边缘涂布装置和光刻胶涂布设备的制作方法

文档序号:17853528发布日期:2019-06-11 22:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种边缘涂布装置,其特征在于,包括:

吸附单元,所述吸附单元用于吸附晶圆并控制所述晶圆旋转,所述晶圆的边缘包括第一位置和第一位置相对的第二位置;

第一喷吐单元,所述第一喷吐单元包括第一喷嘴,所述第一喷吐单元控制第一喷嘴喷吐光刻胶;

第二喷吐单元,所述第二喷吐单元包括第二喷嘴,所述第二喷吐单元控制第二喷嘴喷吐光刻胶;

驱动单元,在进行边缘涂布时,所述吸附单元控制晶圆旋转,所述驱动单元控制所述第一喷吐单元和第二喷吐单元移动到晶圆上方,使得第一喷嘴位于晶圆边缘的第一位置上方,第二喷嘴位于晶圆边缘的第二位置上方,第一喷吐单元和第二喷吐单元控制所述第一喷嘴和第二喷嘴同时向旋转的晶圆的边缘喷吐光刻胶。

2.如权利要求1所述的边缘涂布装置,其特征在于,所述第一喷吐单元还包括第一连杆、第一光刻胶管道和第一控制阀,所述第一连杆的前端固定第一喷嘴,所述第一喷嘴与第一光刻胶管道连接,所述第一控制阀设置于第一光刻胶管道上,用于控制第一喷嘴的喷吐和关闭。

3.如权利要求2所述的边缘涂布装置,其特征在于,所述第二喷吐单元还包括第二连杆、第二光刻胶管道和第二控制阀,所述第二连杆的前端固定第二喷嘴,所述第二喷嘴与第二光刻胶管道连接,所述第二控制阀设置于第二光刻胶管道上,用于控制第二喷嘴的喷吐和关闭。

4.如权利要求3所述的边缘涂布装置,其特征在于,所述第一连杆的长度小于第二连杆的长度,所述驱动单元位于吸附单元一侧,所述驱动单元包括一电机,所述电机的转轴上固定有第一齿轮和第二齿轮,所述第一连杆的后端固定有第三齿轮,所述第三齿轮与第一齿轮咬合,所述第二连杆的后端固定有第四齿轮,第四齿轮与第二齿轮咬合,在进行边缘涂布时,当电机的转轴旋转到某个角度时,带动第一齿轮和第三齿轮转动使得第一连杆的前端的第一喷嘴移动到晶圆边缘的第一位置上方,同时带动第二齿轮和第四齿轮转动使得第二连杆的前端的第二喷嘴移动到晶圆边缘的第二位置上方。

5.如权利要求3所述的边缘涂布装置,其特征在于,所述驱动单元包括第一电机和第二电机,第一电机的转轴与第一连杆的后端连接,第二电机的转轴与第二连杆的后端连接,在进行边缘涂布时,第一电机驱动第一连杆旋转,使得第一连杆上的第一喷嘴移动到晶圆边缘的第一位置上方,第二电机驱动第二连杆旋转,使得第二连杆上的第二喷嘴移动到晶圆边缘的第二位置上方。

6.如权利要求1所述的边缘涂布装置,其特征在于,所述第一喷吐单元的第一喷嘴和第二喷吐单元的第二喷嘴固定在同一连杆上,所述第二喷嘴固定于连杆的前端,所述第一喷嘴固定于连杆的中部区域,第一喷嘴和第二喷嘴之间的直线距离等于第一位置和第二位置之间的直线距离。

7.如权利要求6所述的边缘涂布装置,其特征在于,所述驱动单元包括一电机,所述电机位于吸附单元一侧,所述电机的转轴与连杆的后端连接,在进行边缘涂布时,所述电机驱动连杆旋转,使得连杆上的第一喷嘴移动到晶圆边缘的第一位置上方,连杆上的第二喷嘴移动到晶圆边缘的第二位置上方。

8.如权利要求6所述的边缘涂布装置,其特征在于,所述驱动单元包括一横向导轨和一电机,横向导轨上具有滑块,所述滑块与连杆固定连接,所述滑块还与电机的转轴连接,在进行边缘涂布时,电机的转轴转动,带动滑块在导轨上横向移动,从而使得连杆横向移动到晶圆上方,使连杆上的第一喷嘴位于晶圆边缘的第一位置上方,连杆上的第二喷嘴位于晶圆边缘的第二位置上方。

9.如权利要求1所述的边缘涂布装置,其特征在于,在进行边缘涂布时,从第一喷嘴和第二喷嘴喷吐光刻胶的时刻开始,所述晶圆旋转至少一圈,以在晶圆的边缘表面形成光刻胶层。

10.一种光刻胶涂布设备,所述光刻胶涂布设备包括涂布腔室,其特征在于,所述涂布腔室中包括如权利要求1~9任一项所述的边缘涂布装置。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1