1.用于光刻机上的真空检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上固定连接有两个支撑板(2)，两个所述支撑板(2)之间固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)与底座(1)之间设有可以升降的连接板(5)，所述连接板(5)的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座(1)上设有滑动槽(14)，所述滑动槽(14)内滑动连接有两个压台(9)，两个所述压台(9)与两个支撑板(2)之间设有传动机构，所述连接板(5)的底部设有可以移动的真空检测装置(8)。
2.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述支撑板(2)的底部固定连接有两个液压缸(4)，两个所述液压缸(4)的输出端均与连接板(5)上端固定连接。
3.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述压板机构包括设置在连接板(5)内的安装槽(20)，所述安装槽(20)内滑动连接有l型板(7)，所述连接板(5)上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓(21)，所述定位螺栓(21)与l型板(7)相抵，所述l型板(7)的底部固定连接有橡胶板(6)。
4.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述连接板(5)的底部固定连接有两个定位块(11)，两个所述定位块(11)之间安装有电动滑轨(12)，所述电动滑轨(12)上滑动安装有与其相配套的电动滑块(13)，所述真空检测装置(8)安装在电动滑块(13)的底部。
5.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，两个所述支撑板(2)与底座(1)和安装板(3)之间均通过焊接相连接。
6.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述底座(1)的底部设有四个锁止万向轮(10)，四个所述锁止万向轮(10)均通过螺栓与底座(1)的底部相连接。
7.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述传动机构包括与其中一个支撑板(2)转动连接的第一螺杆(17)，所述第一螺杆(17)的另一端固定连接有第二螺杆(18)，所述第一螺杆(17)和第二螺杆(18)分别贯穿同侧的压台(9)并与其螺纹连接，所述第二螺杆(18)贯穿另一个支撑板(2)并与其转动连接，所述第二螺杆(18)的另一端固定连有把手(19)。
8.根据权利要求7所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述第一螺杆(17)和第二螺杆(18)的螺纹方向相反。
9.根据权利要求7所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，两个所述压台(9)上分别延伸板(15)和延伸槽(16)，所述延伸板(15)延伸至延伸槽(16)内并与其滑动连接。