曝光装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种曝光装置，所述曝光装置包括：分光装置，所述分光装置具有一个或者多个入射口以及多个出射口；及一盏曝光灯，所述曝光灯位于所述分光装置的入射口一侧。在本申请提供的曝光装置中仅采用一盏曝光灯，由此便可避免照度不均的问题，从而也就能避免边缘光刻胶的曝光程度不同的问题，即能够提高曝光效果。同时，在本申请提供的曝光装置中，通过分光装置能够将一个入射光分成多个出射光，由此，同样能够实现通过一次曝光工艺，便使得一整个条形区域的边缘光刻胶进行曝光。同时，本申请提供的曝光装置还能节约曝光灯的更换时间，降低生产成本。
【专利说明】
曝光装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及光刻技术领域，特别涉及一种曝光装置。
【背景技术】
[0002]在半导体光刻工艺中，涂有光刻胶的硅片由于传输等原因，常常导致硅片边缘的光刻胶有脱落、污染等现象，这些现象会对后续工艺带来各种影响，导致芯片的缺陷。因此，需要对硅片边缘光刻胶进行去除。
[0003]在集成电路后封装中，电镀工艺是重要的工艺步骤之一，其利用硅片的边缘做阳极，硅片中间的电镀窗口做阴极，然后在阴阳两极之间加一定的直流工作电压，通过控制电流大小及电镀槽中电镀液的浓度来控制金属凸块的高度。由于光刻胶不导电，因此在电镀工艺之前也需将硅片边缘的光刻胶去掉。
[0004]硅片边缘曝光是常用的一种去除硅片边缘光刻胶的方法，具有精度高，可控性好等优点，能够实现硅片边缘曝光的曝光装置通常作为子系统集成于光刻设备中或者作为单独边缘曝光设备提供给集成电路生产者。
[0005]采用现有的曝光装置实现硅片边缘曝光时，经常出现边缘光刻胶的曝光程度不同的问题。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的在于提供一种曝光装置，以解决现有的曝光装置实现硅片边缘曝光时，经常出现边缘光刻胶的曝光程度不同的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种曝光装置，所述曝光装置包括:
[0008]分光装置，所述分光装置具有一个或者多个入射口以及多个出射口；及
[0009]—盏曝光灯，所述曝光灯位于所述分光装置的入射口一侧。
[0010]可选的，在所述的曝光装置中，所述分光装置为分光光纤。
[0011]可选的，在所述的曝光装置中，所述曝光装置还包括:匀光装置，所述匀光装置位于所述分光装置的出射口一侧。
[0012]可选的，在所述的曝光装置中，所述匀光装置为蝇眼。
[0013]可选的，在所述的曝光装置中，所述蝇眼的数量为多个。
[0014]可选的，在所述的曝光装置中，所述蝇眼的数量与所述出射口的数量相同，并且所述蝇眼与所述出射口一一对应设置。
[0015]可选的，在所述的曝光装置中，所述曝光灯的功率为2kw?4kw。
[0016]可选的，在所述的曝光装置中，所述曝光装置还包括:固定支架，所述分光装置、曝光灯及匀光装置均固定于所述固定支架上。
[0017]可选的，在所述的曝光装置中，所述分光装置、曝光灯及匀光装置之间的距离能够调节。
[0018]可选的，在所述的曝光装置中，所述固定支架为带有固定孔的导轨。
[0019]发明人对现有的能够实现硅片边缘曝光的曝光装置进行了深入的研究后发现，采用现有的曝光装置实现硅片边缘曝光时，经常出现边缘光刻胶的曝光程度不同的问题的原因在于:在现有技术中，为了能够通过一次曝光工艺，便实现对于一整个条形区域的边缘光刻胶进行曝光，常采用三盏曝光灯作为光源，由于每盏曝光灯的照度存在差异，因此曝光灯之间的照度均一性也较差，从而导致曝光后经常出现边缘光刻胶的曝光程度不同的问题。
[0020]基此，发明人提出了本申请，提供一种曝光装置，所述曝光装置包括:分光装置，所述分光装置具有一个或者多个入射口以及多个出射口；及一盏曝光灯，所述一盏曝光灯位于所述分光装置的入射口一侧。在本申请提供的曝光装置中仅采用一盏曝光灯，由此便可避免照度不均的问题，从而也就能避免边缘光刻胶的曝光程度不同的问题，即能够提高曝光效果。同时，在本申请提供的曝光装置中，通过分光装置能够将一个入射光分成多个出射光，由此，同样能够实现通过一次曝光工艺，便使得一整个条形区域的边缘光刻胶进行曝光。
[0021]此外，本申请提出的曝光装置还具有如下有益效果:曝光灯使用了一定时间后需要更换，在现有技术中，由于一次需要更换的曝光灯比较多，因此每次更换曝光灯往往都需要两个小时以上的时间；而本申请提出的曝光装置中，每次仅需要更换一个曝光灯，因而大大节约了曝光灯的更换时间，此外还节省了相应费用，即降低了生产成本。
【附图说明】
[0022]图1是本实用新型实施例的曝光装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的曝光装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0024]请参考图1，其为本实用新型实施例的曝光装置的结构示意图。如图1所示，所述曝光装置I包括:分光装置10，所述分光装置10具有一个或者多个入射口 100以及多个出射口101;及一盏曝光灯11，所述曝光灯11位于所述分光装置10的入射口 100—侧。
[0025]发明人对现有的能够实现硅片边缘曝光的曝光装置进行了深入的研究后发现，采用现有的曝光装置实现硅片边缘曝光时，经常出现边缘光刻胶的曝光程度不同的问题的原因在于:在现有技术中，为了能够通过一次曝光工艺，便实现对于一整个条形区域的边缘光刻胶进行曝光，常采用三盏曝光灯作为光源，由于每盏曝光灯的照度存在差异，因此曝光灯之间的照度均一性也较差，从而导致曝光后经常出现边缘光刻胶的曝光程度不同的问题。
