一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置的制作方法

本实用新型涉及光刻机领域，特别涉及一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置。

背景技术：

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等，光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动。

现有的技术存在以下问题：

1、现有的无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置均无清除灰尘装置，在进行光刻时，光刻部位的细微灰尘及杂质，导致光刻的深度及范围发生变化，严重影响光刻的精度及质量。

2、现有的无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置均无清除烟尘装置，在进行光刻时，光刻部位会产生烟尘，烟尘飘散遮挡激光的路径，导致激光的能将降低，影响光刻质量。

技术实现要素：

本实用新型提供一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置，旨在解决现有的灰尘阻挡及烟尘降低激光能量的问题。

本实用新型是这样实现的，一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置，包括激光调节头和调节手柄，所述激光调节头的输出端连接有激光传输头，所述激光传输头的输出端连接有聚焦头，所述调节手柄连接于所述激光传输头的侧壁，包括温度传感器和连接座，所述温度传感器固定连接于所述激光传输头的外壁，所述连接座固定连接于所述激光调节头的外壁，所述连接座的出气端固定连接有输送管，所述输送管的另一端固定连接有高速喷头，所述连接座的出气端固定连接有连接管，所述激光传输头的夹层内绕设有冷却管，所述连接管与所述冷却管的一端固定连接，所述激光传输头的外壁底端固定连接有环形管，所述冷却管的出气端与所述环形管的进气端固定连接，所述温度传感器与光刻机控制器信号连接，所述温度传感器与外部电源电性连接。

优选的，所述连接座的侧壁固定连接有开关，所述连接座的顶端固定连接有输气管。

优选的，所述输送管位于所述连接座的底端，且所述输送管可进行角度调节。

优选的，所述连接管位于所述连接座的一侧，且所述连接管、所述冷却管和所述环形管的材质均为铜。

优选的，所述冷却管绕设与所述激光传输头的夹层靠近所述聚焦头的位置处，且所述冷却管的顶端位于所述调节手柄的下方。

优选的，所述温度传感器固定连接于所述激光传输头设有所述冷却管一端的外壁。

优选的，所述环形管的外壁开设有气体喷口，所述气体喷口的数量为若干个均匀分布在所述环形管的一周。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、在激光的作用下，调制装置工作时会产生大量的热，通过温度传感器可实时监测激光传输头的温度，并进行信号转化传输至光刻机的控制中心，在进行光刻时，通过调整输送管，将高速喷头对准光刻部位，高压气体始终作用在光刻部位，高压气体将光刻部位表面的灰尘吹离，使得光刻的精度及质量进一步提高。

2、在设备进行光刻工作时，同时高压气体通过连接管输送至冷却管，通过冷却管对激光传输头进行持续降温，且高压气体通过环形管上的气体喷口喷出，可将激光雕刻产生的烟尘吹离，保证激光的通过性，降低激光能量的损耗。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型的后侧结构图；

图3为本实用新型的冷却管结构图；

图4为本实用新型的环形管结构图。

图中，1、激光调节头；11、激光传输头；12、聚焦头；2、调节手柄；3、温度传感器；4、连接座；401、开关；402、输气管；41、输送管；42、高速喷头；43、连接管；44、冷却管；45、环形管；451、气体喷口。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置技术方案：一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置，包括激光调节头1和调节手柄2，激光调节头1的输出端连接有激光传输头11，激光传输头11的输出端连接有聚焦头12，调节手柄2连接于激光传输头11的侧壁，包括温度传感器3和连接座4，温度传感器3固定连接于激光传输头11的外壁，连接座4固定连接于激光调节头1的外壁，连接座4的出气端固定连接有输送管41，输送管41的另一端固定连接有高速喷头42，连接座4的出气端固定连接有连接管43，激光传输头11的夹层内绕设有冷却管44，连接管43与冷却管44的一端固定连接，激光传输头11的外壁底端固定连接有环形管45，冷却管44的出气端与环形管45的进气端固定连接，温度传感器3与光刻机控制器信号连接，温度传感器3与外部电源电性连接，在激光的作用下，调制装置工作时会产生大量的热，通过温度传感器3可实时监测激光传输头11的温度，并进行信号转化传输至光刻机的控制中心，温度传感器3的型号为PT100，在进行光刻时，通过调整输送管41，将高速喷头42对准光刻部位，高压气体始终作用在光刻部位，高压气体将光刻部位表面的灰尘吹离，使得光刻的精度及质量进一步提高，同时高压气体通过连接管43输送至冷却管44，通过冷却管44对激光传输头11进行持续降温，且高压气体通过环形管45上的气体喷口451喷出，可将激光雕刻产生的烟尘吹离，保证激光的通过性，降低激光能量的损耗。

具体的，连接座4的侧壁固定连接有开关401，连接座4的顶端固定连接有输气管402；外部气站通过输气管402对高压气体进行输送，并由开关401进行流量控制。

具体的，输送管41位于连接座4的底端，且输送管41可进行角度调节；进一步减小输送管41的干涉空间，并通过调节输送管41实现将将高速喷头42对准光刻部位。

具体的，连接管43位于连接座4的一侧，且连接管43、冷却管44和环形管45的材质均为铜；激光传输头11的温度较高，铜材质的连接管43、冷却管44和环形管45不易受高温变形，且铜的导热性较好，有利于冷却降温。

具体的，冷却管44绕设与激光传输头11的夹层靠近聚焦头12的位置处，且冷却管44的顶端位于调节手柄2的下方；在实现冷却管44对激光传输头11进行冷却的同时，不会对调节手柄2的调节造成影响。

具体的，温度传感器3固定连接于激光传输头11设有冷却管44一端的外壁；温度传感器3可实时激光传输头11冷却后的温度，从而及时做出调整。

具体的，环形管45的外壁开设有气体喷口451，气体喷口451的数量为若干个均匀分布在环形管45的一周；可将聚焦头12一周的烟尘进行吹离，保证激光的通过性，降低激光能量的损耗。

本实用新型的工作原理及使用流程：启动设备，调整激光传输头11及聚焦头12进行光刻，在激光的作用下，调制装置工作时会产生大量的热，通过温度传感器3可实时监测激光传输头11的温度，并进行信号转化传输至光刻机的控制中心，在进行光刻时，通过调整输送管41，将高速喷头42对准光刻部位，高压气体始终作用在光刻部位，高压气体将光刻部位表面的灰尘吹离，使得光刻的精度及质量进一步提高，同时高压气体通过连接管43输送至冷却管44，通过冷却管44对激光传输头11进行持续降温，且高压气体通过环形管45上的气体喷口451喷出，可将激光雕刻产生的烟尘吹离，保证激光的通过性，降低激光能量的损耗。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。