一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器，属于波分复用【技术领域】，意在提供一种产品部件结构少，产品的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用，每个滤波波导光路上的分信号光能调节的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器。采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波缺口，在每个滤波缺口内安装一片能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。
【专利说明】—种具有开关调节功能的波分复用与解复用器
【技术领域】
[0001]本发明涉及波分复用【技术领域】，尤其涉及一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器。
【背景技术】
[0002]随着数据业务的飞速发展，网络融合的速度在加快，城域网正成为当前网络建设的热门，而且市场竞争的压力使得电信运营商对网络的成本(包括建设成本和运维成本)更加敏感。针对市场的这种需求，城域网的WDM(波分复用)产品应运而生。
[0003]WDM能有效节省光纤资源和组网成本，它解决了光纤短缺和多业务透明传输两个问题，主要应用在城域网汇聚和接入层，并且可在短时间建设网络并开展业务。
[0004]目前波分复用产品缺点:现在商业化粗具有开关调节功能的波分复用与解复用器多准直器、输入输出端、固定套管等独立光学器件多次组装而成，每个器件只能实现单个波长的复用和解复用。产品的损耗大，特别是多通道时，产品的均匀性差，不适用于多通道的复用与解复用。
【发明内容】
[0005]本发明是为了解决现有波分复用产品部件结构多，每个器件只能实现单个波长的复用和解复用，产品的损耗大，特别是多通道时，产品的均匀性差，不适用于多通道的复用与解复用，并且每个滤波波导光路上的分信号光不能调节的这些不足，提供一种产品部件结构少，产品的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用，每个滤波波导光路上的分信号光能调节的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器。
[0006]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器，包括衬底层，通过CVD方法在衬底层的上表面上沉积制作下包层，通过CVD方法在下包层的上表面上沉积制作芯层；
采用光刻和刻蚀在芯层上制作波导光路；
如果设芯层上输入的总信号光中包含的分信号光的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路、N-1条滤波波导光路和一条入射波导光路；
采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路的后端和最后一条反射波导光路的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；
采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；
采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路； 采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；
在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；
采用光刻和刻蚀，从每个反射点处正上方的上包层上分别往下制作滤波通孔，滤波通孔从上包层穿入，并经过芯层和下包层后从衬底层上穿出；
在制作好滤波通孔后把连接在一起的衬底层、芯层和下包层切割成晶元；
把晶元固定在密封盒内，在晶元的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关，每个mems光开关的挡光镜分别伸缩式插入连接在滤波通孔中，并在挡光镜底端固定连接有一块滤波条，所述滤波条由若干块水平布置的能分别过滤不同波长分信号光的滤波片组成。
[0007]本方案采用半导体技术在芯层上制作波导光路，该波导光路使得产品部件结构少，光在传输的过程中的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用，每个滤波波导光路上的分信号光能调节。方案采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波通孔，在每个滤波通孔内安装有一条能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。通过方案制作得到的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器在使用时，假如总信号光包括五条分信号光。