接以及熔焊特别适用。在该方面，涉及的连接技术支持对足够高的固有频率、潮湿以及热传导的要求。
[0063]模块110-114也可以例如通过熔焊板或面(facet)来制造，也可以在板(可能是挠曲的)熔焊构造中弯曲该板或面，继而可以对其施加(例如在其上进行熔焊或者软钎焊)冷却通道(下文将更详细地说明)，在该情况下，以此方式生产的模块依次连接在一起(例如，通过螺纹连接)。
[0064]根据图1的模块110-114和承载结构子元件可以被构造为使得它们形成具有几何形状的子壳体，该几何形状至少在一些区域中对应于投射曝光设备中的可用光束路径而不同。更具体地，可用光束路径可以由所述子壳体围绕，使得所述可用光束路径和子壳体之间的最大间隔不超过10_，更特别地，不超过5_。此外，在图1中示意地示出的折叠光束路径可以由所述子壳体以至少几乎最优的方式“封闭(encapsulate) ”。
[0065]图2通过示例示出了可以被用于如图1所示的根据本发明的承载结构中的承载结构子元件121的概略平面视图。在该例子中，承载结构子元件121总共具有三个开口 121a、121b以及121c，作为用于光束通过的孔径。在这种情况下，开口 121a、121b以及121c根据各自的承载结构子元件121在光束路径中的最终期望的位置而在它们的几何形状、布置和数量方面进行选择，使得当继而从其构成的承载结构子元件或者模块连接在一起时，提供在光学系统的运行中穿过光学系统的光束的期望封闭或者可选地提供上述“小环境”。
[0066]因此，图2的例子所示的开口或者孔径121a、121b以及121c的规则的或者对称的布置是简化的，因为那些开口优选被如此布置在穿过其的光束通道的相应位置处，以使得获得对光束路径的最佳几何逼近。因此，一般地，承载结构子元件(既关于它们的外轮廓也关于它们的内轮廓)具有更复杂的几何形状(例如与圆盘相比，也与该实施例中作为例子说明的承载结构子元件121相比)。根据图1已经清楚，其隐含着已经在那里概略地示出的简化光束路径中提供了具有更少开口或者孔径的承载结构子元件，这取决于光束路径穿过各自的承载结构子元件的频率。
[0067]另外，每个承载结构子元件的内轮廓的表面(可以在图2中看见)，借助于模块化结构，可以分别理想地适配于关于杂散光的反射的要求，只要分别选择合适的表面处理工艺即可，诸如合适方式的机械加工(例如用于限定地粗糙化表面，以减少或者消除反射现象)或者涂敷。
[0068]因此可以单独地制造内几何形状(其实际上同时也在光学系统内形成“小环境”)，在此方面，例如在杂散光特别关键的区域中，为了具体地有目标地影响杂散光特性，可以应用更复杂和昂贵的表面处理操作，而在不太关键的区域中，可以更容易地制造表面或者甚至基本不改变表面。
[0069]当组装承载结构子元件以提供例如图1中的承载结构时，单独的承载结构子元件一方面可以首先被提供合适的开口，并接着被以相互叠置的关系堆叠(并使用下文将描述的处理连接)，在这种情况下，其给出用于光束穿过的，由承载结构子元件的形状或板几何形状决定的阶梯围绕壁构造。可替换地，可以首先以互相叠置的关系堆叠多个承载结构子元件，以先构成承载结构，接着产生对应的开口，用于光束穿过。
[0070]下面参照图3至图6描述将冷却通道集成到承载结构的不同可能方式。
[0071]在本身已知的方式中，在设计用于EVU的投射曝光设备中，这种冷却通道的基本的目的是屏蔽热应力，该热应力与照射引起的反射镜的温度上升有关，并且该热应力出现在来自例如传感器的对温度敏感的元件的承载结构的区域中。关于热屏蔽影响，根据本发明的冷却通道的模块化构造在许多方面也发现是有利地，如在下文描述的。
[0072]首先，如图4中的概略视图所表示的，可以将具有相对复杂的构造的冷却通道450的实施方式大致缩减为二维结构，只要首先例如通过乳制(milling)在上述承载结构子元件421中形成冷却通道450，然后通过在覆盖板上恪焊而使该冷却通道450闭合即可。
