背开透射式MEMS芯片、MEMS照明系统及汽车的制作方法

本申请涉及照明器械的技术领域，具体而言，涉及一种背开透射式MEMS芯片、MEMS照明系统及汽车。

背景技术：

MEMS即微机电系统(英文全称：MicroElectromechanicalSystem)，它是指由半导体材料或其它适用于微加工的材料构成的可控的微机械结构系统。它是一种尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。

目前，照明使用的MEMS芯片以DLP(DigitalLightProcessing，数字光处理)的透射式方案为主流，也有通过双轴单个微挡光片做扫描的方案。这些方案都有其局限性：DLP的光学系统复杂，光源的利用率低；单镜双轴扫描的方案，如果是逐行扫描，会使整体照明强度变低；如果是适量扫描，其成像的分辨率就有限，不适用于整体面光源的照明。透射式的MEMS芯片能够解决上述的局限性，可用简单的光学系统，做到极高的光源利用率，并且其阵列的方案非常适合整体面光源的照明。

现有技术中，透射式的MEMS芯片的微挡光片阵列中，微挡光片阵列中，相邻两行之间的间距相等，且现有的微挡光片阵列中每个微挡光片的弯曲方向即打开方向相同，且各个微挡光片之间留有间隙，当光透射过该微挡光片阵列后会发生漏光现象，产生亮线，即可看到明显的明暗截止线，使得光照效果不好。

技术实现要素：

本申请的目的在于提供一种背开透射式MEMS芯片，以解决现有技术中的光照效果不好的技术问题。

本申请的另一目的在于提供一种MEMS照明系统，以解决现有技术中的光照效果不好的技术问题。

本申请的另一目的在于提供一种汽车，以解决现有技术中的光照效果不好的技术问题。

本申请的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种背开透射式MEMS芯片，包括封装框架和驱动机构，所述封装框架的顶面上开设有透光通道，所述封装框架上连接有用于开启或关闭透光通道的微挡光片阵列，所述微挡光片阵列包括多个阵列式排布的微挡光片，所述驱动机构与所述微挡光片阵列连接，并用于驱动各个微挡光片弯曲；

各个微挡光片的两端分别为固定端和自由端，所述固定端固定在所述封装框架上，所述自由端在所述驱动机构驱动所述微挡光片弯曲后能形成弯曲端；

所述微挡光片阵列至少包括第一个微挡光片组和第二个微挡光片组，其中，在所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组处于平直状态时，所述第一个微挡光片组中的微挡光片与所述第二个微挡光片组中的微挡光片具有上下交叠部分；

在所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组处于弯曲状态时，所述第一个微挡光片组的弯曲端和所述第二个微挡光片组弯曲端分别位于所述封装框架顶面的两侧。

驱动机构用于使能活动的微挡光片的镜面发生转动或平动，从而达到利用微挡光片阵列开启或关闭透光通道的效果。而驱动机构的驱动方式包括但不限于静电、磁力、电流、电热、压电或者温度。驱动机构为对各个微挡光片进行单独控制，可实现单个像素点处透光状态的单独控制，从而灵活地调节照明光型，并且实现高像素的照明显示。其中，第一个微挡光片组中至少包括两个微挡光片。第二个微挡光片组中至少包括两个微挡光片。

弯曲状态即各个微挡光片弯曲的状态，即像素开启的状态。故当微挡光片发生弯曲、转动或平动后，则微挡光片阵列成翘曲状态，达到打开透光通道的效果，而本背开透射式MEMS芯片的微挡光片阵列至少设有两组的微挡光片组，再令第一个微挡光片组和第二个微挡光片组中的微挡光片背对打开，透光通道和翘曲状态的微挡光片阵列形成透光窗口，光源发出的光线经该透光窗口射出。而两组微挡光片背对打开，可以避免相邻两组微挡光片在弯曲过程中发生碰撞，从而避免因相邻两组微挡光片相互避让的原因而影响对各个微挡光片弯曲变形量的控制方案，避免影响光照效果。

