技术总结
本发明涉及一种纳米压印模版晶向对准装置，它的晶圆台顶面开设有开口向上的晶圆安装凹槽，模版吸附夹具的底面开设有开口向下的压印模版凹槽，第二电极图形板安装在晶圆台顶面，第一电极图形板安装在模版吸附夹具的底面，第一电极图形板与第二电极图形板内的电极图形为互补电极图形，第一电极图形板的正负极与电阻计对应的正负极相连，模版吸附夹具安装在微调台上，微调台用于对模版吸附夹具的位置进行调整，吸附控制系统用于控制模版吸附夹具的吸附端对压印模版的吸附，所述晶圆的晶向与第二电极图形板平行，压印模版中的模版图形方向与第一电极图形板平行。本发明结构简单，精度高。
技术研发人员：孙晋武
受保护的技术使用者：武汉红星杨科技有限公司
文档号码：201611051657
技术研发日：2016.11.25
技术公布日：2017.05.10