[0073]另外，为了具体有目标地控制光学系统中的热应力的目的，可以在承载结构内单独地放置冷却通道。
[0074]在该方面，图3首先示出概略图，其中与每个模块310-340相关联的分别地是它自己的或者分离的冷却回路315、325、335以及345。
[0075]现在，在其它实施例中，那些冷却回路也可以在承载结构中被单独地互相连接。例如，在图3实施例的修改中，流进最上面的模块310的冷却介质(例如水)还可以被与最下面的模块340互相连接地使用，以便将模块310、340连接在一起以形成单个共用的冷却回路，例如在它们必须仅承受比较轻的热应力的情况下。另外，可以将仅一个冷却回路或者多个冷却回路与各个模块相关联。冷却回路可以因此被单独的放置在那些最需要它们的区域中，从而那些区域被特别地供应具有冷却水。以那种方式，并且在已经考虑了冷却介质的可用供应通常受限的情况下，可以获得关于所涉及的具体因素或要求最佳匹配的动作或热屏蔽效果。
[0076]下面参照图5中的概略图说明关于在承载结构中集成冷却通道的第一实施例。
[0077]参照图5，通过包含所涉及的材料的紧密结合的连接而将承载结构子元件511-514(其被组装来提供类似于图1的模块510)连接在一起，只要进行以下步骤即可:在已经例如由铝或钢制造了承载结构子元件511-514之后，并且已经在其平表面中乳制了用于冷却通道的区域(例如，矩形、圆形或者椭圆形横截面)之后，承载结构子元件511-514的互相面对的边界表面经历硬真空硬钎焊，用于将它们相对于彼此密封以及用于相对于冷却通道的外部(通常是真空)环境获得充分的密封整体性。密封地连接承载结构子元件511-514的另一合适的方法是扩散熔焊，在扩散熔焊中承载结构子元件511-514被直接焊接到彼此上，该方法在下文更详细考虑的腐蚀方面是有利的。
[0078]如前述相应地获得的单体(monolithic)模块510等可以接着被螺纹固定在一起，以构建类似于图1的承载结构。
[0079]在图5中，结构冷却介质550 (例如冷却水)经由冷却介质供给机构560流动至模块510并从模块510经由冷却介质排出机构570再次排出，在此方面，沿着纸平面的方向延伸的冷却通道(即在所示的坐标系统的Y方向上)由‘550a’表示，在z方向上将那些冷却通道550a连接在一起的通过通道由‘550b’表示。
[0080]在此方面，优选地，根据本发明的另一方面，通过冷却通道550a和通过通道550b实施冷却介质的流动的构造，使得最优化该流动，目标为如果可能则不将任何来自承载结构的振动引入到反射镜或者承载反射镜的致动器中。
[0081]作为用于该目的的合适方法，冷却通道550a尽可能被实施为在流动路径上没有任何弯曲，如例如在图4中借助于在那里示出的冷却通道450可以看出的。为了对抗由仍然可能发生的漩涡引起的振动，优选地，利用较大的半径或者横截面积实施冷却通道550a，尤其是在相邻承载结构子元件511-514之间的过度处，因为在因此提供的更大体积中，流动速度更低。
[0082]作为避免流动引起的振动的另一合适对策，优选引入多孔结构(例如蜂窝结构、多孔材料的过滤器结构等)形式的流动整流器580 (特别是在将冷却通道550a相互连接的通道550b中)ο
[0083]图6示出了关于承载结构子元件的连接的另一实施例，以形成具有集成的冷却通道的承载结构。
[0084]如图6所示，承载结构子元件612-614(类似于图1组装以形成模块610)通过螺钉605螺纹连接在一起。因为螺纹连接仅产生夹紧连接，其关于冷却介质的流动不是流体密封的，所以接着通过密封板690进行冷却通道650a (例如其仍然被预乳制)的密封闭合，密封板690接着通过焊缝696连接至各自的承载结构子组件612-614。可以通过进一步的密封(其在该实施例中为双O环密封695的形式)实现各个密封板690和各个相连的承载结构子组件612-614之间的过渡处的密封效果。
[0085]图6中所示的实施例尤其在腐蚀方面是有利的，因为可以使用相同的材料(例如铝)用于制造密封板