其中，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的上方，从侧面看，第一个微挡光片组的微挡光片均为向上弯曲，和第一个微挡光片组的微挡光片均为向下弯曲，形成类似“＜”的形状或者形成类似“ㄣ”的形状，即看上去两行微挡光片为背对打开。

平直状态即各个微挡光片不弯曲的状态，即像素关闭的状态。故当微挡光片不发生弯曲、转动或平动后，则微挡光片阵列成平直状态，达到关闭透光通道的效果。而本背开透射式MEMS芯片中，第一个微挡光片组和第二个微挡光片组中的微挡光片具有上下交叠部分，该上下交叠部分可以“堵住”两组微挡光片组之间的间隔，透光通道被遮光结构和平直状态的微挡光片阵列关闭，以减轻当像素关闭后发生的漏光现象，光源发出的光线被微挡光片阵列遮挡，则减弱亮线问题。

可选地，所述第一个微挡光片组的固定端和所述第二个微挡光片组的固定端均位于所述透光通道的同一侧壁上，

其中，所述第一个微挡光片组中的微挡光片被设置为一行，所述第二个微挡光片组中的微挡光片被设置为一行，所述第一个微挡光片组设于第二个微挡光片组的上方，

所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组为交错分布，所述第一个微挡光片组中的相邻两个所述微挡光片之间留有第一间隔，所述第二个微挡光片组中的相邻两个所述微挡光片之间留有第二间隔，且所述第一个微挡光片组中的微挡光片与第二间隔相对应，所述第二个微挡光片组中的微挡光片与第一间隔相对应。

透光通道可以为通孔状，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的上方，第一个微挡光片组中固定端指向自由端的方向和第二个微挡光片组中固定端指向自由端的方向相同。

第一个微挡光片组中的微挡光片在驱动机构的作用下沿逆时针方向转动或弯曲，第二个微挡光片组中的微挡光片在驱动机构的作用下沿顺时针方向转动或弯曲，从侧面看，第一个微挡光片组的微挡光片均为向上弯曲，和第一个微挡光片组的微挡光片均为向下弯曲，形成类似“＜”的形状，即看上去两行MEMS微挡光片为背对打开。

其中，第一个微挡光片组和第二个微挡光片组为交错分布，即第一个微挡光片组的微挡光片正好位于第二个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔的对应处，相应的，第二个微挡光片组的微挡光片正好位于第一个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔的对应处。其中，第一个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔，即第一个微挡光片组中的列与列之间的间隔；第二个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔，即第二个微挡光片组中的列与列之间的间隔。故，第一个微挡光片组和第二个微挡光片组的微挡光片在侧面具有上下交叠部分。

可选地，所述微挡光片阵列中，所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组构成一个微挡光片系列，且所述微挡光片阵列中至少包括两个微挡光片系列，所述两个微挡光片系列分别为第一个微挡光片系列和第二个微挡光片系列，

其中，所述第一个微挡光片系列的固定端和所述第二个微挡光片系列的固定端分别位于所述透光通道相对的两侧壁上；

所述第一个微挡光片系列的自由端为靠近所述第二个微挡光片系列设置，所述第二个微挡光片系列的自由端为靠近所述第一个微挡光片系列设置。

如此设置，无论第一个微挡光片系列和第二个微挡光片系列中微挡光片为对齐设置还是交错设置，则从侧面看，第一个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向和第二个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向成对称设置，则可以避免发生挡光，达到光效利用率提高的效果。

其中，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的上方，第一个微挡光片系列中固定端指向自由端的方向和第二个微挡光片系列中固定端指向自由端的方向相反。

在一实施例中，第一个微挡光片系列位于第二个微挡光片系列的左侧，当第一个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向为类似“＜”形，则第二个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向为类似“＞”形。

可选地，所述第一个微挡光片系列与所述第二个微挡光片系列为对称设置。

如此设置，则从侧面看，两个微挡光片系列中沿宽度(列排布)方向对齐的两组微挡光片之间具有高度差，一组是向上弯曲，一组是向下弯曲。且第一个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组成对齐设置，且均是向上弯曲的；第一个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组成对齐设置，且均是向下弯曲的。

