电光学装置以及电子设备的制作方法

文档序号:13150649阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种电光学装置,其特征在于,具备:基板;绝缘层,其被设置在所述基板上;以及槽,其被设置于所述绝缘层,在所述槽的内部形成有按第一电极、第一绝缘膜、第二电极、第二绝缘膜、第三电极的顺序依次层叠而形成的多个电容。2.根据权利要求1所述的电光学装置,其特征在于,在所述基板上设置有晶体管,所述多个电容被配置在所述晶体管之上。3.根据权利要求2所述的电光学装置,其特征在于,所述晶体管具有半导体层,所述槽被配置成在俯视时与所述半导体层重叠。4.根据权利要求1~3中任意一项所述的电光学装置,其特征在于,所述第一电极、所述第二电极以及所述第三电极是氮化钛,所述第一绝缘膜以及所述第二绝缘膜是High-k膜。5.一种电子设备,其特征在于,具备权利要求1~4中任意一项所述的电光学装置。
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