[0026]基此，发明人提出了上述曝光装置I，所述曝光装置I中仅采用一盏曝光灯11，由此便可避免照度不均的问题，从而也就能避免边缘光刻胶的曝光程度不同的问题，即能够提高曝光效果。同时，在所述曝光装置I中，通过分光装置10能够将一个入射光分成多个出射光，由此，同样能够实现通过一次曝光工艺，便使得一整个条形区域的边缘光刻胶进行曝光。
[0027]所述曝光装置I还具有如下有益效果:曝光灯使用了一定时间后需要更换，在现有技术中，由于一次需要更换的曝光灯比较多，因此每次更换曝光灯往往都需要两个小时以上的时间；而所述曝光装置I中，每次仅需要更换一个曝光灯11，因而大大节约了曝光灯11的更换时间，此外还节省了相应费用，即降低了生产成本。
[0028]在本申请实施例中，所述分光装置10采用分光光纤。在本申请的其他实施例中，所述分光装置10也可以采用其他器件，其只要能够将一束光线分成多束光线即可。此外，若所述分光装置1具有多个入射口 100亦可，例如，可以具体使用时仅使用其中一个入射口 100。当然，其需要有多个出射口 101，以便经过所述分光装置10后能够发出多束光线。
[0029]进一步的，所述曝光装置I还包括匀光装置12，所述匀光装置12位于所述分光装置10的出射口 101—侧。通过所述匀光装置12能够将所述分光装置10发出的光线均匀化，从而在对边缘光刻胶曝光时，可以提高曝光效果。
[0030]在本申请实施例中，所述匀光装置12采用蝇眼。进一步的，所述蝇眼的数量为多个。优选的，所述蝇眼的数量与所述出射口 101的数量相同，并且所述蝇眼与所述出射口 101一一对应设置。即，在每个出射口 101的一侧均设置有一个蝇眼，从而可以保证每个出射口101所发出的光线都能够最好的被均匀化。进一步的，每个蝇眼距出射口 101的距离都相等，从而使得每个蝇眼所起到的均匀化效果相当，进而可以进一步提高曝光效果。
[0031]优选的，所述曝光灯11的功率为2kw?4kw。例如，所述曝光灯11的功率为2kw、2.21^、2.51^￥、310￥、3.31^、3.81^或者410￥。通常的，所述曝光灯11所选用的功率较目前所用的曝光灯的功率大，以便能够更好的提供曝光光源。
[0032]进一步的，所述曝光装置I还可包括:固定支架(图1中未示出)，所述分光装置10、曝光灯11及匀光装置12均可固定于所述固定支架上。其中，所述分光装置10、曝光灯11及匀光装置12之间的距离能够调节，由此，可以根据不同的曝光需要实时调整所述分光装置10、曝光灯11及匀光装置12之间的距离，从而满足不同的曝光需求。
[0033]优选的，所述固定支架为带有固定孔的导轨。由此，当需要调整所述分光装置10、曝光灯11及匀光装置12之间的距离时，可以使得所述分光装置10、曝光灯11或者匀光装置12沿着所述导轨运动，从而改变所述分光装置10、曝光灯11及匀光装置12之间的距离；当所述分光装置10、曝光灯11及匀光装置12之间的距离确定后，便可使用一固定装置将相应的分光装置10、曝光灯11或者匀光装置12固定于固定孔上，由此，方便的便可实现将分光装置10、曝光灯11及匀光装置12固定于固定支架上。
[0034]进一步的，所述曝光装置I还可包括常规的晶圆承载台等部件，对此本申请实施例不再赘述。
[0035]综上可见，本申请提出的曝光装置能够避免照度不均的问题，从而也就能避免边缘光刻胶的曝光程度不同的问题，即能够提高曝光效果；同时，其还能节约曝光灯的更换时间，降低生产成本。
[0036]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【主权项】
1.一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置包括: 分光装置，所述分光装置具有一个或者多个入射口以及多个出射口；及 一盏曝光灯，所述曝光灯位于所述分光装置的入射口 一侧。2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述分光装置为分光光纤。3.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光装置还包括:匀光装置，所述匀光装置位于所述分光装置的出射口 一侧。4.如权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述匀光装置为蝇眼。5.如权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述蝇眼的数量为多个。6.如权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，所述蝇眼的数量与所述出射口的数量相同，并且所述蝇眼与所述出射口 一一对应设置。7.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光灯的功率为2kw?4kw。8.如权利要求4?7中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光装置还包括:固定支架，所述分光装置、曝光灯及匀光装置均固定于所述固定支架上。9.如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，所述分光装置、曝光灯及匀光装置之间的距离能够调节。10.如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，所述固定支架为带有固定孔的导轨。
【文档编号】G03F7/20GK205721073SQ201620608378
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月20日
【发明人】宁鹏飞
【申请人】昆山国显光电有限公司