进一步地，为避免干涉，第一个微挡光片系列和第二个微挡光片系列中微挡光片的长度之和小于透光通道的长度。即两个微挡光片系列中微挡光片的顶部即自由端不具有上下交叠部分。

可选地，所述第一个微挡光片系列中的第一个微挡光片组与所述第二个微挡光片系列中的第二个微挡光片组成对齐设置；所述第二个微挡光片系列中的第二个微挡光片组与所述第一个微挡光片系列中的第一个微挡光片组成对齐设置。

如此设置，第一个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组成交错设置，且均是向上弯曲的；第一个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组成交错设置，且均是向下弯曲的。则错了开第一组微挡光片、第二组微挡光片、第三组微挡光片和第四组微挡光片中各个微挡光片的运动轨迹，从而避免相邻两行微挡光片在弯曲过程中发生碰撞，从而避免为相邻各行微挡光片相互避让的原因而影响对各个微挡光片弯曲变形量的控制方案，避免影响光照效果。

可选地，在所述第一个微挡光片系列和所述第二个微挡光片系列处于平直状态时，所述第一个微挡光片系列中第一个微挡光片组的自由端与所述第二个微挡光片系列中第二个微挡光片组的自由端具有上下交叠部分；所述第二个微挡光片系列中第二个微挡光片组的自由端与所述第一个微挡光片系列中第一个微挡光片组的自由端具有上下交叠部分。

如此设置，则两个微挡光片系列中为对齐设置并具有高度差的两组微挡光片，在平直状态下，两组微挡光片的顶部即自由端相抵并上下交叠，从而“堵住”两个微挡光片系列之间微挡光片的间隔，以保证当像素关闭后不会发生漏光，确保像素完全光闭，避免产生亮线。

可选地，在所述第一个微挡光片系列中，第一个微挡光片组中单个微挡光片的宽度小于第二个微挡光片组中单个微挡光片的宽度；

在所述第二个微挡光片系列中，第二个微挡光片组中单个微挡光片的宽度小于第一个微挡光片组中单个微挡光片的宽度。

如此设置，则在第一个微挡光片系列中，位于上方的第一组微挡光片的单个微挡光片的宽度小，位于下方的第二组微挡光片的单个微挡光片的宽度大；而在第二个微挡光片系列中正好相反，位于上方的第一组微挡光片的单个微挡光片的宽度大，位于下方的第二组微挡光片的单个微挡光片的宽度小；从而可以避免微挡光片之间的运动干涉问题，减轻亮线问题。

可选地，所述第一个微挡光片组的固定端和所述第二个微挡光片组的固定端分别位于所述透光通道相对的两侧壁上；

所述第一个微挡光片组的自由端为靠近所述第二个微挡光片组设置，所述第二个微挡光片组的自由端为靠近所述第一个微挡光片组设置；

且在所述第一个微挡光片组和所述第二个微挡光片组处于平直状态时，所述第一个微挡光片组的自由端与所述第二个微挡光片组的自由端具有上下交叠部分；

其中，所述第一个微挡光片组中的微挡光片被设置为上下间隔的两行，所述第二个微挡光片组中的微挡光片被设置为上下间隔的两行。

如此设置，第一个微挡光片组中固定端指向自由端的方向和第二个微挡光片组中固定端指向自由端的方向相反。

在一实施例中，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的左侧，第一个微挡光片组中的两行微挡光片均为向上弯曲，第二个微挡光片组中的两行微挡光片均为向下弯曲。第一个微挡光片组和第二个微挡光片组中微挡光片的顶部即自由端具有上下交叠部分，可以减轻亮线问题。

进一步地，为避免各个微挡光片之间的运动干涉，第一个微挡光片组的两行微挡光片中的各个微挡光片在宽度方向相互之间具有间隔，第二个微挡光片组的两行微挡光片中的各个微挡光片在宽度方向相互之间具有间隔。

