一种mems微镜、显示面板及显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种MEMS微镜、显示面板及显示装置。
【背景技术】
[0002]随着纳米技术的蓬勃兴起，微机电系统(Microelectromechanical Systems，MEMS)随之诞生。微机电系统由微电子技术与机械工程技术有机结合而来，并集合当今科学发展的很多尖端成果，涉及微电子、材料、机械、力学和化学等多领域，包括微型结构、微型传感器、微型执行器和控制电路等微型器件。
[0003]如图1、图2所示，MEMS微镜10由镜面11、扭转梁12、驱动装置(未示出)以及支撑结构13等构成，在驱动装置的驱动下，扭转梁12转动带动镜面11旋转，从而控制光的透光性。现有技术中的MEMS扭转微镜的尺寸通常在毫米或微米级别，从而可以完成大尺寸光学系统难以完成的任务，一般用于光通信开关等领域。
【发明内容】
[0004]本发明的实施例提供一种MEMS微镜、显示面板及显示装置，所述MEMS微镜可反射出不同颜色的光，应用于显示面板可使得显示面板实现彩色显示。
[0005]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0006]—方面，本发明实施例提供了一种MEMS微镜，包括反光镜以及带动所述反光镜旋转的扭转梁；所述反光镜的反光面上形成有颜色图层。
[0007]可选的，所述图层的颜色为三原色中的其中一种。
[0008]另一方面，本发明实施例提供了一种显示面板，包括；
[0009]载体基板；
[0010]设置在所述载体基板上、阵列排布的多个微镜，所述微镜为本发明实施例提供的所述的微镜；至少三个所述微镜为一组，同一组中的各所述微镜的反光面上形成的颜色图层均不同。
[0011]可选的，三个所述微镜为一组，同一组中的各所述微镜的反光面分别形成有三原色中的其中一种颜色的图层。
[0012]可选的，还包括；位于所述微镜上方的导光板；所述导光板包括上表面、下表面以及侧面，所述反光镜的反光面朝向所述导光板的下表面；
[0013]位于所述导光板侧面的光源。
[0014]可选的，还包括；位于所述导光板上方的遮光层；所述遮光层包括透光部分和不透光部分；其中，所述不透光部分在所述载体基板的投影位于相邻的两个微镜在所述载体基板的投影之间的区域；
[0015]沿与所述微镜的扭转梁垂直的方向，任意相邻的三个微镜中，至少两个微镜之间的区域对应所述不透光部分。
[0016]可选的，沿与所述微镜的扭转梁垂直的方向，任意相邻的三个微镜中，其中的两个所述微镜之间的区域对应所述不透光部分；或者，
[0017]沿与所述微镜的扭转梁垂直的方向，任意相邻的三个微镜中，任意两个微镜之间的区域对应所述不透光部分。
[0018]可选的，所述微镜的驱动周期的占空比可调节。
[0019]可选的，所述微镜为压电驱动、热驱动、静电驱动或电磁驱动。
[0020]再一方面，本发明实施例提供了一种显示装置，包括本发明实施例提供的任一所述的显示面板。
[0021]本发明的实施例提供一种MEMS微镜、显示面板及显示装置，所述微镜的反光镜的反光面上形成有颜色图层，则经微镜反射后发出的光具有特定颜色。该微镜应用于显示面板可以实现彩色显示。
【附图说明】
[0022]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为现有的MEMS微镜示意图；
[0024]图2为图1所示微镜发生偏转的侧面示意图；
[0025]图3为本发明实施例提供的一种MEMS微镜不意图；
[0026]图4为本发明实施例提供的一种显示面板示意图；
[0027]图5为本发明实施例提供的一种微镜的驱动波形图；
[0028]图6为本发明实施例提供的另一种显不面板不意图；
[0029]图7为本发明实施例提供的另一种显不面板不意图。
[0030]附图标记:
[0031]10-MEMS微镜；11_镜面；12-扭转梁；13-支撑结构；14-颜色图层；15-反光镜；20-载体基板；21_导光板；22_光源；23_遮光层。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0033]本发明实施例提供了一种MEMS微镜，如图3所不，包括反光镜15以及带动反光镜15旋转的扭转梁12 ;反光镜15的反光面上形成有颜色图层14。则反光镜的反光面上反射的光的颜色为图层的颜色。例如，反光镜的反光面上形成红色图层，则白色的光经反光镜的反光面反射后射出的光为红光。
[0034]本发明实施例提供了一种MEMS微镜，所述微镜的反光镜的反光面上形成有颜色图层，则经微镜反射后发出的光具有特定颜色。
[0035]优选的，图层的颜色为三原色中的其中一种。具体的，图层的颜色可以是绿色、红色或蓝色。本发明实施例中的微镜可用于显示面板，每个微镜相当于一个亚像素，则分别形成有红色图层、绿色图层和蓝色图层的微镜组合在一起组合为一个像素，显示面板从而可以实现彩色显示。
[0036]本发明实施例提供了一种显示面板100，如图4所示，包括:
[0037]载体基板20 ；
[0038]设置在载体基板20上、阵列排布的多个微镜10，如图3所示，微镜10包括反光镜15以及带动反光镜15旋转的扭转梁12 ;反光镜15的反光面上形成有颜色图层14 ;至少三个微镜10为一组，同一组中的各微镜的反光面上形成的颜色图层均不同。
[0039]图4中以三个微镜10为一组为例，三个微镜10中的颜色图层分别为红色图层、绿色图层和蓝色图层。当然，也可以是四个微镜为一组，同一组中的四个微镜的反光面上形成的颜色图层可以分别是红色图层、绿色图层、蓝色图层以及黄色图层，即四个微镜分别反射发射红光、绿光、蓝光和黄光。即一组为一个像素，每个微镜相当于一个亚像素，每个亚像素反射的光的颜色不同，则可以通过调和每个微镜反射的光使得每个像素的颜色不同，从而显示面板可以实现彩色显示。
[0040]当然，上述以各微镜的反光面颜色为上述为例说明实现彩色显示，至少三个微镜为一组，同一组中的各微镜的反光面上形成的颜色图层也不局限于上述的描述。
[0041]需要说明的是，图4中仅示意了对应一个像素的一组微镜，显示面板100可以包括诸多类似像素，其他像素的显示部分可以参照示例的像素。并且，每个像素的大小不是限制性的，可以根据具体显示分辨率的要求来设置。微镜10的尺寸大小可以根据像素的大小来设定，微镜10的尺寸越小，显示面板的分辨率可以设置得更高。
[0042]此外，在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0043]优选的，三个微镜为一组，同一组中的各微镜的反光面分别形成有三原色中的其中一种颜色的图层。例如，同一组中的各微镜的反光面图层的颜色可以分别是绿色、红色或蓝