当包括五条分信号光的总信号光从入射波导光路射入后，五条分信号光中的一号分信号光经第一个滤波片过滤后从滤波波导光路射出；另外的四条分信号光经第一个滤光片反射后进入第一条反射波导光路。然后这四条分信号光中的二号分信号光经第二个滤波片过滤后从滤波波导光路射出，另外的三条分信号光经第二个滤光片反射后进入第二条反射波导光路。然后这三条分信号光中的三号分信号光经第三个滤波片过滤后从滤波波导光路射出，另外的两条分信号光经第三个滤光片反射后进入第三条反射波导光路。然后这两条分信号光中的四号分信号光经第四个滤波片过滤后从滤波波导光路射出，另外的一条分信号光经第四个滤光片反射后进入最后一条反射波导光路。根据光的可逆性原理，如果把与滤波片对应的分信号光从对应的滤波片所在的滤波波导光路射入，则各个分信号光最终从入射波导光路射出，从而实现总信号光与分信号光的复用与解复用。当要更换一种滤波波导光路上输出的分信号光，那么就借助mems光开关对滤波条进行调节，让滤波条上对应的滤波片对准滤波波导光路，那么从滤波波导光路输出的光就符合要求。同理，如果把滤波条上对应的滤波片对准滤波波导光路，或者把滤波条上对应的滤波片对准滤波波导光路，也会输出与对应滤波片所对应的分信号光。当要挡光时候，把挡光镜对准滤波波导光路，即可实现挡光作业。本方案实现了输出分信号光的自动调节，并根据分信号光的可逆性就能实现波分复用与解复用。本方案不仅结构制造简单，可靠性高，还便于对滤波片进行调节，能保证分信号光在反射波导光路中的传输路径与反射波导光路的轴心线平行，传输效果较好，损耗较小，进而使得本发明的复用与解复用效果较佳。
[0008]作为优选，在制作好滤波通孔后，并在切割成晶元之前，先在滤波通孔中用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的半平面凸透镜，且半平面凸透镜的平面朝向反射波导光路布置，半平面凸透镜的弧形曲面朝向滤波条布置，并且半平面凸透镜的平面与滤波条平行。
[0009]作为优选，滤波片的反射面所在的平面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直。这种结构保证分信号光在反射波导光路中的传输路径与反射波导光路的轴心线平行，传输效果较好，损耗较小，进而使得本发明的复用与解复用效果较佳。
[0010]作为优选，在滤波条的底端固定连接有一个两面均为凸曲面的聚焦凸透镜。当要让若干的分信号光从滤波波导光路输出，则让聚焦凸透镜对准滤波波导光路，这样就能够让多种分信号光从滤波波导光路输出，让滤除的分信号光在滤波波导光路传输的路径比较集中，从而让分信号光损耗小，传输效果更好。
[0011]一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器的制造方法包括如下步骤:
(1-1)，制作衬底层、下包层和芯层；
先是采用衬底材料制作上表面为水平面的衬底层，然后采用包层材料在衬底层的上表面上沉积制作上表面为水平面的下包层，再采用芯层材料在下包层的上表面上沉积制作上表面为水平面的芯层；
(1-2)，在芯层上制作波导光路；
(1-2-1)，如果设芯层上输入的总信号光中包含的分信号光的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路、N-1条滤波波导光路和一条入射波导光路；
(1-2-2)，采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路的后端和最后一条反射波导光路的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；
(1-2-3)，采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；
(1-2-4)，采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路； (1-2-5)，采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；
(1-3)制作上包层；
在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；
(1-4)制作滤波通孔；
采用光刻和刻蚀，从每个反射点处正上方的上包层上分别往下制作滤波通孔，滤波通孔从上包层穿入，并经过芯层和下包层后从衬底层上穿出；
(1-5)切割成晶元;
在制作好滤波通孔后把连接在一起的衬底层、芯层和下包层切割成晶元；
(1-6)制作滤波条；
把晶元固定在密封盒内，在晶元的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关，每个mems光开关的挡光镜分别伸缩式插入连接在滤波通孔中，并在挡光镜底端固定连接有一块滤波条，所述滤波条由若干块水平布置的能分别过滤不同波长分信号光的滤波片组成。
[0012]作为优选，在步骤(1-5)中，在制作好滤波通孔后，并在切割成晶元之前，先在滤波通孔中用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的半平面凸透镜，且半平面凸透镜的平面朝向反射波导光路布置，半平面凸透镜的弧形曲面朝向滤波条布置，并且半平面凸透镜的平面与滤波条平行。
