能有效减少大理石横梁长度的方法与流程

文档序号:12785542阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种能有效减少大理石横梁长度的方法,包括大理石横梁(2)以及安装于所述大理石横梁(2)上的光路轴(1),在大理石横梁(2)的下方设有左台面(3)以及右台面(4),所述左台面(3)、右台面(4)在大理石横梁(2)下方呈并置式放置;其特征是:在进行曝光时,放置于左台面(3)上的左台面板体与放置于右台面(4)上的右台面板体呈对称式放置。

2.根据权利要求1所述的能有效减少大理石横梁长度的方法,其特征是:所述左台面板体、右台面板体为PCB板或晶圆。

3.根据权利要求1所述的能有效减少大理石横梁长度的方法,其特征是:所述大理石横梁(2)通过横梁支撑立柱(6)安装于平台底座(7)上,在所述平台底座(7)上还设有与左台面(3)、右台面(4)配合的台面导轨(8)。

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