等离子显示屏障壁及其制备方法以及等离子显示屏的制作方法
【专利摘要】本发明提供了等离子显示屏障壁及其制备方法以及等离子显示屏。该制备方法包括以下步骤：首先在玻璃基板上用丝网印刷法或涂敷法形成障壁材料层；在障壁材料层上贴覆DFR膜，对DFR膜曝光、使用Na2CO3溶液显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜，每一个障壁掩膜都对应一个障壁；使用CaCl2溶液处理障壁掩膜的侧端面，以中和侧端面上残留的Na2CO3溶液；最后通过喷沙法将砂粒喷射在障壁材料层上，形成障壁。本发明所提供的等离子显示屏障壁的制备方法，增强了障壁掩膜的强度，特别是那些断面比较粗糙部分的强度，提高障壁掩膜侧壁的陡峭，提高障壁加工精度，减少障壁加工缺陷，提高显示屏的显示质量。
【专利说明】等离子显示屏障壁及其制备方法以及等离子显示屏
【技术领域】
[0001]本发明涉及等离子显示屏制备领域，具体而言涉及一种等离子显示屏障壁及其制备方法以及等离子显示屏。
【背景技术】
[0002]彩色等离子显示器(Plasma Display Panel,简称F1DP),是利用气体放电产生真空紫外光(VUV)，该紫外光又激发三原色荧光粉而产生红绿蓝三基色光，然后经过空间和时间的调试实现了图像显示。AC表面放电型等离子显示屏，分为前后基板。前基板包括透明电极IT0，以及在透明电极ITO层上交替排列的维持放电电极X电极和扫描放电电极Y电极，在X、Y电极上覆盖有一定厚度的介质层，再于介质层上沉积一层MgO薄膜；后基板包括在玻璃基板上的寻址电极、覆盖该电极的介质层以及介质层上具有一定高度的障壁，障壁将放电空间隔离开并在其中涂敷蓝、绿、红三色荧光粉。随后将前、后玻璃基板封结在一起充入气体。经过Y电极和ADD寻址电极之间微弱放电产生壁电荷，通电时X、Y电极之间会产生放电，产生的紫外光会激发障壁槽内的三原色荧光粉发出可见光。
[0003]PDP显示屏由前、后基板及制作在基板上的电极、障壁、介质、荧光粉等功能器件组成。障壁制作一直是rop制程中的瓶颈，特别是随着PDP分辨率的提高，PDP障壁制作精度要求越来越高。传统的等离子显示屏障壁的制备方法是利用喷砂法，介质浆料被涂在玻璃基板上，形成介质层，然后印刷障壁浆料从而形成障壁层，涂敷均匀并干燥。最后障壁层被DFR(dry film resist)覆盖，DFR能抵抗喷砂刻蚀。在利用模板、DFR、障壁材料层被选择性的曝光，曝光后的DFR具有化学稳定性，显影后形成障壁掩膜，并能耐砂粒喷蚀。然后通过气流将砂粒喷到障壁层上，有DFR的障壁材料层被保留下来，形成障壁，其余的障壁材料层都被喷掉。喷砂后，障壁掩膜被揭掉(剥膜)，并进行烧结，从而形成障壁。
[0004]目前，障壁喷砂用DFR膜一般比较厚，干膜在40?60y m,显影时溶胀的DFR膜厚度将达到50?80 ym，这样显影后的DFR膜在精细加工过程中，侧壁的陡峭十分重要，显影条件十分苛刻。现有方法所制备的障壁加工精度低、加工缺陷多。需要进一步改进。
【发明内容】
[0005]本发明旨在提供一种等离子显示屏障壁及其制备方法以及等离子显示屏，以提高等离子显示屏障壁的加工精度，减少加工缺陷。
[0006]在本发明的一个方面，提供了一种等离子显示屏障壁的制备方法，包括以下步骤:首先在玻璃基板上用丝网印刷法或涂敷法形成障壁材料层；在障壁材料层上贴覆DFR膜，对DFR膜曝光、使用Na2CO3溶液显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜，每一个障壁掩膜都对应一个障壁；使用CaC12溶液处理障壁掩膜的侧端面，以中和侧端面上残留的Na2C03溶液；最后通过喷沙法将砂粒喷射在障壁材料层上，形成障壁。
[0007]优选地，上述显影处理的过程中将液温为25?35°C，浓度为0.3?0.5wt %的Na2CO3溶液喷淋在曝光后的DFR膜上，使其显影。[0008]优选地，上述使用CaCl2溶液处理障壁掩膜的侧端面过程中将液温为25?35°C，浓度为5?25wt%的CaCl2溶液喷淋在端面上，使其与侧端面上的Na2CO3溶液进行中和反应。
[0009]优选地，上述使用CaCl2溶液处理后障壁掩膜的侧端面呈向内凹陷的形状。
[0010]在本发明中提供了一种等离子显示屏障壁，由上述的方法制备而成。
[0011]在本发明中提供了 一种等离子显示屏，包括上述的障壁。
