导光装置、制造方法、及ld模块的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束的导光装置。而且，涉及这样的导光装置的制造方法、及具备这样的导光装置的LD模块。
【背景技术】
[0002]为了使从LD (Laser D1de)元件(半导体激光元件)射出的激光射线与光纤親合，而广泛地使用LD模块。在这样的LD模块中，作为将从多个LD元件分别射出的激光射线向光纤引导的导光装置，已知有专利文献I记载的微型光学装置。
[0003]图14是专利文献I记载的微型光学装置10的立体图。如图14所示，微型光学装置10具备基板11、LD棒12、圆柱透镜13、第一镜列14、及第二镜列15。
[0004]LD棒12具备沿X轴排列的多个LD元件，从各LD元件向z轴正方向射出激光射线。从各LD元件向z轴正方向射出的激光射线的光轴在与ZX面平行的第一平面内沿X轴排列。
[0005]需要说明的是，从各LD元件射出的激光射线的传播方向以z轴正方向为中心而向土 θ X方向分散。因此，在微型光学装置10中，采用通过以与LD棒12的出射端面相对的方式配置的圆柱透镜13，从而对从各LD元件射出的激光射线进行校准(使传播方向向z轴正方向收敛)的结构。
[0006]第一镜列14是将与构成LD棒12的各LD元件相对的镜面14a —体化而成。从各LD元件向z轴正方向射出的激光射线利用与该LD元件相对的镜面14a而向y轴正方向反射。而且，第二镜列15是将与构成第一镜列14的各镜面14a相对的镜面15a—体化而成。在各镜面14a处向y轴正方向反射的激光射线利用与该镜面14a相对的镜面15a而向x轴正方向反射。
[0007]需要说明的是，对从X轴正方向侧计数的第i+Ι个LD元件射出的激光射线进行反射的镜面14a、15a，与对从x轴正方向侧计数的第i个LD元件射出的激光射线进行反射的镜面14a、15b相比，更向z轴负方向侧配置。因此，在各镜面15a处向X轴正方向反射的激光射线的光轴在与Zx平面平行的第二平面、且位于比上述的第一平面靠y轴正方向侧的第二平面内沿着z轴排列。
[0008]这样，微型光学装置10具有将由从构成LD棒12的各LD元件射出的向z轴正方向传播的激光射线构成的第一射线束转换成由在构成第二镜列15的各镜面15a处反射的沿X轴方向传播的激光射线构成的第二射线束的功能。从微型光学装置10输出的第二射线束(以下，记载为“输出射线束”)例如通过未图示的透镜而会聚到光纤的入射端面上。
[0009]【在先技术文献】
[0010]【专利文献】
[0011]【专利文献I】日本国公开专利公报“特开2004-252428号”(公开日:2004年9月9曰)
【发明内容】
[0012]【发明要解决的课题】
[0013]然而，在以往的微型光学装置10中，在从各LD元件射出的激光射线的传播方向存在变动(不一样的倾斜)的情况下，在构成输出射线束的各激光射线的传播方向上难免会产生变动。这是因为，由于对从各LD元件射出的激光射线进行反射的镜面14a、15a作为镜列14、15而一体化，因此无法个别地调整构成输出射线束的激光射线的传播方向。构成输出射线束的各激光射线的传播方向的变动难以使输出射线束会聚于光纤的入射端面，成为妨碍高输出化及高效率化的主要原因。
[0014]这样的问题在多芯片LD模块中特别显著。在此，多芯片LD模块是指以分别具备I个LD元件的多个LD芯片为光源的LD模块。可知在需要个别地安装各LD芯片的多芯片LD模块中，在从各LD芯片射出的激光射线的传播方向上容易产生变动。
[0015]需要说明的是，在从各LD元件射出的激光射线的传播方向的倾斜一样的情况下，通过调整镜列14的倾斜，能够使构成输出射线束的各激光射线向规定的方向传播。然而，维持镜列14的倾斜的情况由于以下的理由而比较困难。
[0016]即，为了使镜列14以倾斜的状态与基板11粘接，需要使夹设在镜列14与基板11之间的粘接层的厚度不均匀。因此，在使粘接层固化时会发生不均匀的固化收缩，镜列14的倾斜发生变化。而且，即使在使粘接层固化之后，伴随着温度上升/温度下降而引起不均匀的热膨胀/热收缩，镜列14的倾斜发生变化。
[0017]本发明鉴于这样的问题而作出，其目的是实现一种导光装置，所述导光装置将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其中，在输入射线的传播方向上无论是存在不一样或一样的倾斜，都能将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，使用这样的导光装置，实现高输出化及高效率化成为可能的LD模块。
[0018]【用于解决课题的方案】
