技术总结
本发明涉及一种方法，尤其是一种能有效减少大理石横梁长度的方法，属于直写式光刻胶的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述能有效减少大理石横梁长度的方法，包括大理石横梁以及安装于所述大理石横梁上的光路轴，在大理石横梁的下方设有左台面以及右台面，所述左台面、右台面在大理石横梁下方呈并置式放置；在进行曝光时，放置于左台面上的左台面板体与放置于右台面上的右台面板体呈对称式放置。本发明有效减少大理石横梁的长度，减少占用面积，降低光刻机的重量，提高光刻机安装环境的适应能力，减小光路轴的行程，降低光光刻机的成本。
技术研发人员：袁征;王艳升
受保护的技术使用者：无锡影速半导体科技有限公司
文档号码：201710131733
技术研发日：2017.03.07
技术公布日：2017.06.30