可选地，所述封装框架由上下配合的上框架和下框架装配而成，所述第一个微挡光片组设于所述上框架上，所述第二个微挡光片组设于所述下框架上。

只需将上框架和下框架以焊接、螺栓固定、插接、卡扣等连接方式装配固定在一起即可形成完整的封装框架。故可以先将第一个微挡光片组设于上框架上，第二个微挡光片组设于下框架上，再通过将上框架和下框架装配在一起形成完整的芯片。

可选地，所述驱动机构与各个所述微挡光片连接，并能控制各个所述微挡光片弯曲变形量来调节所述第一个微挡光片组中各个微挡光片和所述第二个微挡光片组中各个微挡光片之间留有的间隔大小来控制明暗截止线的生成；

所述第二个微挡光片系列中的各个所述微挡光片的长度小于所述第一个微挡光片系列中的各个所述微挡光片的长度。

其中，驱动机构通过控制各个微挡光片的镜面弯曲变形量，调整各个微挡光片镜面的弯曲比例，同时，驱动机构还可以令各个微挡光片的镜面弯曲变形量不同，进而控制每系列MEMS微挡光片系列中第一个微挡光片组中各个微挡光片和第二个微挡光片组中各个微挡光片之间留有的间隔大小，从而控制其光通量，控制明暗截止线的生成，便于调光。

两个系列的微挡光片长度不相同，则驱动机构控制各个微挡光片的镜面弯曲变形量时，很容易使得第一个微挡光片组的弯曲变形量大于第二个微挡光片组的弯曲变形量，更易控制控制明暗截止线的生成。

一种MEMS照明系统，包括光源和如上所述的背开透射式MEMS芯片，所述背开透射式MEMS芯片的所述微挡光片阵列在所述微挡光片弯曲后，能与所述透光通道形成透光窗口，所述光源发出的光线能经过所述透光窗口射出。

该MEMS照明系统与上述背开透射式MEMS芯片所具有的优势相同，在此不再赘述。

一种汽车，包括车灯总成，所述车灯总成包括如上所述的MEMS照明系统。

该汽车与上述MEMS照明系统所具有的优势相同，在此不再赘述。

基于此，本申请较之原有技术，具有不会发生漏光现象，不会产生亮线，光照效果好的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

附图1为本申请背开透射式MEMS芯片的实施例一在弯曲状态下的结构示意图；

附图2为本申请背开透射式MEMS芯片实施例一在弯曲状态下的剖视图；

附图3为附图2的A部放大图；

附图4为本申请背开透射式MEMS芯片实施例二在弯曲状态下的结构示意图；

附图5为本申请背开透射式MEMS芯片实施例二在弯曲状态下的剖视图；

附图6为本申请背开透射式MEMS芯片实施例三在弯曲状态下的结构示意图；

附图7为本申请背开透射式MEMS芯片实施例三在弯曲状态下的俯视图；

附图8为附图7的B部放大图；

附图9为本申请背开透射式MEMS芯片实施例四在平直状态下的剖视图；

附图10为本申请背开透射式MEMS芯片实施例五在平直状态下的俯视图；

附图11为附图10的E部放大图；

附图12为本申请背开透射式MEMS芯片实施例五在平直状态下的剖视图；

附图13为附图12的C部放大图；

附图14为本申请背开透射式MEMS芯片实施例六在平直状态下的俯视图；

附图15为附图14的D部放大图；

附图16为本申请背开透射式MEMS芯片实施例六在弯曲状态下的侧视图；

附图17为本申请背开透射式MEMS芯片实施例六在弯曲状态下的另一种侧视图；

附图18为本申请背开透射式MEMS芯片实施例七在弯曲状态下的爆炸图。

图标：1－封装框架；2－透光通道；31－第一个微挡光片组；32－第二个微挡光片组；311－第一间隔；321－第二间隔；4－第一个微挡光片系列；5－第二个微挡光片系列；61－固定端；62－自由端；621－弯曲端；7－上下交叠部分；11－上框架；12－下框架。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“液平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，并不表示排列序号，也不能理解为指示或暗示相对重要性。

