缘膜128的顶层上的钝化膜120的不均勻性的覆盖范围可得到改进。
[0062]通过着色平坦化绝缘膜128且覆盖开口 122的侧壁部分，可防止由来自光源106的散射光(图3中的路线(3))和从开口 122的侧壁入射的外部光(图3中的路线(4))施加于开关元件114的操作上的消极影响，如图10中所描述。可通过在抗蚀剂组合物中包含特定交联剂来着色平坦化绝缘膜128。此外，可通过用抗蚀剂组成物涂布元件衬底102c且在相对高的温度下烘烤而碳化来完成着色。
[0063]通过提供与开口 122的底部中的反射增强膜112的第一绝缘膜112a相比具有不同膜厚度的第三绝缘层124，第三绝缘膜124可防止光的透射率在此区域中降低(图3中的路线(2))。第三绝缘膜124制造得比第一绝缘膜112a厚且可形成有入射光的波长的η/2 (η=I或大于I的整数)或更厚的膜厚度。具体来说，当在反射增强膜112中的用作第一绝缘膜112a的氮化硅膜的膜厚度为40nm与60nm之间时，开口 122中的第三绝缘膜124的膜厚度可为120nm与160nm之间。举例来说，可通过也形成从开口 120的侧壁到底部的由氮化硅膜形成的钝化膜120而完成膜加厚。在此情况下，沉积的氮化硅膜可在绝缘间层116的上部表面和开口 122的侧壁中起到钝化膜的功能，且可在开口 122的底部中履行用于降低反射性的光学距离调节膜的功能。
[0064]图4说明元件衬底102d的配置，其中额外层形成图3中说明的元件衬底102c的配置中的反射层108的反射增强膜112。反射增强膜112是由具有高折射率的电介质层和具有低折射率的电介质层的层压体配置，但可通过进一步多层化此经层压的结构以提高光的放肆(impudent)干涉效应而实现甚至更高的反射性。图4说明顺序层压第一绝缘膜112a、第二绝缘膜112b、第四绝缘膜112c和第五绝缘膜112d以作为反射增强膜112的配置。在本文中，第一绝缘膜112a和第四绝缘膜112c为均质的膜且为(例如)氮化硅膜。此外，第二绝缘膜112b和第五绝缘膜112d为氧化硅膜。应注意，只要反射性改进，具有高折射率的电介质层和具有低折射率的电介质层的经层压的结构就可为任何数目的经层压的层。
[0065]应注意，除了反射层108以外，图4中的配置与图2中的配置相同，实现相同的效应且因此省略详细描述。
[0066]本实施例例示一种情况，其中氮化硅膜用作具有高折射率的电介质层且氧化硅膜用作具有低折射率的电介质层，但正如在第一实施例中，可组合具有光学透明度的其它电介质材料，例如具有1.63的折射率的氧化铝或具有1.9与2.2之间的折射率的氮化铝或其类似物。
[0067]只要像素电极126提供于钝化膜120上且源极和漏极电极经由接触孔连接，图3中说明的元件衬底102c和图4中说明的种类的元件衬底102d就可用作显示装置的背板。此时像素电极126可形成于平坦化绝缘膜128的顶部上，且因此可改进孔径比而不受到因底层表面的不均勻性的任何影响。
[0068]如上文所描述，根据本实施例的显示装置，使光源的光通过的开口中的入射光的反射损耗减少且因此可实现光的有效利用。归因于此，无需不必要地提高光源的亮度且因此可减少显示装置的功率消耗。此外，通过应用在反射层中使用反射增强膜的配置，反射层中的反射性和开口中的透射率两者皆可改进。也就是说，在回收从光源发射的光的同时，可提高从开口发射的光的光强度。
[0069]另外，通过在元件衬底中提供平坦化绝缘膜，着色且接着也在开口的侧壁上提供平坦化绝缘膜，可防止散射光入射到开关元件上并对开关元件的操作施加消极影响。此外，可改进显示面板对比度。
[0070][第三实施例]
[0071]本实施例例示了使用第一实施例中说明的元件衬底102a提供作为显示元件的MEMS快门机构的显示装置的一个实施例。