[0013]作为优选，滤波片的反射面所在的平面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直。
[0014]作为优选，在滤波条的底端固定连接有一个两面均为凸曲面的聚焦凸透镜。
[0015]本发明能够达到如下效果:
1、本发明采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波通孔，在每个滤波通孔内安装有一条能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。本发明采用半导体技术在芯层上制作波导光路，该波导光路使得产品部件结构少，光在传输的过程中的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用，每个滤波波导光路上的分信号光能调节。
[0016]2、本发明通过封装稱合技术将输入光纤输入的总信号光稱合进入入射波导光路，把从滤波波导光路的分信号光I禹合上对应的输出光纤，把最后一条反射波导光路前端输出的分信号光也稱合上对应的输出光纤。从而实现光波长的复用与解复用。
[0017]3、本发明的产品成本低，集成度高、均匀性好，封装方便，插入损耗低。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1是本发明作衬底层、下包层和芯层的一种位置关系连接结构示意图。
[0019]图2是本发明作衬底层、下包层、波导光路和上包层的一种剖面连接结构示意图。
[0020]图3是本发明采用光刻和刻蚀在芯层上制作出波导光路后的一种俯视连接结构示意图，其中波导光路包括:入射波导光路、反射波导光路和滤波波导光路。
[0021]图4是在图3的基础上，在波导光路上制作出滤波缺口后的一种俯视连接结构示意图。
[0022]图5是在图4的基础上，在滤波缺口中安装好滤波片后的一种俯视连接结构示意图。
[0023]图6是总信号光从图5所示的波导光路上输入，除其中一条分信号光从最后一条反射波导光路传输出去外，其它的给条分信号光分别从对应的滤波波导光路传输出去的一种俯视连接结构示意图。
[0024]图7是在制作完上包层后，从每个反射点处正上方的上包层上分别往下制作滤波通孔后的一种截面连接结构示意图。
[0025]图8是在图7的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关，每个mems光开关的挡光镜分别伸缩式插入连接在滤波通孔中的一种截面连接结构示意图。
[0026]图9是把晶元固定在密封盒内，在晶元的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关的一种剖视连接结构示意图。
[0027]图10是在图8的基础上，在滤波通孔中设有半平面凸透镜的一种截面连接结构示意图。
[0028]图11是在图5的基础上制作有凸透镜后的一种俯视连接结构示意图。
[0029]图12是总信号光从图11所示的波导光路上输入，除其中一条分信号光从最后一条反射波导光路传输出去外，其它的给条分信号光分别从对应的滤波波导光路传输出去的一种俯视连接结构示意图。
[0030]图中:入射波导光路(1)，反射波导光路(2)，二号分信号光3，滤波波导光路(4)，下包层(5)，滤波通孔(6)，滤波条(7)，聚焦凸透镜(8)，半平面凸透镜(9)，上包层(10)，衬底层(11)，芯层(12),总信号光(13)，分信号光(14)，挡光镜(15)，mems光开关(16)，晶兀(17)，密封盒(18)，第一条反射波导光路21，第二条反射波导光路22，第三条反射波导光路23，最后一条反射波导光路24，滤波片(71，滤波片72，滤波片73，滤波波导光路41，滤波波导光路42，滤波波导光路43，滤波波导光路44。
【具体实施方式】
[0031]下面通过实施例，并结合附图，对本发明的技术实例作进一步具体的说明。
[0032]实例:具有开关调节功能的波分复用与解复用器制作方法，参见图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10、图11、图12所示，包括如下步骤:
步骤(1-1)，制作衬底层11、下包层5和芯层12 ；
先是采用衬底材料制作上表面为水平面的衬底层，然后采用包层材料在衬底层的上表面上沉积制作上表面为水平面的下包层，再采用芯层材料在下包层的上表面上沉积制作上表面为水平面的芯层。
[0033]步骤(1-2)，在芯层上制作波导光路；
步骤(1-2-1)，如果设芯层上输入的总信号光13中包含的分信号光3的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路2、N-1条滤波波导光路4和一条入射波导光路I ;
步骤(1-2-2)，采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路21的后端和最后一条反射波导光路24的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；
