近红外线截止滤波器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及近红外线截止滤波器。
【背景技术】
[0002] 数码相机、数码摄像机等光学设备中使用电荷親合元件（Charge Coupled Device (CO)))图像传感器、互补金属氧化物半导体（Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS))图像传感器等固体摄像元件。然而，固体摄像元件的光谱特性与人 类的视感度特性相比对红外光具有强灵敏度。因此，在具有固体摄像元件的光学设备中，利 用近红外线截止滤波器进行光谱校正。
[0003] 作为近红外线截止滤波器，例如可使用含有Cu2+离子作为着色成分的氟磷酸系玻 璃等近红外线吸收型的有色玻璃滤波器、或者在透明基材上设有用于遮蔽近红外线和紫外 线的光学多层膜的多层膜滤波器、将它们组合而成的滤波器。
[0004] 对光学多层膜要求在固体摄像元件所需的400~700nm的透射带中不产生透射率 降低的现象（波纹（ripple))。以往，已知有抑制光学多层膜中波纹的产生的技术（例如， 参照专利文献1、2)。
[0005] 现有技术文献
[0006] 专利文献
[0007] 专利文献1 :专利第4672101号公报
[0008] 专利文献2 :日本特开2008-139693号公报
【发明内容】
[0009] 然而，即使在光的入射角为特定的入射角时可抑制波纹的产生，但如果光的入射 角改变则有时会产生波纹。现有技术没有考虑到因入射角的变化而产生的波纹，特别是没 有考虑到入射角达到40度以上时产生的大的波纹。
[0010] 近年，随着数码相机、数码摄像机等光学设备的小型化和薄型化，正在进行着光学 设备中的透镜的广角化。由此，光以更倾斜的状态射入固体摄像元件。例如，以往最多为30 度左右的入射角，近年来已达到了超过30度的入射角。
[0011] 另外，近红外线截止滤波器有时被配置于光学设备中的可从外部看到的位置。例 如在移动电话、智能电话等便携式电子设备中，摄像装置的罩玻璃有时被配置于可从外部 看到的位置。于是，这样的罩玻璃有时被用作近红外线截止滤波器。此时，从使光学设备的 外观良好的观点出发，要求反射颜色不随光的入射角而显著改变而维持规定的反射颜色。
[0012] 本发明的实施方式是鉴于上述课题而进行的，其目的是提供一种不依赖于光的入 射角地抑制了过度的波纹的产生和过度的反射颜色的变化的近红外线截止滤波器。
[0013] 实施方式的近红外线截止滤波器具有透明基板和设置在上述透明基板上的光学 多层膜。上述光学多层膜具有波长500nm处的折射率为2. 0以上的高折射率膜与波长500nm 处的折射率小于1. 6的低折射率膜交替层叠的结构。另外，实施方式的近红外线截止滤波 器根据光的入射角，具有以下光谱透射率特性。
[0014] 光的入射角为0度时，在450nm以上且小于550nm的波长范围的至少一部分具有 与450nm~700nm的波长范围的平均透射率的透射率之差为1. 65%以上的部分。
[0015] 光的入射角为40度时，在450nm以上且小于550nm的波长范围的至少一部分具有 与450nm~700nm的波长范围的平均透射率的透射率之差为3. 5%以上的部分。另外，光的 入射角为40度时，在450nm以上且小于550nm的波长范围的整个区域，与450nm~700nm 的波长范围的平均透射率的透射率之差为7. 0%以下。
[0016] 根据实施方式的近红外线截止滤波器，能够不依赖于光的入射角地抑制过度的波 纹的产生和过度的反射颜色的变化。
【附图说明】
[0017] 图1是表示近红外线截止滤波器的一个实施方式的截面图。
[0018] 图2是表示光学多层膜的一个实施方式的局部截面图。
[0019] 图3是表示摄像装置的一个实施方式的构成图。
[0020] 图4是表示实施例1的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0021]图5是图4所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0022] 图6是表示实施例1的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0023] 图7是表示实施例2的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0024] 图8是图7所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0025] 图9是表示实施例2的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0026] 图10是表示实施例3的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0027] 图11是图10所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0028] 图12是表示实施例3的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0029] 图13是表示实施例4的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0030]图14是图13所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0031] 图15是表示实施例4的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0032] 图16是表示实施例5的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0033] 图17是图16所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0034] 图18是表示实施例5的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0035] 图19是表示实施例6的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0036] 图20是图19所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0037] 图21是表示实施例6的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0038] 图22是表示比较例1的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0039] 图23是图22所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0040] 图24是表示比较例1的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0041] 图25是表示比较例2的近红外线截止滤波器的光谱透射率特性的图。
[0042] 图26是图25所示的光谱透射率特性的局部放大图。
[0043] 图27是表示比较例2的近红外线截止滤波器的光谱反射率特性的图。
[0044]图28是表示实施例1的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。
[0045] 图29是表示实施例2的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。
[0046] 图30是表示实施例3的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。
[0047] 图31是表示实施例4的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。
[0048] 图32是表示实施例5的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。
[0049] 图33是表示实施例6的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。 [0050]图34是表示比较例1的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。
[0051] 图35是表示比较例2的近红外线截止滤波器中的反射颜色的色度变化的图。
【具体实施方式】
[0052] 以下，对近红外线截止滤波器的实施方式进行说明。
[0053] 图1是表示近红外线截止滤波器10的一个实施方式的截面图。近红外线截止滤 波器10具有透明基板11和设置在该透明基板11上的光学多层膜12。
[0054] 透明基板11只要能够使可视波长区域的光透过就没有特别限定。作为透明基板 11的材料，例如可举出玻璃、水晶、铌酸锂、蓝宝石等晶体，聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET)、 聚对苯二甲酸丁二醇酯（PBT)等聚酯树脂，聚乙烯、聚丙烯、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物等聚 烯烃树脂，降冰片烯树脂、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸树脂，聚氨酯树脂、氯乙 烯树脂、氟树脂、聚碳酸酯树脂、聚乙烯醇缩丁醛树脂、聚乙烯醇树脂等。透明基板11在波 长500nm处的折射率优选为1. 46以上，更优选为1. 5以上。另外，透明基板11在波长500nm 处的折射率优选为1. 8以下，更优选为1. 6以下。
[0055] 透明基板11中可使用吸收近红外波长区域的光的透明基板。通过使用吸收近红 外波长区域的光的透明基板11，能够得到接近人的视感度特性的画质。作为吸收近红外波 长区域的光的透明基板11，例如可举出在氟磷酸盐系玻璃、磷酸盐系玻璃中添加了 Cu2+(离 子）的吸收型玻璃。另外，也可以使用在树脂材料中添加吸收近红外线的吸收剂而成的基 板。作为吸收剂，例如可举出染料、颜料、金属配合物系化合物，具体而言，可举出酞菁系化 合物