[0012]本发明所提供的等离子显示屏障壁的制备方法，通过采用引入氯化钙溶液中和障壁掩膜侧端面上残留的碳酸钠溶液，降低了残留碳酸钠溶液侧向侵入的效果，增强了障壁掩膜的强度，特别是那些断面比较粗糙部分的强度，提高障壁掩膜侧壁的陡峭，提高障壁加工精度，减少障壁加工缺陷，提高显示屏的显示质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0014]图1示出了根据本发明实施例中CaCl2溶液处理前基板玻璃1、障壁材料层2、障壁掩膜3配合结构示意图；以及
[0015]图2示出了根据本发明实施例中CaCl2溶液处理后基板玻璃1、障壁材料层2、障壁掩膜3配合结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明的实施例中的技术方案进行详细的说明，但如下实施例以及附图仅是用以理解本发明，而不能限制本发明，本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0017]在本发明的一种典型的实施方式中，提供了一种等离子显示屏障壁的制备方法，包括以下步骤:首先在玻璃基板I上用丝网印刷法或涂敷法形成障壁材料层2 ;在障壁材料层2上贴覆DFR膜，对DFR膜曝光、使用Na2CO3溶液显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜3，每一个障壁掩膜3都对应一个障壁；使用CaC12溶液处理障壁掩膜3的侧端面4，以中和侧端面4上残留的Na2CO3溶液；最后通过喷沙法将砂粒喷射在障壁材料层2上，形成障壁。
[0018]如图1和图2所示，图1示出了根据本发明实施例中CaCl2溶液处理前基板玻璃
1、障壁材料层2、障壁掩膜3配合结构示意图；图2示出了根据本发明实施例中CaCl2溶液处理后基板玻璃1、障壁材料层2、障壁掩膜3配合结构示意图。
[0019]该通过采用引入氯化钙溶液中和障壁掩膜侧端面4上残留的碳酸钠溶液，降低了残留碳酸钠溶液侧向侵入的效果，增强了障壁掩膜的强度，特别是那些断面比较粗糙部分的强度，提高障壁掩膜侧壁的陡峭，提高障壁加工精度，减少障壁加工缺陷，提高显示屏的显示质量。
[0020]优选地，等离子显示屏障壁的制备方法的显影处理的过程中将液温为25?35°C，浓度为0.3?0.5wt%的Na2CO3溶液喷淋在曝光后的DFR膜上，使其显影。使用CaCl2溶液处理障壁掩膜3侧端面4的过程中将液温为25?35°C，浓度为5?25被％的CaC12溶液喷淋在侧端面4上，使其与侧端面4上的Na2C03溶液进行中和反应。[0021]将Na2CO3溶液和CaCl2溶液的液温设定在上述范围内，有利于快速反应，且不会因为反应太快对所形成的障壁掩膜3造成损坏。将Na2CO3溶液和CaCl2溶液的浓度设定在上述范围内，使得两者浓度适配，能够形成稳定的中和反应，提高障壁掩膜3强度的同时提高障壁掩膜3侧端面的陡峭，进而提高加工精度。优选地，上述使用CaCl2溶液处理后障壁掩膜的侧端面4呈向内凹陷的形状。
[0022]通过上述方法所制备的等离子显示屏障壁，加工精度高，加工缺陷少，包括这种等离子显示屏障壁的等离子显示屏，显示质量好。
[0023]以下将结合实施例1-3和对比例I进一步说明本发明的有益效果。
[0024]实施例1
[0025]等离子显示屏障壁的制备方法:
[0026]首先在玻璃基板上用丝网印刷法形成300mm的障壁材料层；
[0027]在障壁材料层上贴覆DFR膜，对DFR膜曝光、并使用液温为25°C，浓度为0.3wt%的Na2CO3溶液喷淋在曝光后的DFR膜进行显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜3，每一个障壁掩膜3都对应一个障壁；
[0028]使用液温为25°C，浓度为5wt %的CaCl2溶液喷淋障壁掩膜3的侧端面4，以中和侧端面4上残留的Na2CO3溶液；
[0029]然后通过气流将砂粒喷到障壁层上，由障壁掩膜掩盖的部分被保留下来，形成障壁，其余的障壁材料层都被喷掉。喷砂后，障壁掩膜被揭掉剥膜，并进行烧结，从而形成障壁。
[0030]实施例2
[0031]等离子显示屏障壁的制备方法:
[0032]首先在玻璃基板上用涂敷法形成障壁材料层；