下面结合附图，对本申请的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

背开透射式MEMS芯片的实施例一：

请参照图1、图2、图3，一种背开透射式MEMS芯片，包括封装框架1和驱动机构，封装框架1的顶面上开设有透光通道2，封装框架1上连接有用于开启或关闭透光通道2的微挡光片阵列，微挡光片阵列包括多个阵列式排布的微挡光片，驱动机构与微挡光片阵列连接，并用于驱动各个微挡光片弯曲；

各个微挡光片的两端分别为固定端61和自由端62，固定端61固定在封装框架1上，自由端62在驱动机构驱动微挡光片弯曲后能形成弯曲端621；

微挡光片阵列至少包括第一个微挡光片组31和第二个微挡光片组32，其中，在第一个微挡光片组31和第二个微挡光片组32处于平直状态时，第一个微挡光片组31中的微挡光片与第二个微挡光片组32中的微挡光片具有上下交叠部分7；

在第一个微挡光片组31和第二个微挡光片组32处于弯曲状态时，第一个微挡光片组31的弯曲端621和第二个微挡光片组32弯曲端621分别位于封装框架1顶面的两侧。

驱动机构用于使能活动的微挡光片的镜面发生转动或平动，从而达到利用微挡光片阵列开启或关闭透光通道的效果。而驱动机构的驱动方式包括但不限于静电、磁力、电流、电热、压电或者温度。驱动机构为对各个微挡光片进行单独控制，可实现单个像素点处透光状态的单独控制，从而灵活地调节照明光型，并且实现高像素的照明显示。其中，第一个微挡光片组中至少包括两个微挡光片。第二个微挡光片组中至少包括两个微挡光片。

弯曲状态即各个微挡光片弯曲的状态，即像素开启的状态。故当微挡光片发生弯曲、转动或平动后，则微挡光片阵列成翘曲状态，达到打开透光通道的效果，而本背开透射式MEMS芯片的微挡光片阵列至少设有两组的微挡光片组，再令第一个微挡光片组和第二个微挡光片组中的微挡光片背对打开，透光通道和翘曲状态的微挡光片阵列形成透光窗口，光源发出的光线经该透光窗口射出。而两组微挡光片背对打开，可以避免相邻两组微挡光片在弯曲过程中发生碰撞，从而避免因相邻两组微挡光片相互避让的原因而影响对各个微挡光片弯曲变形量的控制方案，避免影响光照效果。

其中，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的上方，从侧面看，第一个微挡光片组的微挡光片均为向上弯曲，和第一个微挡光片组的微挡光片均为向下弯曲，形成类似“＜”的形状或者形成类似“ㄣ”的形状，即看上去两行微挡光片为背对打开。

平直状态即各个微挡光片不弯曲的状态，即像素关闭的状态。故当微挡光片不发生弯曲、转动或平动后，则微挡光片阵列成平直状态，达到关闭透光通道的效果。而本背开透射式MEMS芯片中，第一个微挡光片组和第二个微挡光片组中的微挡光片具有上下交叠部分，该上下交叠部分可以“堵住”两组微挡光片组之间的间隔，透光通道被遮光结构和平直状态的微挡光片阵列关闭，以减轻当像素关闭后发生的漏光现象，光源发出的光线被微挡光片阵列遮挡，则减弱亮线问题。

请参照图1，第一个微挡光片组31的固定端61和第二个微挡光片组32的固定端61均位于透光通道2的同一侧壁上，

其中，第一个微挡光片组31中的微挡光片被设置为一行，第二个微挡光片组32中的微挡光片被设置为一行，第一个微挡光片组31设于第二个微挡光片组32的上方，

第一个微挡光片组31和第二个微挡光片组32为交错分布，第一个微挡光片组31中的相邻两个微挡光片之间留有第一间隔311，第二个微挡光片组32中的相邻两个微挡光片之间留有第二间隔321，且第一个微挡光片组31中的微挡光片与第二间隔321相对应，第二个微挡光片组32中的微挡光片与第一间隔311相对应。

