技术特征：
技术总结
一种基于加载条形结构的有源复合光波导及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。其一由硅片衬底、二氧化硅下包层、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、聚合物上包层和共面波导CPW调制电极(11)组成；其二由硅片衬底、MSL下电极、具有MZI波导凹槽结构的聚合物下包层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、聚合物上包层和MSL型上电极(21)组成。本发明所述的加载条形有源复合光波导结构可以实现传统单一波导的多功能集成，并且器件的制作工艺简单，制作成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。
技术研发人员：王希斌;姜明慧;张大明;王菲;张美玲;许强
受保护的技术使用者：吉林大学
技术研发日：2017.11.17
技术公布日：2018.03.13