧连接（连接在电感 器102和压电元件101之间）。如图1C所示，电阻104可与压电元件101并联连接。电阻 104可被设为使得电流几乎不流动以防止电阻部分中的功耗的1ΜΩ。设置电阻104可限定 电容器103和压电元件101之间的连接点处的电势，从而可在压电元件两端施加稳定的交 流电压。
[0054] 电感器102可以是诸如线圈的电感元件。电容器103可以是诸如膜电容器的电容 元件。实施例的一个公开的方面的特征在于，电感器102和电容器103的串联共振频率基 本上与振动部件501的共振频率匹配（被设定于将在后面描述的容限内）。
[0055] 将参照图1B描述压电元件101的等效电路。图1B示出压电元件101的等效电路。 压电元件101的等效电路包含振动部件501的机械振动部分的RLC串联电路（自感Lm的 等效线圈301b、电容Cm的等效电容器301c和电阻值Rm的等效电阻301d)和与该RLC串联 电路并联连接的用作压电元件101的固有电容Cd的电容器301a。
[0056] 根据实施例，电感器102和电容器103的串联共振频率被定义为fs，并且，振动部 件501的共振频率被定义为fm。当电感器102的自感为L并且电容器103的电容为C时，
[0057]

【权利要求】
1. 一种振动设备，包括： 振动部件，包括电气机械能量转换元件；以及 驱动电路，包括与电气机械能量转换元件串联连接的电容器和电感器； 其中驱动电路的参数被设置为使得：当电感器和电容器的串联共振频率由fs表示并 且振动部件的共振频率由fm表示时，满足条件：0. 73*fm〈fs〈l. 2*fm。
2. 根据权利要求1的设备，其中，如果fe表示施加到所述电气机械能量转换元件的交 流电压的峰值频率，并且，fd表示所述振动部件的驱动频率，则满足条件fe〈2*fd。
3. 根据权利要求1的设备，其中，所述振动部件具有弹性体以及固定于弹性体的第一 电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件，并且， 带有具有如下这样的频率和不同的相位的波形的交流电压被施加到第一电气机械能 量转换元件和第二电气机械能量转换元件，具有该频率的交流电压在所述振动部件中产生 重叠不同阶次的第一振动模式的振动和第二振动模式的振动的振动。
4. 根据权利要求1的设备，其中，要在所述振动部件中产生的不同阶次的第一振动模 式的振动和第二振动模式的振动以时间间隔偏移。
5. 根据权利要求1的设备，其中，要施加到电气机械能量转换元件的交流电压的峰值 频率fe不等于振动部件的共振频率fm。
6. 根据权利要求1的设备，其中，当电感器的自电感和电容器的电容由L和C表示时，
7. 根据权利要求1的设备，其中，当振动部件的等效线圈的自电感和振动部件的等效 电容器的电容由Lm和Cm表不时，
8. 根据权利要求1的设备，其中，在所述振动部件中产生振动使所述振动部件上的粉 末移动。
9. 一种光学设备，包括根据权利要求1的振动设备、要由所述驱动电路驱动的振动部 件、和设置在穿过所述振动部件的所述弹性体的光的入射位置处的光接收元件。
10. -种振动设备，包括： 振动部件，包括电气机械能量转换元件；以及 驱动电路，包括变压器、电感器和电容器； 其中，变压器包括一次线圈和二次线圈，并且与所述电气机械能量转换元件并联连接， 其中交流电压被配置为施加到一次线圈；以及 其中电感器和电容器位于所述变压器的一次侧和二次侧中的至少一侧，以使得电感器 和电容器与所述电气机械能量转换元件串联连接， 其中，驱动电路的参数被设置为使得：当电感器和电容器的串联共振频率由fs表示并 且振动部件的共振频率由fm表示时，满足条件0. 73*fm〈fs〈l. 2*fm。
11. 根据权利要求10的设备，其中，如果fe表示施加到所述电气机械能量转换元件的 交流电压的峰值频率，并且，fd表示所述振动部件的驱动频率，则满足条件fe〈2*fd。
12. 根据权利要求10的设备，其中，所述振动部件具有弹性体以及固定于弹性体的第 一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件，并且， 带有具有如下这样的频率和不同的相位的波形的交流电压被施加到第一电气机械能 量转换元件和第二电气机械能量转换元件，具有该频率的交流电压在所述振动部件中产生 重叠不同阶次的第一振动模式的振动和第二振动模式的振动的振动。
13. 根据权利要求10的设备，其中，要在所述振动部件中产生的不同阶次的第一振动 模式的振动和第二振动模式的振动以时间间隔偏移。
14. 根据权利要求10的设备，其中，要施加到电气机械能量转换元件的交流电压的峰 值频率fe不等于振动部件的共振频率fm。
15. 根据权利要求10的设备，其中，电感器包括一次线圈的泄漏电感和二次线圈的泄 漏电感，以及 其中当一次线圈的泄漏电感、二次线圈的泄漏电感、二次线圈与一次线圈的匝数比率、 以及电容器的电容由L1、L2、N和C表示时，