[0072]图5说明在像素中提供MEMS快门的显示装置100中的像素的一个实施例的横截面图。元件衬底102a具有与第一实施例中参考图1所描述的配置相同的配置且因此省略详细描述。与开关元件114电连接的像素电极126连接到快门驱动部分132。快门驱动部分132基于经由开关元件114提供的控制信号控制快门130的开关操作。快门130被提供于从光源106发射的光的光路(图5中说明的路线(2))中。也就是说，提供快门130以便实质上重叠开口 122，且快门130操作以便当“关闭”时处于阻断光源106的发射光的位置中且当“打开”时处于使光通过的位置中，且快门130由快门驱动部分132控制。
[0073]经由金属膜110和反射增强膜112的协同效应，反射层108有效地回收从光源106发射的光且可因此增强朝向开口 122发射的光的强度。此外，设置在低反射光学膜厚度的第三绝缘膜124提供于开口 122中且因此抑制经由透光衬底104朝向开口 122侧入射的光的反射损耗。因此，可有效地利用光源106的光且因此可抑制显示装置100的功率消耗。此夕卜，如果反射增强膜112如在图2中说明的元件衬底102b中且如在图4中说明的元件衬底102d中为多层的，那么对光源的光的利用效率可提高甚至更多。
[0074]应注意，相对衬底103a提供于显示装置100中以使得快门机构并未曝露，如图5中所说明。相对衬底103a包含光学透明玻璃衬底134上的遮光膜136。提供遮光膜136以抑制如从显示表面看到的眩光，且遮光膜136具备在实质上与元件衬底102a的开口 122相同的位置中的开口。
[0075]图5例示了使用如第一实施例中所描述的图1中说明的元件衬底102a的情况，但可替代地使用如第二实施例中所描述的图3中说明的元件衬底102c。通过提供着色的平坦化绝缘膜128，元件衬底102c可省略元件衬底103a中的遮光膜136。甚至在此配置中，着色的平坦化绝缘膜128也防止外部光的反射且防止来自外部光或光源106的杂散光的入射，且可因此防止开关元件114特性的恶化且维持显示面板中的高对比度。
[0076]图6 (A)为说明使用此类型的快门机构的显示装置的配置的平面图且图6 (B)为对应于平面切割线A-B的横截面图。显示装置100具有使用开关元件和快门机构形成像素的元件衬底102，和面向元件衬底102提供的相对衬底103。光源106提供于元件衬底102侧上。
[0077]显示部分160包含多个像素。开关元件和快门机构提供于像素中之每一者中。此夕卜，按需要提供驱动显示部分160的栅极驱动器162、数据驱动器164和输入信号的端子166。应注意，在图6中说明的实例中，栅极驱动器162经布置以便夹入显示部分160，但不限于此。
[0078]图7为说明显示装置100的一个实例的电路框图。在显示装置100中，图像信号和扫描信号从控制器168供应到数据驱动器164和栅极驱动器162。此外，在显示装置100中，从由控制器168控制的光源106供应光。
[0079]显示部分160提供包含以矩阵形式布置的快门机构158的像素170、开关元件114和电容器172。数据驱动器164经由数据线(Dl，D2，*"，Dm)将数据信号供应到开关元件114。栅极驱动器162经由栅极线(G1，G2，...，Gm)将栅极信号供应到开关元件114。开关元件114基于从数据线(D1，D2，…，Dm)供应的数据信号驱动快门机构158。
[0080]图8说明显示装置100中所用的快门机构158。快门机构158具有快门130、第一弹簧142和144、第二弹簧146和148、第一锚定部分150和152和第二锚定部分154和156。这些连同开关元件一起提供于半透明的元件衬底102中。快门130具有快门开口 140且因此快门130主体变为遮光部分。
[0081]快门130由不透明部件形成，且当其快门开口 140与提供于元件衬底102中的反射板的开口实质上重叠时，光源的光穿过；且当快门130部分实质上重叠开口时，光源的光被阻断。
[0082]快门130在一侧上经由第一弹簧142连接到第一锚定150。并且，此外，在另一侧上经由第一弹簧144连接到第一锚定部分152。第一锚定部分150和152连同第一弹簧142和144 一起作用以将快门130固持在从半透明元件衬底102的表面悬置的状态中。
[0083]第一锚定部分150电连接到第一弹簧14