括但是不限于纳米压印、光致抗蚀剂、双图案化技术(DPT)以及嵌段共聚物(BCP)对准图案化。
[0076]这里，图案化的树脂层123的底部可以保留。
[0077]参照图8，导电的线图案121和导电材料124可以形成在图案化的树脂层123的整个表面上。导电的线图案121可以利用但是不限于具有优良的间隙填充特性的长抛溅射(long-throw sputtering)、自电离派射或化学镀而形成在图案化的树脂层123的空间中。
[0078]即使导电材料124利用具有优良的间隙填充特性的工艺形成，但是导电材料124的上表面也可能由于图案化的树脂层123的影响而不是平坦的。在这种情况下，导电材料124的上表面可以通过蚀刻或化学机械抛光(CMP)而被平坦化。然而，本发明不限于这些方法。在非限制性的示例中，导电材料124的上表面可以通过多次重复沉积工艺和蚀刻工艺而被平坦化。
[0079]参照图9，可以在导电材料124上形成掩模图案140。掩模图案140可以利用但是不限于纳米压印、光致抗蚀剂等而形成。
[0080]参照图10，可以通过利用掩模图案140蚀刻导电材料124而形成多个孔122。在第一区域(未示出)中，具有预定尺寸Dl和周期(D1+W1)的多个孔可以彼此相邻地设置以形成一个组。在第二区域(未示出)中，具有预定尺寸D2和周期(D2+W2)的多个孔(其不同于第一区域中的那些孔)可以彼此相邻地设置以形成一个组。
[0081]图11至17是示出根据另一实施方式的制造集成滤色器的偏振器的方法的截面图。
[0082]参照图11，可以在基板110上形成树脂层123。
[0083]树脂层123能够由任何非导电材料制成。为了偏振器的偏振特性，非导电材料可以具有1.0至1.3的折射率。
[0084]参照图12，可以图案化树脂层123。
[0085]树脂层123可以利用能够形成具有期望的纳米尺寸的图案的任何方法而被图案化。图案化方法的示例包括但是不限于纳米压印、光致抗蚀剂、DPT以及BCP对准图案化。
[0086]参照图13，可以去除图案化的树脂层123的剩余底部。底部的去除可以利用但是不限于蚀刻而实现。
[0087]参照图14，可以在基板110的整个表面和图案化的树脂层123上形成导电的线图案121和导电材料124。导电的线图案121可以利用但是不限于具有优良的间隙填充特性的长抛溅射、自电离溅射或化学镀而形成在图案化的树脂层123的空间中。
[0088]即使导电材料124利用具有优良的间隙填充特性的工艺形成，但是导电材料124的上表面也可能由于图案化的树脂层123的影响而不是平坦的。在这种情况下，导电材料124的上表面可以通过蚀刻或CMP而被平坦化。然而，本构思不限于这些方法。在非限制性的示例中，导电材料124的上表面可以通过多次重复沉积工艺和蚀刻工艺而被平坦化。
[0089]参照图15，可以在导电材料124上形成掩模图案140。掩模图案140可以利用但是不限于纳米压印、光致抗蚀剂等而形成。
[0090]参照图16，可以通过利用掩模图案140蚀刻导电材料124而形成多个孔122。在第一区域(未示出)中，具有预定尺寸D3和周期(D3+W3)的多个孔可以彼此相邻地设置以形成一个组。在第二区域(未示出)中，具有预定尺寸D4和周期(D4+W4)的多个孔(其不同于第一区域中的那些孔)可以彼此相邻地设置以形成一个组。
[0091]参照图17，可以去除位于导电的线图案121之间的空间中的图案化的树脂层123。图案化的树脂层123的去除可以通过但是不限于利用具有相对于导电的线图案121的蚀刻选择性的蚀刻剂的湿法蚀刻或利用气体的灰化工艺实现。
[0092]图11至17的其它元件类似于图6至10的那些，省略其重复的描述。
[0093]图18是根据本公开的另一实施方式的集成滤色器的偏振器的局部透视图。
[0094]参照图18，根据当前实施方式的集成滤色器的偏振器可以包括:具有第一尺寸Dl和第一周期(D1+W1)的多个相邻的孔122a的第一组Gl ;具有第二尺寸D2和第二周期(D2+W2)的多个相邻的孔122b的第二组G2 ;以及具有第三尺寸D3和第三周期(D3+W3)的多个相邻的孔122c的第三组G3。
[0095]在一个示例中，第一组Gl、第二组G2和第三组G3可以分别透射对应于红色、绿色和蓝色的波长。这些三基色的光可以被结合以表现各种颜色。