以及 其中当振动部件的等效线圈的自电感和振动部件的等效电容器的电容由Lm和Cm表示 时，
16. 根据权利要求10的设备，其中，电感器和电容器连接到变压器的一次侧， 其中当电感器的电感和电容器的电容由L和C表示时，
17. 根据权利要求10的设备，其中，电感器和电容器连接到变压器的二次侧， 其中当电感器的电感和电容器的电容由L和C表示时，
18. 根据权利要求10的设备，其中，电感器连接到变压器的一次侧并且电容器连接到 变压器的二次侧， 其中当电感器的电感、电容器的电容、以及二次线圈与一次线圈的匝数比率由L、C和N 表示时，
19. 根据权利要求10的设备，其中，电感器连接到变压器的二次侧并且电容器连接到 变压器的一次侧， 其中当电感器的电感、电容器的电容、以及二次线圈与一次线圈的匝数比率由L、C和N 表示时，
20. 根据权利要求10所述的设备，其中，在所述振动部件中产生振动使所述振动部件 上的粉末移动。
21. -种光学设备，包括根据权利要求10的振动设备、要由所述驱动电路驱动的振动 部件、和设置在穿过所述振动部件的所述弹性体的光的入射位置处的光接收元件。
22. -种驱动电路，被配置为驱动包括电气机械能量转换元件的振动部件，该驱动电路 包括： 变压器，与所述电气机械能量转换元件并联连接，并且包括： 一次线圈，被配置为使得交流电压施加到该一次线圈； 二次线圈，与所述电气机械能量转换元件并联连接；以及 电感器，与一次线圈串联连接，以及 其中，驱动电路的参数被设置为使得当fe表示施加到所述电气机械能量转换元件的 峰值电压的频率并且fd表示所述振动部件的驱动频率时，满足条件fe〈2*fd。
23. 根据权利要求22所述的驱动电路，还包括与所述电气机械能量转换元件并联连接 的电阻器。
24. 根据权利要求22所述的驱动电路，还包括与所述电气机械能量转换元件并联连接 的电感器和电阻器。
25. 根据权利要求22所述的驱动电路，其中，所述振动部件具有弹性体以及固定于弹 性体的第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件，并且， 带有具有如下这样的频率和不同的相位的波形的交流电压被施加到第一电气机械能 量转换元件和第二电气机械能量转换元件，具有该频率的交流电压在所述振动部件中产生 重叠不同阶次的第一振动模式的振动和第二振动模式的振动的振动。
26. 根据权利要求22所述的驱动电路，其中，要在所述振动部件中产生的不同阶次的 第一振动模式的振动和第二振动模式的振动以时间间隔偏移。
27. 根据权利要求22所述的驱动电路，其中，在所述振动部件中产生振动使所述振动 部件上的粉末移动。
28. -种光学设备，包括根据权利要求22所述的驱动电路、要由所述驱动电路驱动的 振动部件、和设置在穿过所述振动部件的所述弹性体的光的入射位置处的光接收元件。
29. -种振动设备，包括： 振动部件，包括电气机械能量转换元件；以及 驱动电路，包括： 变压器，与所述电气机械能量转换元件并联连接，并且包括： 一次线圈，被配置为使得交流电压施加到该一次线圈； 二次线圈，与所述电气机械能量转换元件并联连接；及 电感器，与一次线圈串联连接，以及 其中，驱动电路的参数被设置为使得当fe表示施加到所述电气机械能量转换元件的 峰值电压的频率并且fd表示所述振动部件的驱动频率时，满足条件fe〈2*fd。
30. 根据权利要求29所述的设备，其中，电感器是变压器的泄漏电感。
31. 根据权利要求29所述的设备，还包括与电气机械能量转换元件并联连接的电阻 器。
32. 根据权利要求29所述的设备，还包括与所述电气机械能量转换元件并联连接的电 感器和电阻器。
33. 根据权利要求29所述的设备，其中所述振动部件具有弹性体以及固定于弹性体的 第一电气机械能量转换兀件和第二电气机械能量转换兀件，并且， 带有具有如下这样的频率和不同的相位的波形的交流电压被施加到第一电气机械能 量转换元件和第二电气机械能量转换元件，具有该频率的交流电压在所述振动部件中产生 重叠不同阶次的第一振动模式的振动和第二振动模式的振动的振动。
34. 根据权利要求29所述的设备，其中，要在所述振动部件中产生的不同阶次的第一 振动模式的振动和第二振动模式的振动以时间间隔偏移。
35. 根据权利要求29所述的设备，其中，在所述振动部件中产生振动使所述振动部件 上的粉末移动。
36. -种光学设备，包括根据权利要求29所述的振动设备、要由所述驱动电路驱动的 振动部件、和设置在穿过所述振动部件的所述弹性体的光的入射位置处的光接收元件。
【文档编号】G03B17/02GK104155831SQ201410427442
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2012年1月21日 优先权日:2011年1月28日
【发明者】住冈润 申请人:佳能株式会社