步骤(1-2-3)，采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；
步骤(1-2-4)，采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路
4 ；
步骤(1-2-5)，采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；
步骤((1-3)，制作上包层(10);在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层； 步骤((1-4)，制作滤波通孔(6);采用光刻和刻蚀，从每个反射点处正上方的上包层上分别往下制作滤波通孔，滤波通孔从上包层穿入，并经过芯层和下包层后从衬底层上穿出；
步骤((1-5)，切割成晶元(17);在制作好滤波通孔后把连接在一起的衬底层、芯层和下包层切割成晶元；在制作好滤波通孔后，并在切割成晶元之前，先在滤波通孔中用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的半平面凸透镜(9)，且半平面凸透镜的平面朝向反射波导光路布置，半平面凸透镜的弧形曲面朝向滤波条布置，并且半平面凸透镜的平面与滤波条平行。
[0034]步骤((1-6)，制作滤波条；把晶元固定在密封盒(18)内，在晶元的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关(16),每个mems光开关的挡光镜(15)分别伸缩式插入连接在滤波通孔中，并在挡光镜底端固定连接有一块滤波条(7)，所述滤波条由若干块水平布置的能分别过滤不同波长分信号光的滤光片组成，本实例滤光片有三片，分别为滤波片71、滤波片72和滤波片73。滤波片的反射面所在的平面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直。在滤波条的底端固定连接有一个两面均为凸曲面的聚焦凸透镜(8)。
[0035]采用实例的方案所制作出的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器，包括衬底层，通过CVD方法在衬底层的上表面上沉积制作下包层，通过CVD方法在下包层的上表面上沉积制作芯层；采用光刻和刻蚀在芯层上制作波导光路；如果设芯层上输入的总信号光中包含的分信号光的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路、N-1条滤波波导光路和一条入射波导光路；采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路的后端和最后一条反射波导光路的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路；采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；采用光刻和刻蚀，从每个反射点处正上方的上包层上分别往下制作滤波通孔，滤波通孔从上包层穿入，并经过芯层和下包层后从衬底层上穿出；在制作好滤波通孔后把连接在一起的衬底层、芯层和下包层切割成晶元；在制作好滤波通孔后，并在切割成晶元之前，先在滤波通孔中用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的半平面凸透镜，且半平面凸透镜的平面朝向反射波导光路布置，半平面凸透镜的弧形曲面朝向滤波条布置，并且半平面凸透镜的平面与滤波条平行；把晶元固定在密封盒内，在晶元的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关，每个mems光开关的挡光镜分别伸缩式插入连接在滤波通孔中，并在挡光镜底端固定连接有一块滤波条，所述滤波条由若干块水平布置的能分别过滤不同波长分信号光的滤波片组成。滤波片的反射面所在的平面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直。在滤波条的底端固定连接有一个两面均为凸曲面的聚焦凸透镜。
[0036]实例采用半导体技术在芯层上制作波导光路，该波导光路使得产品部件结构少，光在传输的过程中的损耗小，能均匀实现多个信号光波长的复用和解复用，每个滤波波导光路上的分信号光能调节。实例采用半导体技术在芯层上制作反射波导光路、滤波波导光路和入射波导光路，并在反射波导光路的反射点处设置滤波通孔(6)，在每个滤波通孔(6)内安装有一条能把照射到该滤光片上的其中一条分信号光过滤掉的滤光片，经滤波片过滤的分信号光能在滤波波导光路继续传输，经滤波片反射的分信号光能在反射波导光路继续传输。通过实例制作得到的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器在使用时，假如总信号光13包括五条分信号光。当包括五条分信号光14的总信号光13从入射波导光路I射入后，五条分信号光中的一号分信号光经第一个滤波片过滤后从滤波波导光路41射出；另外的四条分信号光经第一个滤光片反射后进入第一条反射波导光路21。然后这四条分信号光中的二号分信号光3经第二个滤波片过滤后从滤波波导光路42射出，另外的三条分信号光经第二个滤光片反射后进入第二条反射波导光路22。然后这三条分信号光中的三号分信号光经第三个滤波片过滤后从滤波波导光路43射出，另外的两条分信号光经第三个滤光片反射后进入第三条反射波导光路23。然后这两条分信号光中的四号分信号光经第四个滤波片过滤后从滤波波导光路44射出，另外的一条分信号光经第四个滤光片反射后进入最后一条反射波导光路24。根据光的可逆性原理，如果把与滤波片对应的分信号光从对应的滤波片所在的滤波波导光路射入，则各个分信号光最终从入射波导光路射出，从而实现总信号光与分信号光的复用与解复用。