[0096]第一组Gl至第三组G3之间的空间可以对应于面板的非孔径区域(诸如配线区域或TFT区域)。因此，导电的线图案可以不形成在该空间中。
[0097]第一组Gl至第三组G3的每个可以对应于显示装置的像素或子像素。
[0098]图18的其它元件类似于图1的那些，因此省略其重复描述。
[0099]在本公开中提供的集成滤色器的偏振器使得可以制造更薄的显示装置。此外，能够提供具有提高的工艺效率的制造集成滤色器的偏振器的方法。
[0100]然而，本公开的效果不局限于这里阐述的效果。对于本公开所属领域的普通技术人员来说，以上及其它效果将是明显的。
[0101]本申请要求于2014年11月20日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请N0.10-2014-0162754的优先权，其公开内容通过全文引用结合于此。
【主权项】
1.一种集成滤色器的偏振器，包括具有偏振器区域和滤色器区域的导电材料，其中所述偏振器区域具有多个平行的导电的线图案，所述滤色器区域具有跨越所述滤色器区域形成为图案的多个孔。2.如权利要求1所述的偏振器，其中所述多个孔包括彼此相邻设置的多个组，每个组包括彼此相邻设置的具有相同尺寸和周期的孔，其中不同组的孔在尺寸和周期中的至少一个上是不同的。3.如权利要求2所述的偏振器，其中所述多个组以预定的次序布置成重复的图案。4.如权利要求1所述的偏振器，其中所述滤色器区域包括: 具有第一周期和第一孔尺寸的多个相邻的孔的第一组； 具有第二周期和第二孔尺寸的多个相邻的孔的第二组；以及 具有第三周期和第三孔尺寸的多个相邻的孔的第三组， 其中所述第一孔尺寸、所述第二孔尺寸和所述第三孔尺寸彼此不同。5.如权利要求1所述的偏振器，其中所述导电的线图案之间的空间具有1.0至1.3的折射率。6.如权利要求5所述的偏振器，其中所述导电的线图案之间的空间包含真空或者包含周围空气。7.如权利要求1所述的偏振器，其中所述孔延伸到与所述导电的线图案的表面相应的深度。8.一种制造集成滤色器的偏振器的方法，该方法包括: 在基板上形成树脂层； 图案化所述树脂层； 在所述图案化的树脂层上形成导电材料层；以及 在所述导电材料层的上部中形成多个孔，其中所述孔布置成图案。9.如权利要求8所述的方法，其中所述树脂层具有1.0至1.3的折射率。10.如权利要求8所述的方法，其中所述孔形成为延伸到与所述树脂层的表面相应的深度。11.如权利要求8所述的方法，其中在所述孔的形成中，具有相同尺寸和周期的多个孔彼此相邻地设置以形成一个组，具不同组的孔在尺寸和周期中的至少一个上是不同的。12.如权利要求11所述的方法，其中所述孔的组布置成重复的图案。13.一种制造集成滤色器的偏振器的方法，该方法包括: 在基板上形成树脂层； 通过图案化所述树脂层形成树脂图案； 去除所述树脂层的所述树脂图案之间的剩余层； 在所述基板和所述树脂图案上形成导电材料层；以及 在所述导电材料层的上部中形成布置成图案的多个孔。14.如权利要求13所述的方法，其中所述树脂层具有1.0至1.3的折射率。15.如权利要求13所述的方法，其中在所述孔的形成中，所述多个孔形成为与所述树脂层的表面相应的深度。16.如权利要求13所述的方法，其中在所述多个孔的形成中，具有相同尺寸和周期的多个孔彼此相邻地设置以形成一个组，具有不同的尺寸和/或不同的周期的孔的多个组彼此相邻地设置。17.如权利要求16所述的方法，其中在所述孔的形成中，所述孔的组布置成重复的图案。18.如权利要求13所述的方法，还包括在形成所述多个孔之后去除所述树脂图案。
【专利摘要】本公开提供了集成滤色器的偏振器以及制造集成滤色器的偏振器的方法。集成滤色器的偏振器包括设置在基板上的导电材料。导电材料包括偏振器区域和滤色器区域，该偏振器区域包括多个平行的导电的线图案，该滤色器区域包括布置成图案的多个孔。
【IPC分类】G02B5/30, G02F1/1335
【公开号】CN105629554
【申请号】CN201510695596
【发明人】孙正河, 李周炯, 吕伦钟
【申请人】三星显示有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年10月23日
【公告号】EP3023833A1, US20160147080