透光通道可以为通孔状，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的上方，第一个微挡光片组中固定端指向自由端的方向和第二个微挡光片组中固定端指向自由端的方向相同。

第一个微挡光片组中的微挡光片在驱动机构的作用下沿逆时针方向转动或弯曲，第二个微挡光片组中的微挡光片在驱动机构的作用下沿顺时针方向转动或弯曲，从侧面看，第一个微挡光片组的微挡光片均为向上弯曲，和第一个微挡光片组的微挡光片均为向下弯曲，形成类似“＜”的形状，即看上去两行MEMS微挡光片为背对打开。

其中，第一个微挡光片组和第二个微挡光片组为交错分布，即第一个微挡光片组的微挡光片正好位于第二个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔的对应处，相应的，第二个微挡光片组的微挡光片正好位于第一个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔的对应处。其中，第一个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔，即第一个微挡光片组中的列与列之间的间隔；第二个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔，即第二个微挡光片组中的列与列之间的间隔。故，第一个微挡光片组和第二个微挡光片组的微挡光片在侧面具有上下交叠部分。

在本实施例中，第一个微挡光片组的微挡光片的宽度大于或者等于第二个微挡光片组中相邻两个微挡光片之间的间距；第二个微挡光片组的微挡光片的宽度大于或者等于第一个微挡光片组中相邻两个微挡光片之间的间距。如此设置，从整体看，可以使得微挡光片阵列中微挡光片之间沿列的排布方向不存在间隔，即第一个微挡光片组和第二个微挡光片组在沿微挡光片宽度方向上具有上下交叠处，使得第一个微挡光片组“堵住”第二个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔，第二个微挡光片组“堵住”第一个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔，则第一个微挡光片组可以在光透过第二个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔时起到一定的透射作用，第二个微挡光片组可以在光透过第一个微挡光片组中的相邻两个微挡光片之间的间隔时起到一定的透射作用，可以避免发生漏光现象，从而避免产生亮线，从而提高光照效果。

其中，第二个微挡光片组中相邻两个微挡光片之间的间距即第二个微挡光片组中的列间距，第一个微挡光片组的微挡光片的宽度即其沿列的排布方向的长度，故当第一个微挡光片组的微挡光片的宽度大于或者等于第二个微挡光片组中的列间距时，则第一个微挡光片组的微挡光片可以“堵住”第二个微挡光片组中的列间距。反之亦然。

需要额外说明的是，第一个微挡光片组中相邻两个微挡光片之间间隔的大小与第二个微挡光片组中相邻两个微挡光片之间间隔的大小可以相等也可以不相等，即第一个微挡光片组中的列间距可以与第二个微挡光片组中的列间距相等或者不等。在本实施例中，第一个微挡光片组中的列间距可以与第二个微挡光片组中的列间距相等。

背开透射式MEMS芯片的实施例二：

请参照图4、图5，包括上述背开透射式MEMS芯片的实施例一的背开透射式MEMS芯片。微挡光片阵列中，第一个微挡光片组31和第二个微挡光片组32构成一个微挡光片系列，且微挡光片阵列中至少包括两个微挡光片系列，两个微挡光片系列分别为第一个微挡光片系列4和第二个微挡光片系列5，

其中，第一个微挡光片系列4的固定端61和第二个微挡光片系列5的固定端61分别位于透光通道2相对的两侧壁上；

第一个微挡光片系列4的自由端62为靠近第二个微挡光片系列5设置，第二个微挡光片系列5的自由端62为靠近第一个微挡光片系列4设置。

在本实施例中，第一个微挡光片系列4与第二个微挡光片系列5为对称设置。

在本实施例中，为避免干涉，第一个微挡光片系列和第二个微挡光片系列中微挡光片的长度之和小于透光通道的长度。即两个微挡光片系列中微挡光片的顶部即自由端不具有上下交叠部分。