[0019]本发明的导光装置将由多条输入射线构成的输入射线束转换成由多条输出射线构成的输出射线束，其特征在于，所述导光装置具备双联反射镜，所述双联反射镜与各输入射线对应且从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立，与各输入射线对应的双联反射镜由载置在特定的平面上的第一反射镜和载置在该第一反射镜上的第二反射镜构成，上述第一反射镜具有第一反射面，所述第一反射面对输入射线进行反射且所述第一反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的角成为45°，上述第二反射镜具有第二反射面，所述第二反射面对由上述第一反射面反射后的输入射线进行反射且所述第二反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的角成为135°。
[0020]在上述的结构中，对各输入射线进行反射的第一反射面设于在特定的平面上载置的第一反射镜上，对由第一反射面反射后的输入射线进行反射的第二反射面设于在第一反射镜上载置的第二反射镜上。因此，通过使第一反射镜及第二反射镜分别转动，能够自由地调整输出射线的传播方向。例如，即使在输入射线的传播方向上存在倾斜，也能够将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，通过使第一反射镜及第二反射镜分别滑动，也能够自由调整输出射线的光轴位置。
[0021]而且，在上述的结构中，与各输入射线对应的双联反射镜从与其他的输入射线对应的双联反射镜独立。因此，能够相互独立地进行各输出射线的传播方向的调整。因此，即使在输入射线的传播方向上存在变动，也能够将输出射线的传播方向调整成规定的方向。而且，也能够相互独立地进行各输出射线的光轴位置的调整。
[0022]具备上述导光装置的LD模块也包含在本发明的范畴内。
[0023]通过具备上述导光装置，能够实现高输出化及高效率化成为可能的LD模块。
[0024]【发明效果】
[0025]根据本发明，实现在输入射线的传播方向上无论是存在不一样或一样的倾斜，都能将输出射线的传播方向调整成规定的方向的导光装置。而且，使用这样的导光装置，能实现高输出化及高效率化成为可能的LD模块。
【附图说明】
[0026]图1是表示本发明的一实施方式的LD模块的结构的俯视图。
[0027]图2是表示图1所示的LD模块具备的单位光学系统的结构的立体图。
[0028]图3是表示图1所示的LD模块具备的双联反射镜的结构的立体图。
[0029]图4是用于说明图3所示的双联反射镜具备的第一反射镜及第二反射镜的微小旋转引起输出射线的传播方向的微小旋转的情况的图。
[0030]图5是表示实施图6所示的调整方法时的LD模块的结构的俯视图。
[0031]图6是表示对图3所示的双联反射镜具备的第一反射镜及第二反射镜的朝向及位置进行调整的调整方法的流程图。
[0032]图7(a)是例示实施图6所示的流程图包含的第一反射镜转动工序之前的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及主视图(下段)。图7(b)是例示实施了第一反射镜转动工序之后的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及主视图(下段)。
[0033]图8(a)是例示实施图6所示的流程图包含的第二反射镜转动工序之前的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及侧视图(下段)。图8(b)是例示实施了第二反射镜转动工序之后的双联反射镜的状态的俯视图(上段)及侧视图(下段)。
[0034]图9(a)是例不实施图6所不的流程图包含的第一反射镜滑动工序之前的双联反射镜的状态的侧视图。图9(b)是例示实施了第一反射镜滑动工序之后的双联反射镜的状态的侧视图。
[0035]图10 (a)是例示实施图6所示的流程图包含的第二反射镜滑动工序之前的双联反射镜的状态的主视图。图10(b)是例示实施了第二反射镜滑动工序之后的双联反射镜的状态的主视图。
[0036]图11是表示实施图6所示的调整方法时设为调整目标的输出射线的配置的图。
[0037]图12是表示图1所示的LD模块的第一变形例的俯视图。
[0038]图13是表示图1所示的LD模块的第二变形例的俯视图。
[0039]图14是表示以往的微型光学装置的结构的立体图。
【具体实施方式】
[0040]关于本发明的一实施方式的LD模块，若基于附图进行说明，则如以下所述。
[0041]〔LD模块的结构〕
[0042]关于本实施方式的LD模块I的结构，参照图1进行说明。图1是表示LD模块I的结构的俯视图。
[0043]LD模块I是用于使从N个(在本实施方式中为N = 10) LD芯片LDl?LDlO射出的激光射线与光纤OF耦合的结构。需要说明的是，在本实施方式中，LD模块I具备的LD芯片的个数N设为10，但是本发明没有限定于此。即，LD模块I具备的LD芯片的个数N可以是2以上的任意的整数。
[0044]如图1所示，LD模块I除了 N个LD芯片LDl?LDlO之外，还具备N个F轴校准透