[0033]在障壁材料层上贴覆DFR膜，对DFR膜曝光、并使用液温为35°C，浓度为0.5wt%的Na2CO3溶液喷淋在曝光后的DFR膜进行显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜3，每一个障壁掩膜3都对应一个障壁；
[0034]使用液温为35°C，浓度为25wt%的CaCl2溶液喷淋障壁掩膜3的侧端面4，以中和侧端面4上残留的Na2CO3溶液；
[0035]然后通过气流将砂粒喷到障壁层上，由障壁掩膜掩盖的部分被保留下来，形成障壁，其余的障壁材料层都被喷掉。喷砂后，障壁掩膜被揭掉剥膜，并进行烧结，从而形成障壁。
[0036]实施例3
[0037]等离子显示屏障壁的制备方法:
[0038]首先在玻璃基板上用丝网印刷法或涂敷法形成350mm的障壁材料层；
[0039]在障壁材料层上贴覆DFR膜，对DFR膜曝光、并使用液温为30°C，浓度为0.4wt%的Na2CO3溶液喷淋在曝光后的DFR膜进行显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜3，每一个障壁掩膜3都对应一个障壁；
[0040]使用液温为30°C，浓度为15wt%的CaC12溶液喷淋障壁掩膜3的侧端面4，以中和侧端面4上残留的Na2CO3溶液；
[0041]然后通过气流将砂粒喷到障壁层上，由障壁掩膜掩盖的部分被保留下来，形成障壁，其余的障壁材料层都被喷掉。喷砂后，障壁掩膜被揭掉剥膜，并进行烧结，从而形成障壁。
[0042]对比例I
[0043]等离子显示屏障壁的制备方法:
[0044]首先在玻璃基板上用丝网印刷法或涂敷法形成350mm的障壁材料层；
[0045]在障壁材料层上贴覆DFR膜，对DFR膜曝光、并使用液温为30°C，浓度为0.4wt%的Na2CO3溶液喷淋在曝光后的DFR膜进行显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜3，每一个障壁掩膜3都对应一个障壁；
[0046]然后通过气流将砂粒喷到障壁层上，由障壁掩膜掩盖的部分被保留下来，形成障壁，其余的障壁材料层都被喷掉。喷砂后，障壁掩膜被揭掉剥膜，并进行烧结，从而形成障壁。
[0047]对实施例1-3和对比例I所制备的障壁及包括该障壁的等离子显示屏进行测试，测试结果如表1所示。其中障壁的缺陷为的一平方厘米范围内个数为基准；障壁精度以障壁顶宽测量值与设计值偏差表示，障壁精度进行5点测量。
[0048]表1
[0049]
【权利要求】
1.一种等离子显示屏障壁的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 首先在玻璃基板(I)上用丝网印刷法或涂敷法形成障壁材料层(2); 在所述障壁材料层(2)上贴覆DFR膜，对所述DFR膜曝光、使用Na2CO3溶液显影，刻蚀形成条形或井字形障壁掩膜(3)，每一个障壁掩膜(3)都对应一个障壁； 使用CaCl2溶液处理所述障壁掩膜(3)的侧端面(4)，以中和所述侧端面(4)上残留的所述Na2CO3溶液； 最后通过喷沙法将砂粒喷射在障壁材料层(2)上，形成所述障壁。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，显影处理的过程中将液温为25?350C，浓度为0.3?0.5wt%的Na2CO3溶液喷淋在曝光后的所述DFR膜上，使其显影。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，使用CaCl2溶液处理所述障壁掩膜(3)侧端面(4)的过程中将液温为25?35°C，浓度为5?25被％的CaCl2溶液喷淋在所述侦_面⑷上，使其与所述侧端面⑷上的所述Na2CO3溶液进行中和反应。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，使用所述CaCl2溶液处理后障壁掩膜(3)的侧端面(4)呈向内凹陷的形状。
5.一种等离子显示屏障壁，其特征在于，由权利要求1-4中任一项所述的方法制备而成。
6.一种等离子显示屏，其特征在于，包括权利要求5中所述的等离子显示屏障壁。
【文档编号】H01J9/24GK103794433SQ201110459354
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2011年12月31日 优先权日:2011年12月31日
【发明者】吕旭东, 宋利建 申请人:四川虹欧显示器件有限公司