如此设置，无论第一个微挡光片系列和第二个微挡光片系列中微挡光片为对齐设置还是交错设置，则从侧面看，第一个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向和第二个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向成对称设置，则可以避免发生挡光，达到光效利用率提高的效果。

其中，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的上方，第一个微挡光片系列中固定端指向自由端的方向和第二个微挡光片系列中固定端指向自由端的方向相反。

请参照图5，在本实施例中，第一个微挡光片系列位于第二个微挡光片系列的左侧，当第一个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向为类似“＜”形，则第二个微挡光片系列中两组微挡光片的弯曲方向为类似“＞”形。

如此设置，则从侧面看，两个微挡光片系列中沿宽度(列排布)方向对齐的两组微挡光片之间具有高度差，一组是向上弯曲，一组是向下弯曲。且第一个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组成对齐设置，且均是向上弯曲的；第一个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组成对齐设置，且均是向下弯曲的。

请参照图4，驱动机构与各个微挡光片连接，并能控制各个微挡光片弯曲变形量来调节第一个微挡光片组31中各个微挡光片和第二个微挡光片组32中各个微挡光片之间留有的间隔大小来控制明暗截止线的生成；

第二个微挡光片系列5中的各个微挡光片的长度小于第一个微挡光片系列4中的各个微挡光片的长度。

其中，驱动机构通过控制各个微挡光片的镜面弯曲变形量，调整各个微挡光片镜面的弯曲比例，同时，驱动机构还可以令各个微挡光片的镜面弯曲变形量不同，进而控制每系列MEMS微挡光片系列中第一个微挡光片组中各个微挡光片和第二个微挡光片组中各个微挡光片之间留有的间隔大小，从而控制其光通量，控制明暗截止线的生成，便于调光。

两个微挡光片系列的微挡光片长度不相同，则驱动机构控制各个微挡光片的镜面弯曲变形量时，很容易使得第一个微挡光片组的弯曲变形量大于第二个微挡光片组的弯曲变形量，更易控制控制明暗截止线的生成。

背开透射式MEMS芯片的实施例三：

请参照图6、图7、图8，第一个微挡光片系列4中的第一个微挡光片组31与第二个微挡光片系列5中的第二个微挡光片组32成对齐设置；第二个微挡光片系列5中的第二个微挡光片组32与第一个微挡光片系列4中的第一个微挡光片组31成对齐设置。其余部分与背开透射式MEMS芯片的实施例二相同。

如此设置，第一个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于上方的第一个微挡光片组成交错设置，且均是向上弯曲的；第一个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组与第二个微挡光片系列中位于下方的第二个微挡光片组成交错设置，且均是向下弯曲的。则错了开第一组微挡光片、第二组微挡光片、第三组微挡光片和第四组微挡光片中各个微挡光片的运动轨迹，从而避免相邻两行微挡光片在弯曲过程中发生碰撞，从而避免为相邻各行微挡光片相互避让的原因而影响对各个微挡光片弯曲变形量的控制方案，避免影响光照效果。

背开透射式MEMS芯片的实施例四：

请参照图9，在第一个微挡光片系列4和第二个微挡光片系列5处于平直状态时，第一个微挡光片系列4中第一个微挡光片组31的自由端62与第二个微挡光片系列5中第二个微挡光片组32的自由端62具有上下交叠部分7；第二个微挡光片系列5中第二个微挡光片组32的自由端62与第一个微挡光片系列4中第一个微挡光片组31的自由端62具有上下交叠部分7。其余部分与背开透射式MEMS芯片的实施例三相同。

如此设置，则两个微挡光片系列中为对齐设置并具有高度差的两组微挡光片，在平直状态下，两组微挡光片的顶部即自由端相抵并上下交叠，从而“堵住”两个微挡光片系列之间的间隔，以保证当像素关闭后不会发生漏光，确保像素完全光闭，避免产生亮线。