[0037]参见图5、图7所示，当要更换一种滤波波导光路42上输出的分信号光，那么就借助mems光开关(16)对滤波条7进行调节，让滤波条上对应的滤波片73对准滤波波导光路42，那么从滤波波导光路42输出的光就符合要求。同理，如果把滤波条上对应的滤波片72对准滤波波导光路42，或者把滤波条上对应的滤波片71对准滤波波导光路42，也会输出与对应滤波片所对应的分信号光。
[0038]当要挡光时候，把挡光镜15对准滤波波导光路42，即可实现挡光作业。
[0039]当要让若干的分信号光从滤波波导光路42输出，则让聚焦凸透镜(8)对准滤波波导光路42，这样就能够让多种分信号光从滤波波导光路42输出。
[0040]本实例实现了输出分信号光的自动调节，并根据分信号光的可逆性就能实现波分复用与解复用。本实例不仅结构制造简单，可靠性高，还便于对滤波片进行调节，能保证分信号光在反射波导光路中的传输路径与反射波导光路的轴心线平行，传输效果较好，损耗较小，进而使得本发明的复用与解复用效果较佳。凸透镜与滤光片配合，让滤除的分信号光在滤波波导光路传输的路径比较集中，从而让分信号光损耗小，传输效果更好。
[0041]上面结合附图描述了本发明的实施方式，但实现时不受上述实施例限制，本领域普通技术人员可以在所附权利要求的范围内做出各种变化或修改。
【权利要求】
1.一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器，其特征在于，包括衬底层，通过CVD方法在衬底层的上表面上沉积制作下包层，通过CVD方法在下包层的上表面上沉积制作芯层；采用光刻和刻蚀在芯层上制作波导光路；如果设芯层上输入的总信号光中包含的分信号光的条数为N条，N为正整数，那么波导光路包括N-1条反射波导光路、N-1条滤波波导光路和一条入射波导光路；采用光刻和刻蚀在芯层上设置N-1条反射波导光路，并且N-1条反射波导光路呈“W”字形状布置，除第一条反射波导光路的后端和最后一条反射波导光路的前端外，其它各条反射波导光路的后端与相邻后一条反射波导光路的前端连成于一体，其它各条反射波导光路的前端与相邻前一条反射波导光路的后端连成于一体，从而得到N-1个反射点，并且各个相邻两条反射波导光路之间的夹角的角平分线互相平行；采用光刻和刻蚀在芯层上的第一条反射波导光路的后端设有与第一条反射波导光路的后端连成于一体的入射波导光路，并且入射波导光路与第一条反射波导光路之间的夹角等于第一条反射波导光路与第二条反射波导光路之间的夹角；采用光刻和刻蚀在芯层上的每个反射点处分别向外设有滤波波导光路；采用光刻和刻蚀在芯层上把最后一条反射波导光路的前端在芯层上向外延伸；在各个反射波导光路、滤波波导光路、入射波导光路以及下包层上通过CVD方法沉积制作上包层；采用光刻和刻蚀，从每个反射点处正上方的上包层上分别往下制作滤波通孔，滤波通孔从上包层穿入，并经过芯层和下包层后从衬底层上穿出；在制作好滤波通孔后把连接在一起的衬底层、芯层和下包层切割成晶元；把晶元固定在密封盒内，在晶元的每个滤波通孔处正上方的密封盒内壁上分别固定安装有一个mems光开关,每个mems光开关的挡光镜分别伸缩式插入连接在滤波通孔中，并在挡光镜底端固定连接有一块滤波条，所述滤波条由若干块水平布置的能分别过滤不同波长分信号光的滤波片组成。
2.根据权利要求1所述的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器，其特征在于，在制作好滤波通孔后，并在切割成晶元之前，先在滤波通孔中用UV紫外固化胶固定装有一面为平面另一面为弧形曲面的半平面凸透镜，且半平面凸透镜的平面朝向反射波导光路布置，半平面凸透镜的弧形曲面朝向滤波条布置，并且半平面凸透镜的平面与滤波条平行。
3.根据权利要求1所述的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器，其特征在于，滤波片的反射面所在的平面与该处两条反射波导光路之间的夹角的角平分线垂直。
4.根据权利要求1所述的一种具有开关调节功能的波分复用与解复用器，其特征在于，在滤波条的底端固定连接有一个两面均为凸曲面的聚焦凸透镜。
【文档编号】G02B6/132GK104459883SQ201410764627
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年12月12日 优先权日:2014年12月12日
【发明者】胡翱翔, 金兴弟 申请人:宁波天翔通讯设备有限公司