使用成本低。
【具体实施方式】
[0027]本发明通过以下实施方式具体说明，但本发明并不仅限于下述实施例。
[0028]实施例1
[0029]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0030]氢氧化钾2份，碳酸钾8份，二乙醇胺6份，二乙二醇丁醚6份，聚乙二醇600为2份，乙二胺四乙酸四钠0.5份，苯甲酸钠0.5份，苯骈三氮唑0.5份，水74.5份。
[0031]实施例2
[0032]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0033]氢氧化钠3份，碳酸钠7份，一乙醇胺6份，二乙二醇乙醚5份，聚乙二醇400为4份，柠檬酸钾0.5份，苯甲酸钠0.8份，没食子酸0.5份，水73.2份。
[0034]实施例3
[0035]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0036]氢氧化钠2份，碳酸钾8份，异丙醇胺6份，二乙二醇丁醚6份，聚乙二醇400为4份，乙二胺四乙酸四钠0.5份，苯甲酸钠0.5份，没食子酸0.5份，水72.5份。
[0037]实施例4
[0038]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0039]氢氧化钾2份，碳酸钠8份，二乙醇胺6份，乙二醇乙醚6份，聚乙二醇600为2份，乙二胺四乙酸四钠0.5份，苯甲酸钠0.5份，苯骈三氮唑0.5份，水74.5份。
[0040]实施例5
[0041]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0042]氢氧化钾3份，硅酸钠8份，二乙醇胺5份，乙二醇乙醚7份，聚丙二醇400为2份，乙二胺四乙酸四钠0.5份，苯甲酸钠0.5份，己二酸0.5份，水73.5份。
[0043]实施例6
[0044]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0045]氢氧化钠I份，碳酸钾10份，异丙醇胺4份，二乙二醇丁醚10份，聚乙二醇400为I份，乙二胺四乙酸四钠0.2份，苯甲酸钠0.2份，没食子酸0.5份，水73.1份。
[0046]实施例7
[0047]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0048]氢氧化钠5份，碳酸钾12份，异丙醇胺10份，二乙二醇丁醚3份，聚乙二醇400为5份，乙二胺四乙酸四钠I份，苯甲酸钠I份，没食子酸1.2份，水61.8份。
[0049]实施例8
[0050]负性光刻胶剥离液，由以下原料配制而成:
[0051]氢氧化钠3份，碳酸钾3份，异丙醇胺8份，二乙二醇丁醚5份，聚乙二醇400为10份，乙二胺四乙酸四钠0.5份，苯甲酸钠0.5份，没食子酸I份，水69份。
[0052]实施例9
[0053]用实施例3中所述光刻胶剥离液稀释5倍，得到光刻胶剥离液的稀释液。
[0054]上述实施例1?8中的光刻胶剥离液在温度为40?50°C下应用，实施例9中的光刻胶剥离液的稀释液在温度为55°C下应用均能取得很好的效果。本发明的剥离液在使用过程中基本无泡、同时有抑泡效果；所述剥离液室温时为均一溶液，但在使用温度下溶液会分层，可使剥离后的胶膜漂浮在上层液体中，避免沉入底部，被循环栗抽走，不会堵塞过滤网和滤芯，可延长使用寿命，提升剥膜效果。本发明的剥离液在使用温度下剥离速率快可使产品获得较好的洁净度，同时不腐蚀ITO线路和基板。
[0055]以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种光刻胶剥离液，以质量百分含量计包括无机碱I?5%、碱金属盐3?12%、有机碱4?10%、有机溶剂3?10%、高分子聚合物I?10%、螯合剂0.1?2%、缓蚀剂0.1?3%、去离子水为余量，其中所述无机碱为氢氧化钠和/或氢氧化钾，所述碱金属盐为碱金属的碳酸盐、硅酸盐和磷酸盐中一种或多种，所述有机碱为醇胺类化合物，所述有机溶剂为醇醚化合物，所述高分子聚合物为聚乙二醇和/或聚丙二醇，所述螯合剂为含金属钾和/或钠的螯合剂，所述缓蚀剂中包含苯甲酸钠。2.根据权利要求1所述剥离液，其特征在于，所述碱金属盐为选自碳酸钾、碳酸钠、硅酸钠及磷酸钠中一种或多种。3.根据权利要求1所述剥离液，其特征在于，所述有机碱为选自一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺中的一种或多种。4.根据权利要求1所述剥离液，其特征在于，所述有机溶剂为选自乙二醇乙醚、二乙二醇乙醚、乙二醇甲醚、二乙二醇丁醚中的一种或多种。5.根据权利要求1所述剥离液，其特征在于，所述高分子聚合物为选自聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚乙二醇1000、聚乙二醇6000、聚丙二醇400及聚丙二醇600中的一种或多种。6.根据权利要求1所述剥离液，其特征在于，所述螯合剂为选自乙二胺四乙酸四钠、葡萄糖酸钠、柠檬酸钠、葡萄糖酸钾、柠檬酸钾及酒石酸钠中的一种或多种。7.根据权利要求1所述剥离液，其特征在于，所述缓蚀剂中还包含没食子酸、苯骈三氮唑、己二酸的一种或多种。8.根据权利要求1所述剥离液，其特征在于，所述光刻胶剥离液包括无机碱2?3%、碱金属盐7?8 %、有机碱4?8 %、有机溶剂5?7 %、高分子聚合物2?4 %、螯合剂0.2?I %、缓蚀剂0.5?1.5%、去离子水为余量。9.一种光刻胶剥离液的稀释液，包括如权利要求1?8中任意一项所述剥离液用去离子水稀释I?10倍得到。10.一种如权利要求1?8中任意一项所述剥离液或如权利要求9所述稀释液在清洗ITO玻璃上的光刻胶的应用，其中，清洗温度为40?55°C。
【专利摘要】本发明提供一种光刻胶剥离液，以质量百分含量计包括无机碱1～5％、碱金属盐3～12％、有机碱4～10％、有机溶剂3～10％、高分子聚合物1～10％、螯合剂0.1～2％、缓蚀剂0.1～3％、去离子水为余量，所述高分子聚合物为聚乙二醇和/或聚丙二醇，所述螯合剂为含金属钾或钠的螯合剂，所述缓蚀剂中包含苯甲酸钠。本发明的剥离液在使用过程中基本无泡、同时有抑泡效果；所述剥离液室温时为均一溶液，但在使用温度下溶液会分层，可使剥离后的胶膜漂浮在上层液体中，避免沉入底部，被循环泵抽走，不会堵塞过滤网和滤芯，可延长使用寿命，提升剥膜效果。本发明的剥离液在使用温度下剥离速率快可使产品获得较好的洁净度，同时不腐蚀ITO线路和基板。
【IPC分类】G03F7/42
【公开号】CN105116696
【申请号】CN201510653801
【发明人】周群飞, 饶桥兵, 赵致远
【申请人】蓝思科技（长沙）有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年10月10日