背开透射式MEMS芯片的实施例五：

请参照图10、图11、图12、图13，在第一个微挡光片系列4中，第一个微挡光片组31中单个微挡光片的宽度小于第二个微挡光片组32中单个微挡光片的宽度；

在第二个微挡光片系列5中，第二个微挡光片组32中单个微挡光片的宽度小于第一个微挡光片组31中单个微挡光片的宽度。其余部分与背开透射式MEMS芯片的实施例四相同。

如此设置，则在第一个微挡光片系列中，位于上方的第一组微挡光片的单个微挡光片的宽度小，位于下方的第二组微挡光片的单个微挡光片的宽度大；而在第二个微挡光片系列中正好相反，位于上方的第一组微挡光片的单个微挡光片的宽度大，位于下方的第二组微挡光片的单个微挡光片的宽度小；从而可以避免微挡光片之间的运动干涉问题，减轻亮线问题。

背开透射式MEMS芯片的实施例六：

请参照图14、图15、图16，第一个微挡光片组31的固定端61和第二个微挡光片组32的固定端61分别位于透光通道2相对的两侧壁上；

第一个微挡光片组31的自由端62为靠近第二个微挡光片组32设置，第二个微挡光片组32的自由端62为靠近第一个微挡光片组设置；

且在第一个微挡光片组31和第二个微挡光片组32处于平直状态时，第一个微挡光片组31的自由端62与第二个微挡光片组32的自由端62具有上下交叠部分7；

其中，第一个微挡光片组31中的微挡光片被设置为上下间隔的两行，第二个微挡光片组32中的微挡光片被设置为上下间隔的两行。其余部分与背开透射式MEMS芯片的实施例一相同。

如此设置，第一个微挡光片组中固定端指向自由端的方向和第二个微挡光片组中固定端指向自由端的方向相反。

本实施例中，为避免各个微挡光片之间的运动干涉，第一个微挡光片组的两行微挡光片中的各个微挡光片在宽度方向相互之间具有间隔，第二个微挡光片组的两行微挡光片中的各个微挡光片在宽度方向相互之间具有间隔。

请参照图16，在一实施例中，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的左侧，第一个微挡光片组中的两行微挡光片均为向上弯曲，第二个微挡光片组中的两行微挡光片均为向下弯曲。第一个微挡光片组和第二个微挡光片组中微挡光片的顶部即自由端具有上下交叠部分，可以减轻亮线问题。

请参照图17，在一种其他可行地实施例中，第一个微挡光片组位于第二个微挡光片组的左侧，第一个微挡光片组中的两行微挡光片一个向上弯曲，一个向下弯曲，第二个微挡光片组中的两行微挡光片一个向上弯曲，一个向下弯曲。第一个微挡光片组和第二个微挡光片组中微挡光片的顶部即自由端具有上下交叠部分，可以减轻亮线问题。

背开透射式MEMS芯片的实施例七：

请参照图18，封装框架1由上下配合的上框架11和下框架12装配而成，第一个微挡光片组31设于上框架11上，第二个微挡光片组32设于下框架12上。其余部分与上述任一实施例相同。

只需将上框架和下框架以焊接、螺栓固定、插接、卡扣等连接方式装配固定在一起即可形成完整的封装框架。故可以先将第一个微挡光片组设于上框架上，第二个微挡光片组设于下框架上，再通过将上框架和下框架装配在一起形成完整的芯片。

MEMS照明系统的实施例一：

一种MEMS照明系统，包括光源和上述任一实施例的背开透射式MEMS芯片，背开透射式MEMS芯片的微挡光片阵列在微挡光片弯曲后，能与透光通道2形成透光窗口，光源发出的光线能经过透光窗口射出。

该MEMS照明系统与上述背开透射式MEMS芯片所具有的优势相同，在此不再赘述。

汽车的实施例一：

一种汽车，包括车灯总成，车灯总成包括上述的MEMS照明系统。

该汽车与上述MEMS照明系统所具有的优势相同，在此不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。