技术总结
本发明提供了一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，包括观察窗本玻璃压板及玻璃冷却板；观察窗本体包括玻璃固定板和玻璃固定板上安装的观察玻璃；所述玻璃冷却板上设有环形的导流沟槽，玻璃压板上安装有吹扫装置，导流沟槽与吹扫装置的送气口相通，在玻璃冷却板上设有与导流沟槽相通的若干进气孔，各个进气孔的吹气方向均朝向观察玻璃；玻璃冷却板上设有用于与沉积腔体门密封的第一密封件；玻璃压板上设有用于与所述玻璃固定板之间密封的第二密封件、以及用于与所述观察玻璃之间密封的第三密封件。本发明结构简单，设计合理，保证观察玻表面的透明度，使得整个沉积工艺过程中，激光发射端发射的激光，接收端都能够稳定接收。
技术研发人员：沈小平;王祥;蒋小强;满小忠;向德成;张峰伟
受保护的技术使用者：江苏通鼎光棒有限公司
文档号码：201611251596
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.05.31